一、基本概念

CV特性（電容-電壓特性）是指半導(dǎo)體器件在不同偏置電壓下表現(xiàn)出的電容變化規(guī)律，主要用于分析器件的介電特性、載流子分布和界面狀態(tài)。該特性是評估功率器件性能的核心指標之一。

CV特性測試（電容-電壓特性測試）是通過測量半導(dǎo)體器件在不同偏置電壓下的電容變化，分析其介電特性、摻雜濃度及界面狀態(tài)的關(guān)鍵技術(shù)。主要應(yīng)用于功率器件（MOSFET/IGBT等）的寄生參數(shù)測量和材料特性研究。

二、核心測試內(nèi)容

?關(guān)鍵參數(shù)測量?

?寄生電容?：包括輸入電容（Ciss）、輸出電容（Coss）、反向傳輸電容（Crss）

?柵極電阻?（Rg）：評估器件開關(guān)性能

?CV曲線?：反映耗盡層寬度與載流子分布關(guān)系

?典型測試對象?

功率器件：二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管

半導(dǎo)體材料：晶圓摻雜濃度分析

特殊材料：液晶彈性常數(shù)測試

三、TH510系列分析儀技術(shù)特性

四、測試流程與數(shù)據(jù)分析

?操作流程?

預(yù)校準：執(zhí)行開路（OPEN）、短路（SHORT）、負載（LOAD）校準

參數(shù)設(shè)置：選擇測試頻率（1kHz-2MHz）、偏置電壓（VGS/VDS）

掃描模式：圖形掃描可顯示同一參數(shù)不同Vg的多條曲線對比

?典型曲線分析?

?積累區(qū)?：負偏壓下電容值接近氧化層電容（C??）

?耗盡區(qū)?：正偏壓使電容隨電壓升高而下降

?反型區(qū)?：高頻/低頻測試下電容分化明顯

五、應(yīng)用場景

?產(chǎn)線分選?：10Bin分檔功能，支持1800次/秒高速測試

?研發(fā)分析?：通過CV曲線計算摻雜濃度（N?/N

審核編輯 黃宇