激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義,且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn),是迄今公認(rèn)的高精度、高靈敏度的測量儀器,在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
激光干涉儀的工作原理
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,最后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時,激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計(jì)算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
激光干涉儀可以完成哪些測量?
1、在機(jī)械制造領(lǐng)域中,可以用來檢測零部件的尺寸誤差和形狀誤差。
2、幾何參量高精密測量:激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量。
3、精密運(yùn)動設(shè)備導(dǎo)軌的檢測:激光干涉儀可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
4、同步測量:激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量。
5、回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn):激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)。
6、動態(tài)測量與分析:激光干涉儀具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
7、誤差補(bǔ)償表生成:激光干涉儀可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。
8、環(huán)境補(bǔ)償:激光干涉儀支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
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