玻璃表面圖形的高度差測量
要求玻璃表面圖形的高度差測量（如下圖所示）
玻璃表面圖形的高度差測量
通過觀察樣品，發(fā)現(xiàn)玻璃表面被激光雕刻的有三塊區(qū)域，且玻璃的厚度較薄，屬于光可穿透物體，由此本次選用的鏡頭D15A32搭配H4UO單通道控制器，D15A32不僅光斑超小，且線性精度和分辨率都超高，非常適用于要求線性精度高的東西。
玻璃表面圖形的高度差測量
玻璃表面圖形的高度差測量
玻璃表面圖形的高度差測量
（重復(fù)精度）
通過上圖的可以看出使用本公司光譜共焦位移傳感器在測量玻璃的高度差位置1的精度在1.28μm左右，位置2 的精度在1.34μm-1.35μm左右，位置3的精度在0.15微米左右，這些還沒算上氣流等帶來的一絲干擾。
審核編輯 黃昊宇
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