5月12日,皖江經(jīng)濟帶核心城市合肥的邊界上,御微首臺掩模基板缺陷檢測產(chǎn)品Halo-100正式裝車,準(zhǔn)備運輸交付給國內(nèi)頂尖掩模工廠。
據(jù)御微半導(dǎo)體官方公告,這臺被譽為“掩模全周期質(zhì)量控制“的Halo-100設(shè)備,是該公司產(chǎn)品線的第二款力作。
它利用了高精度光學(xué)系統(tǒng)、穩(wěn)定運動臺系統(tǒng)及高潔凈度環(huán)控與傳輸系統(tǒng),結(jié)合御微獨家算法和軟件系統(tǒng),成功滿足了對掩?;澹╞lank)缺陷檢測的需求,同時也將掩模檢測的應(yīng)用范圍擴展到了掩模廠來料檢驗和掩模基板廠全流程控制檢查。
據(jù)悉,Halo-100設(shè)備可廣泛應(yīng)用于掩?;鍙S的玻璃基板來料檢驗、多層鍍膜過程檢驗和成品出貨檢驗等環(huán)節(jié),幫助客戶在每一個生產(chǎn)階段都能實時監(jiān)控潔凈度狀況。
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