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SJ6000激光干涉儀可以對機床的什么參數(shù)進行測量?

中圖儀器 ? 2023-01-12 15:12 ? 次閱讀
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SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

poYBAGO-ZpGAWHVcAAWZqlPp_94846.png對機床精度再校準(zhǔn)poYBAGKm18qAcZqjAAIxfP-yrwY909.jpg斜床的傾斜軸測量poYBAGJnwE-AacrAAAQNxg0_BZs191.jpg測量機床直線度poYBAGJnwpyAX7JUAAR-XbpF-nU548.jpg測量機床偏擺角度

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