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聯(lián)訊儀器裸Die半導(dǎo)體激光器芯片測(cè)試機(jī)

聯(lián)訊儀器 ? 2023-07-20 00:00 ? 次閱讀
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芯片良率是影響企業(yè)成本的重要因素之一,半導(dǎo)體激光器屬于化合物半導(dǎo)體,其主要材質(zhì)以非常脆的砷化鎵、磷化銦為主,在其制備的各個(gè)工藝環(huán)節(jié),良品率不高是一個(gè)普遍問(wèn)題。以國(guó)外知名芯片企業(yè)為例,其生產(chǎn)能達(dá)到70%以上良率,但后道封裝以及最終產(chǎn)品嚴(yán)格判定標(biāo)準(zhǔn)等累計(jì)具有30%良率的損失。良品率不高,就需要專(zhuān)用的測(cè)試裝備對(duì)不良品進(jìn)行篩選,國(guó)內(nèi)在此領(lǐng)域原先一直停留在低端的Bar條測(cè)試,bar條測(cè)試后的芯片需要二次裂片,中間環(huán)節(jié)各種因素對(duì)于苛刻的高端芯片又會(huì)導(dǎo)致3-5%的良率損失。

隨著半導(dǎo)體激光器芯片速率越來(lái)越高,后道封裝存在芯片尺寸更小及工藝更復(fù)雜的趨勢(shì),而這些二次損傷的芯片被作為良品流入后道封裝環(huán)節(jié),會(huì)帶來(lái)了巨大的成本支出,從而提高了成品器件的生產(chǎn)成本。另外半導(dǎo)體激光器芯片對(duì)溫度非常敏感,Bar條在測(cè)試臺(tái)上的接觸因?yàn)椴荒芡耆珴M足芯片在高溫測(cè)試條件下散熱的要求,重復(fù)測(cè)試GRR不能保證。因此,國(guó)內(nèi)外廠家都已經(jīng)逐步從低端的Bar條測(cè)試轉(zhuǎn)向高端的裸Die半導(dǎo)體激光器芯片測(cè)試。

聯(lián)訊儀器芯片測(cè)試機(jī)

聯(lián)訊儀器激光器芯片測(cè)試機(jī)是光芯片測(cè)試的關(guān)鍵核心高端裝備,集光、機(jī)、電、軟、算于一體的復(fù)雜系統(tǒng),通過(guò)集成芯片ID掃描、上料、運(yùn)輸、高/低溫控制、測(cè)試、下料、分揀歸類(lèi)功能單元,可以適應(yīng)不同類(lèi)型半導(dǎo)體激光器 (DFB、EML、EML+SOA)裸Die芯片及CoC芯片光電特性進(jìn)行檢測(cè)、判定與分選。

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產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)


▌支持工業(yè)低溫-40℃~95℃;

▌支持多種產(chǎn)品 DFB/EML/EML+SOA;

▌測(cè)試速度快;

▌專(zhuān)利測(cè)試載臺(tái);

▌OCR 深度學(xué)習(xí)算法;

▌高可靠性和穩(wěn)定性;

不同激光器配置不同數(shù)量加電探針;

支持激光器前光與背光LIV掃描測(cè)試,以及前光光譜測(cè)試;

芯片測(cè)試機(jī)系統(tǒng)功能模組



上料模組

支持藍(lán)膜或者Gelpak;

在有效范圍內(nèi)進(jìn)行Die的定位和相鄰物料間隔自動(dòng)計(jì)算,實(shí)時(shí)調(diào)整物料位置


▌Chip搬運(yùn)模組

搬運(yùn)模組由吸嘴高精度直線電機(jī)組成;

實(shí)現(xiàn)上料藍(lán)膜—>常高溫測(cè)試載臺(tái)—>下料藍(lán)膜間的轉(zhuǎn)運(yùn)


▌視覺(jué)定位模組

視覺(jué)定位以及OCR提取(OCR 深度學(xué)習(xí)算法 )


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▌測(cè)試模組

◢ 自研控溫載臺(tái),高導(dǎo)熱,高穩(wěn)定性,高耐磨

加電探針,自研高可靠性探針組件,確保扎針?lè)€(wěn)定性

視覺(jué)+運(yùn)動(dòng)模組,校正芯片位置與出光角度

大面積探測(cè)器與專(zhuān)用光學(xué)準(zhǔn)直器組件,進(jìn)行LIV掃描與光譜掃描測(cè)試


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▌下料分檔模組

支持多種分Bin條件,可自由配置


系統(tǒng)軟件


▌功能強(qiáng)大,操作簡(jiǎn)潔

操作界面,信息錄入,配置測(cè)試計(jì)劃;

測(cè)試信息界面,測(cè)試數(shù)據(jù),測(cè)試結(jié)果展示

測(cè)試指標(biāo)


▌系統(tǒng)功能

支持產(chǎn)品類(lèi)型

支持客戶(hù)指定的Chip測(cè)試
測(cè)試溫區(qū)數(shù)多溫區(qū)
測(cè)試項(xiàng)目前光與背光LIV+前光光譜
測(cè)試參數(shù)Ith,Se,Iop,Ir,Pf,Vf,Kink,Rs,IRoll,λc,SMSR,ER,Iea,Pea,OMA等近百個(gè)參數(shù)
OCR提取支持ChipID識(shí)別
吸嘴結(jié)構(gòu)特殊吸嘴結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),避免波導(dǎo)被壓傷
上料料盒藍(lán)膜
下料料盒藍(lán)膜
下料分檔下料分檔條件可自主配置

▌光參數(shù)

探測(cè)器類(lèi)型Gephotodiode
光譜測(cè)試波長(zhǎng)范圍800-1650nm
光功率測(cè)量范圍10uW-25mW(>25mW可增加衰減片測(cè)量)

▌電參數(shù)

源表類(lèi)型聯(lián)訊源表S3022F或指定類(lèi)型
DC電流源范圍10A~150nA
電流分辨率50uA~500fA
最小電流測(cè)量精度0.05%+偏置
最大DC電壓源200V
最小電壓分辨率1uV
最小電壓測(cè)量精度0.02%+偏置
加電類(lèi)型支持CW與Pulse方式加電

規(guī)?;瘧?yīng)用

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