為了保障鈣鈦礦太陽能電池的性能與質(zhì)量，電池廠商往往都會關(guān)注其沉積薄膜的各種參數(shù)信息，從而采取有效的方式進行薄膜優(yōu)化，提升鈣鈦礦太陽能電池的性能。「美能光伏」擁有的美能探針式臺階儀，憑借其出色和強大的數(shù)據(jù)處理功能，并使用不同位置的多點自動測量確認ITO薄膜等各種類型薄膜的高度、薄膜應(yīng)力等一系列參數(shù)信息，通過這些參數(shù)信息的反饋，更好的幫助電池廠商進行太陽能電池性能的提升！本期「美能光伏」將給您介紹美能探針式臺階儀出色和強大的數(shù)據(jù)處理功能！

美能探針式臺階儀

美能探針式臺階儀是一款先進的微納測量儀器，采用了出色的儀器系統(tǒng)構(gòu)造和最優(yōu)化的測量及數(shù)據(jù)處理軟件，從而實現(xiàn)可靠、高效、簡易以及完善的樣品測量。相對于傳統(tǒng)表面形貌測量，美能探針式臺階儀采用的接觸式表面形貌測量是一個突破性的發(fā)展，其接觸力最小可達1mg，且對襯底材料沒有什么特別的要求，具有充分的采樣靈活性。

● 配備500W像素高分辨率彩色攝像機

● 臺階高度重復(fù)性1nm

● 超高直線度導(dǎo)軌、反應(yīng)樣品微小形貌

● 亞埃級分辨率、13μm量程下可達0.01埃

● 高低噪比與低線性誤差

薄膜粗糙度、波紋度

高效測量

在測量鈣鈦礦太陽能電池的沉積薄膜方面，美能探針式臺階儀可通過2D/3D紋理，量化薄膜的粗糙度以及波紋度，并運用出色的數(shù)據(jù)處理軟件中的軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分，從而計算出諸如均方根（RMS）粗糙度等20余項粗糙度參數(shù)。

薄膜粗糙度示意圖

與傳統(tǒng)的薄膜測量方式不同，美能探針式臺階儀可測量薄膜表面的2D/3D形狀或翹曲，包括對晶圓翹曲的測量。通過對這些角度的針對性測量，生成實時數(shù)據(jù)于電腦軟件，清晰客觀的給予電池廠商準確的測量結(jié)果。

薄膜應(yīng)力

針對樣品精密計算

由于在產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)過程中，太陽能電池的薄膜沉積工藝經(jīng)常會出現(xiàn)薄膜應(yīng)力，薄膜應(yīng)力是指沿截面厚度均勻分布的應(yīng)力成分，它等于沿所考慮截面厚度的應(yīng)力平均值，薄膜應(yīng)力會對薄膜的機械性能產(chǎn)生較大的影響，嚴重時還會使薄膜發(fā)生變形，大大影響到了測量效率與測量結(jié)果。

薄膜沉積的形狀變化示意圖

為了對薄膜應(yīng)力的具體情況進行深度剖析，「美能光伏」憑借自身豐富的檢測經(jīng)驗，生產(chǎn)了具有全新探針式表面輪廓測量技術(shù)的美能探針式臺階儀，該設(shè)備能夠測量在產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中包括多個工藝層的薄膜沉積后的鈣鈦礦太陽能電池的薄膜應(yīng)力，并使用應(yīng)力卡盤樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。然后通過應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力。

「美能光伏」憑借在光伏檢測行業(yè)獨特的檢測技術(shù)與高效的品質(zhì)服務(wù)，贏得了廣大光伏企業(yè)的盛贊！在鈣鈦礦太陽能電池的薄膜沉積生產(chǎn)工藝方面，「美能光伏」生產(chǎn)了可在產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中檢測薄膜性能，獲取各種薄膜參數(shù)信息的美能探針式臺階儀。未來，「美能光伏」還將繼續(xù)為光伏企業(yè)生產(chǎn)高品質(zhì)的檢測設(shè)備，助力“碳中和”的宏偉方針早日達成！