賽微電子北京產(chǎn)線MEMS生物芯片通過驗證并啟動試產(chǎn)
1月10號，賽微電子公告，控股子公司賽萊克斯北京代工制造的某款MEMS(簡稱為微機電系統(tǒng))生物芯片通過了客戶驗證，該客戶已同步簽署試產(chǎn)訂單，啟動首批MEMS生物芯片8英寸晶圓的小批量試生產(chǎn)。
MEMS制造工藝可以在微小的生物芯片中加工微納米級別的泵、閥、管道、容器等，將生物傳感器的復(fù)雜功能集成內(nèi)置在芯片中，同時可以實現(xiàn)生物芯片的高靈敏度、高準(zhǔn)確性、微創(chuàng)應(yīng)用及低成本、大批量生產(chǎn)。
自2020年9月通線以來，賽微電子北京FAB3產(chǎn)線已經(jīng)成功導(dǎo)入十余家國內(nèi)外知名MEMS客戶，已經(jīng)開展合作的產(chǎn)品項目超過40個，正在持續(xù)推動MEMS硅麥、電子煙開關(guān)、慣性器件、BAW（含F(xiàn)BAR）濾波器、振鏡、氣體、微流控、光通信等不同類別、不同型號產(chǎn)品的工藝開發(fā)及產(chǎn)品驗證。
審核編輯黃宇
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