概述：

SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是一款半導(dǎo)體電學(xué)特性測(cè)試系統(tǒng)，具有高精度、寬測(cè)量范圍、快速靈活、兼容性強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)。產(chǎn)品可以同時(shí)支持DC電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測(cè)試，旨在幫助加快前沿材料研究、半導(dǎo)體芯片器件設(shè)計(jì)以及先進(jìn)工藝的開(kāi)發(fā)，具有桌越的測(cè)量效率與可靠性。

基于模塊化的體系結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀可以幫助用戶(hù)根據(jù)測(cè)試需要，靈活選配測(cè)量單元進(jìn)行升級(jí)。產(chǎn)品支持Z高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測(cè)量，同時(shí)檢測(cè)10kHz至1MHz范圍內(nèi)的多頻AC電容測(cè)量。SPA-6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀搭載普賽斯自主開(kāi)發(fā)的專(zhuān)用半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試軟件,支持交互式手動(dòng)操作或結(jié)合探針臺(tái)的自動(dòng)操作,能夠從測(cè)量設(shè)置、執(zhí)行、結(jié)果分析到數(shù)據(jù)管理的整個(gè)過(guò)程，實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征;也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用，滿(mǎn)足高低溫測(cè)試需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

30μV-1200V,1pA-100A寬量程測(cè)試能力;

測(cè)量精度高,全量程下可達(dá)0.03%精度;

內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)器件測(cè)試程序，直接調(diào)用測(cè)試簡(jiǎn)便;

自動(dòng)實(shí)時(shí)參數(shù)提取，數(shù)據(jù)繪圖、分析函數(shù);

在CV和IV測(cè)量之間快速切換而無(wú)需重新布線(xiàn);

提供靈活的夾具定制方案，兼容性強(qiáng);

免費(fèi)提供上位機(jī)軟件及SCPI指令集;

典型應(yīng)用：

納米、柔性等材料特性分析;

二極管;

MOSFET、BJT、晶體管、IGBT;

第三代半導(dǎo)體材料/器件;

有機(jī)OFET器件;

LED、OLED、光電器件;

半導(dǎo)體電阻式等傳感器;

EEL、VCSEL、PD、APD等激光二極管;

電阻率系數(shù)和霍爾效應(yīng)測(cè)量;

太陽(yáng)能電池;

非易失性存儲(chǔ)設(shè)備;

失效分析;

系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格

訂貨信息

模塊化構(gòu)成

低壓直流I-V源測(cè)量單元

-精度0.1%或0.03%可選

-直流工作模式

-Z大電壓300V，Z大直流1A或3A可選

-最小電流分辨率10pA

-四象限工作區(qū)間

-支持二線(xiàn)，四線(xiàn)制測(cè)試模式

-支持GUARD保護(hù)

低壓脈沖I-V源測(cè)量單元

-精度0.1%或0.03%可選

-直流、脈沖工作模式

-Z大電壓300V,Z大直流1A或3A可選，Z大脈沖電流10A或30A可選

-最小電流分辨率1pA

-最小脈寬200μs

-四象限工作區(qū)間.

-支持二線(xiàn)，四線(xiàn)制測(cè)試模式

-支持GUARD保護(hù)

高壓I-V源測(cè)量單元

-精度0.1%

-Z大電壓1200V,Z大直流100mA

-最小電流分辨率100pA

-一、三象限工作區(qū)間

-支持二線(xiàn)、四線(xiàn)制測(cè)試模式

-支持GUARD保護(hù)

高流I-V源測(cè)量單元

-精度0.1%

-直流、脈沖工作模式.

-Z大電壓100V，Z大直流30A ,Z大脈沖電流100A

-最小電流分辨率10pA

-最小脈寬80μs

-四象限工作區(qū)間

支持二線(xiàn)、四線(xiàn)制測(cè)試模式

-支持GUARD保護(hù)

電壓電容C-V測(cè)量單元

-基本精度0.5%

-測(cè)試頻率10hZ~1MHz，可選配至10MHz

-支持高壓DC偏置，Z大偏置電壓1200V

-多功能AC性能測(cè)試，C-V、 C-f、 C-t

硬件指標(biāo)-IV測(cè)試

半導(dǎo)體材料以及器件的參數(shù)表征，往往包括電特性參數(shù)測(cè)試。絕大多數(shù)半導(dǎo)體材料以及器件的參數(shù)測(cè)試，都包括電流-電壓(I-V)測(cè)量。源測(cè)量單元(SMU) ，具有四象限，多量程，支持四線(xiàn)測(cè)量等功能，可用于輸出與檢測(cè)高精度、微弱電信號(hào)，是半導(dǎo)體|-V特性測(cè)試的重要工具之-。SPA-6100配置有多種不同規(guī)格的SMU,如低壓直流SMU,低壓脈沖SMU,大電流SMU。用戶(hù)可根據(jù)測(cè)試需求靈活配置不同規(guī)格,以及不同數(shù)量的搭配，實(shí)現(xiàn)測(cè)試測(cè)試效率與開(kāi)支的平衡。

靈活可定制化的夾具方案

針對(duì)市面上不同封裝類(lèi)型的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品,普賽斯提供整套夾具解決方案。夾具具有低阻抗、安裝簡(jiǎn)單、種類(lèi)豐富等特點(diǎn)，可用于二極管、三極管、場(chǎng)效應(yīng)晶體管、IGBT、SiC MOS、GaN等單管，模組類(lèi)產(chǎn)品的測(cè)試;也可與探針臺(tái)連接，實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)芯片測(cè)試。

探針臺(tái)連接示意圖

審核編輯：湯梓紅