SK海力士研發(fā)可重復(fù)使用CMP拋光墊技術(shù)
據(jù)韓媒 ETNews 27 日披露，SK 海力士成功研發(fā)可重復(fù)使用的 CMP 拋光墊技術(shù)，此舉既降本又有利于提升環(huán)境、社會、治理（ESG）效果。
據(jù)悉，該公司計(jì)劃率先在較低風(fēng)險工藝中運(yùn)用可再生拋光墊，并逐步推廣至更多領(lǐng)域。
需要指出的是，CMP 技術(shù)通過化學(xué)與機(jī)械作用使得待拋光材料表面達(dá)到所需平滑程度。其中，拋光液中化學(xué)物質(zhì)與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成易于拋光的軟化層。拋光墊和研磨顆粒則負(fù)責(zé)物理機(jī)械拋光，清除這一軟化層。
在 CMP 制程中，拋光墊發(fā)揮著重要功能。譬如，它使拋光液能在加工區(qū)域均勻分布并提供補(bǔ)充拋光液實(shí)現(xiàn)循環(huán)，同時迅速清除工件拋光面上的殘余物以及施加用于材料去除的機(jī)械載荷，以及保持拋光所需的機(jī)械和化學(xué)環(huán)境。此外，拋光墊的表面組織特征如微孔、孔隙率及溝槽形狀等，也可通過影響拋光液流動和分布進(jìn)而影響拋光效率和平坦性。
為了實(shí)現(xiàn)拋光墊的重復(fù)利用，SK 海力士采取了 CMP 拋光墊表盤紋理重建策略。目前，韓國約 70%的 CMP 拋光墊來自海外，對外依存度高。此次技術(shù)突破有望助力韓國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)更高程度的自給自足。
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
CMP
+關(guān)注
關(guān)注
6文章
159瀏覽量
27553 -
拋光
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
61瀏覽量
12080 -
SK海力士
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
1003瀏覽量
40938
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
熱點(diǎn)推薦
SK海力士HBS存儲技術(shù)，基于垂直導(dǎo)線扇出VFO封裝工藝
電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道，據(jù)韓媒報道，存儲行業(yè)巨頭SK海力士正全力攻克一項(xiàng)全新的性能瓶頸技術(shù)高帶寬存儲HBS。 ? SK海力士
SK海力士發(fā)布未來存儲路線圖
電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道，近日，韓國首爾舉行的“SK AI Summit 2025”峰會上，SK海力士CEO郭魯正（Kwak Noh-Jung）正式宣布了公司向 “全線AI存儲創(chuàng)造者”（Full
SK海力士在微細(xì)工藝技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先實(shí)力
SK海力士的成功神話背后，離不開眾多核心技術(shù)的支撐，其中最令人矚目的便是“微細(xì)工藝”。通過對肉眼難以辨識的微細(xì)電路進(jìn)行更為精細(xì)化的處理，SK海力士
SK海力士HBM技術(shù)的發(fā)展歷史
SK海力士在鞏固其面向AI的存儲器領(lǐng)域領(lǐng)導(dǎo)地位方面，HBM1無疑發(fā)揮了決定性作用。無論是率先開發(fā)出全球首款最高性能的HBM，還是確立并保持其在面向AI的存儲器市場的領(lǐng)先地位，這些成就的背后皆源于SK
英偉達(dá)供應(yīng)商SK海力士盈利大增158%
得益于AI需求的有力推動；高帶寬內(nèi)存(HBM)需求持續(xù)暴漲，這帶動了英偉達(dá)供應(yīng)商SK海力士盈利大增158%。 據(jù)SK海力士公布的財(cái)務(wù)業(yè)績數(shù)據(jù)顯示，在2025年第一季度
SK海力士強(qiáng)化HBM業(yè)務(wù)實(shí)力的戰(zhàn)略規(guī)劃
隨著人工智能技術(shù)的迅猛發(fā)展，作為其核心支撐技術(shù)的高帶寬存儲器（以下簡稱HBM）實(shí)現(xiàn)了顯著的增長，為SK海力士在去年實(shí)創(chuàng)下歷史最佳業(yè)績做出了不可或缺的重要貢獻(xiàn)。業(yè)內(nèi)普遍認(rèn)為，
SK海力士與三星或停用中國EDA軟件
據(jù)韓國媒體報道，SK海力士已啟動對中國半導(dǎo)體電子設(shè)計(jì)自動化(EDA)軟件的緊急審查程序。此舉被視為對美國特朗普政府針對中國實(shí)施額外制裁的回應(yīng)。 分析指出，近期中國EDA公司華大九天的韓國分公司被美國
SK海力士緊急審查中國EDA軟件使用
據(jù)韓國媒體報道，韓國半導(dǎo)體行業(yè)的巨頭SK海力士，為應(yīng)對美國可能出臺的新政策，已開始對其所使用的中國半導(dǎo)體電子設(shè)計(jì)自動化(EDA)軟件進(jìn)行緊急審查。這一舉措反映了全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在地緣政治緊張局勢下
SK 海力士發(fā)布2024財(cái)年財(cái)務(wù)報告
SK 海力士近日正式公布了截至2024年12月31日的2024財(cái)年及第四季度財(cái)務(wù)報告，數(shù)據(jù)顯示，該公司在過去一年中取得了令人矚目的業(yè)績。 2024年全年，SK 海力士營收達(dá)到了6619
SK海力士在CXL技術(shù)領(lǐng)域的研發(fā)進(jìn)展
挑戰(zhàn)傳統(tǒng)，打破限制，勇攀高峰，打破常規(guī)者們在尋求開創(chuàng)性解決方案的過程中重塑規(guī)則。繼SK海力士品牌短片《誰是打破常規(guī)者》播出后，將推出一系列文章，展示公司在重塑技術(shù)、重新定義行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)方面采取的各種“打破常規(guī)”的創(chuàng)新舉措。本系列第七
SK海力士創(chuàng)歷史最佳年度業(yè)績
SK海力士近日發(fā)布了截至2024年12月31日的2024財(cái)年及第四季度財(cái)務(wù)報告，數(shù)據(jù)顯示公司再創(chuàng)佳績。2024財(cái)年，SK海力士的營業(yè)收入高達(dá)66.1930萬億韓元，營業(yè)利潤達(dá)到23.4
SK海力士加速16Hi HBM3E內(nèi)存量產(chǎn)準(zhǔn)備
堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。 SK海力士的這一舉措，無疑將在全球半導(dǎo)體市場中掀起波瀾。16Hi HBM3E內(nèi)存作為業(yè)界領(lǐng)先的技術(shù)產(chǎn)品，其量產(chǎn)將有望推動整個半導(dǎo)體存儲行業(yè)的發(fā)展和進(jìn)步。通過加速量產(chǎn)準(zhǔn)備工作，SK
SK海力士考慮提供2.5D后端工藝服務(wù)
近日，據(jù)韓媒報道，SK海力士在先進(jìn)封裝技術(shù)開發(fā)領(lǐng)域取得了顯著進(jìn)展，并正在考慮將其技術(shù)實(shí)力拓展至對外提供2.5D后端工藝服務(wù)。 若SK
單面拋光吸附墊是什么？
單面拋光吸附墊是拋光技術(shù)領(lǐng)域中的一種重要配件，主要用于晶圓等半導(dǎo)體材料的單面拋光過程中。以下是對單面拋光
SK海力士完成2025年度組織及人事大調(diào)整
與優(yōu)化。 在新的組織架構(gòu)下，SK海力士的業(yè)務(wù)部門被精細(xì)劃分為五大板塊，分別是負(fù)責(zé)AI基礎(chǔ)設(shè)施的CMO(首席營銷官)部門、專注于研發(fā)領(lǐng)域的CTO(首席技術(shù)官)部門、承擔(dān)開發(fā)重任的CDO(
工商網(wǎng)監(jiān)
評論