玻璃表面圖形的高度差測(cè)量
要求玻璃表面圖形的高度差測(cè)量（如下圖所示）
玻璃表面圖形的高度差測(cè)量
通過(guò)觀(guān)察樣品，發(fā)現(xiàn)玻璃表面被激光雕刻的有三塊區(qū)域，且玻璃的厚度較薄，屬于光可穿透物體，由此本次選用的鏡頭D15A32搭配H4UO單通道控制器，D15A32不僅光斑超小，且線(xiàn)性精度和分辨率都超高，非常適用于要求線(xiàn)性精度高的東西。
玻璃表面圖形的高度差測(cè)量
玻璃表面圖形的高度差測(cè)量
玻璃表面圖形的高度差測(cè)量
（重復(fù)精度）
通過(guò)上圖的可以看出使用本公司光譜共焦位移傳感器在測(cè)量玻璃的高度差位置1的精度在1.28μm左右，位置2 的精度在1.34μm-1.35μm左右，位置3的精度在0.15微米左右，這些還沒(méi)算上氣流等帶來(lái)的一絲干擾。
審核編輯 黃昊宇
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