共聚焦顯微鏡是一種光學成像技術，可通過使用空間針孔來阻擋散焦光來提高顯微圖像的光學分辨率和對比度。在圖像形成中。捕獲樣品中不同深度的多個二維圖像可重建三維結構（此過程稱為光學切片）。該技術廣泛用于科學和工業(yè)界，典型的應用是生命科學、半導體檢查和材料科學。

共聚焦顯微鏡一般為熒光顯微鏡和共焦顯微鏡。

熒光顯微鏡主要應用在生物領域及醫(yī)學研究中，能得到細胞或組織內(nèi)部微細結構的熒光圖像，在亞細胞水平上觀察諸如Ca2+、PH值，膜電位等生理信號及細胞形態(tài)的變化，是形態(tài)學，分子生物學，神經(jīng)科學，藥理學，遺傳學等領域中新一代強有力的研究工具。而以共聚焦技術為原理的共聚焦顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

材料科學的目標是研究材料表面結構對于其表面特性的影響。因此，高分辨率分析表面形貌對確定表面粗糙度、反光特性、摩擦學性能及表面質量等相關參數(shù)具有重要意義。共焦技術能夠測量各種表面反射特性的材料并獲得有效的測量數(shù)據(jù)。

VT6000共聚焦顯微鏡基于共聚焦顯微技術，結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。在材料生產(chǎn)檢測領域中能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。