光譜共焦位移傳感器是一種最近流行新型的光學(xué)傳感器，其基本原理是一束白光 經(jīng)過一個小孔，經(jīng)過鏡頭將不同的波長聚焦到光軸上，色散地形成一條彩虹狀分布帶，照射到樣品上，部分反射光反射回去。照射在光軸與物體表面交點的光經(jīng)過分光部件，通過小孔照射到光譜分析儀。根據(jù)波長計算就可以獲得鏡頭到被測物距離。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，光譜共焦位移傳感器具有廣泛的應(yīng)用前景，具體如下：

光譜共焦位移傳感器在半導(dǎo)體領(lǐng)域的測量

一、半導(dǎo)體制造過程中的質(zhì)量檢測

在半導(dǎo)體制造過程中，需要對各個工序中的產(chǎn)品進(jìn)行質(zhì)量檢測，以確保產(chǎn)品符合要求。在這個過程中，光譜共焦位移傳感器可以用于測量半導(dǎo)體表面的微小變形，如膜層的表面平整度、表面形貌等，從而判斷產(chǎn)品的質(zhì)量是否合格。

光譜共焦位移傳感器在半導(dǎo)體領(lǐng)域的測量

二、半導(dǎo)體設(shè)備的振動監(jiān)測

半導(dǎo)體設(shè)備在運行時會產(chǎn)生震動，這些震動會對設(shè)備的性能和壽命產(chǎn)生影響。因此，需要對半導(dǎo)體設(shè)備的震動進(jìn)行監(jiān)測。在這個過程中，光譜共焦位移傳感器可以用于測量設(shè)備的振動情況，從而為設(shè)備的維護(hù)和保養(yǎng)提供參考依據(jù)。

光譜共焦位移傳感器在半導(dǎo)體領(lǐng)域的測量

總之，光譜共焦位移傳感器在半導(dǎo)體領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景，可以為半導(dǎo)體制造保駕護(hù)航。深圳立儀科技有限公司自2014年成立之初，數(shù)十年磨一劍研發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的光譜共焦位移傳感器，并在國外傳感器的原有基礎(chǔ)上進(jìn)行大幅度改進(jìn)。其產(chǎn)品廣泛用于半導(dǎo)體領(lǐng)域測量，幫助無數(shù)客戶減少成本，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

審核編輯 黃宇