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光學3d表面輪廓儀是干嘛的

中圖儀器 ? 2022-04-19 18:00 ? 次閱讀
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中圖儀器,堅持以技術創(chuàng)新為發(fā)展基礎,致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發(fā)、生產和銷售,為用戶提供從納米到百米的精密測量解決方案!

光學3d表面輪廓儀是干嘛的?光學3d表面輪廓儀是利用光學原理開發(fā)的非接觸測量儀器,更能滿足現代工業(yè)數字化測量的高精度、低成本和小型化需求。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

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工作原理

光源發(fā)出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束,一束經被測表面反射回來,另外一束光經參考鏡反射,兩束反射光匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

產品特點

【3D測量,一覽無余】

采用白光干涉技術,結合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法,真實還原樣品的每一個細節(jié)。

【功能強大,參數齊全】

粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括,距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋,有依據ISO|ASME|EUR|GBT四大國內外標準的300余種特征參數。

【操作便捷,簡單明了】

直觀的操作界面,一目了然的操作流程,自動聚焦,一鍵實現測量過程;可視化的工作流程樹,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的分析功能,有一鍵分析功能,批量測量效率高。


【高重復精度,穩(wěn)定可靠】

采用了掃描模塊和內部抗振設計,可實現高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性。


【兩種型號,量身定制】

W1系列光學3D表面輪廓儀提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機型,另可針對不同的客戶需求,在兩種型號間選取不同配置進行組合,讓儀器切合需求,貼心省力。


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【廣泛應用,貼心服務】

可測2D/3D輪廓、粗糙度,300余種特征參數……光學3D表面輪廓儀在半導體、精密加工及微納材料等領域可得到廣泛應用,光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑……


中圖儀器SuperViewW1光學3d表面輪廓儀分辨率0.1μm,重復性0.1%,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。應用領域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。

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