編者按：西安交大蔣莊德院士是我國高端MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感技術(shù)的開拓者和帶頭人，他因在此領(lǐng)域的杰出貢獻榮獲2014年何梁何利基金獎的“科學與技術(shù)進步獎”?！吨袊茖W報》進校專訪蔣莊德院士，并刊登了本報記者張行勇、通訊員劉昱含撰寫的文章“蔣莊德 從‘零的突破'到‘高端領(lǐng)跑'”。

MEMS從“零的突破”到“高端領(lǐng)跑”，這位2014年度何梁何利獎得主花了整整二十年。蔣莊德的心得是：“做學問、做研究切忌跟風，要不受各種‘熱鬧’干擾方可。只有坐得住，才能立得穩(wěn)。”

愈深厚，愈親切——這是許多人在接觸學科“大牛”都會有的感受，而這也正是中國工程院院士、西安交通大學教授蔣莊德給很多人的感覺。這位獲得2014年度何梁何利基金“科學與技術(shù)進步獎”的學者，接受了《中國科學報》記者的專訪。在位于西安交通大學曲江校區(qū)“高端制造裝備協(xié)同創(chuàng)新中心”微納芯片、傳感器研發(fā)實驗室外的展柜前，蔣莊德親自介紹了團隊近些年在微機電系統(tǒng)（MEMS）和納米技術(shù)領(lǐng)域取得的成果，順便科普了不少學科基礎(chǔ)知識。

蔣莊德長期從事微納制造和精密測量技術(shù)等方面的研究，在耐高溫壓力傳感器及系列MEMS器件、數(shù)字化精密測量技術(shù)與裝備的工程科技領(lǐng)域作出了重要貢獻，并在微納米技術(shù)相關(guān)基礎(chǔ)理論等方面開展了創(chuàng)新性研究。在微納制造技術(shù)領(lǐng)域，他主持研制的耐高溫壓力傳感器及系列MEMS器件，解決了航空航天、軍工、石化、先進制造等領(lǐng)域高溫惡劣環(huán)境下的壓力/加速度測量難題，打破了國外的技術(shù)封鎖和壟斷，并將MEMS產(chǎn)品推向工程應用，引領(lǐng)和帶動了高端MEMS傳感器技術(shù)的發(fā)展。

2013年當選中國工程院機械與運載工程學部院士的他，如今依然將自己看作后生晚輩。他對記者說：“還是多采訪報道西安交大的老教授們，他們是我的老師和前輩，默默無聞、踏踏實實地在西部奉獻一生，更令人敬佩！”

曙光總在困難后

1977年，22歲的蔣莊德從西安交大機械制造專業(yè)畢業(yè)后留校任教。后獲西安交通大學機械制造專業(yè)工學碩士學位和英國伯明翰大學機械工程專業(yè)博士學位。

上世紀90年代初，MEMS和納米技術(shù)成為世界高新科技競爭的制高點。美國早在上世紀80年代就聲稱世界已進入傳感器時代，日本工商界人士聲稱《支配了傳感器技術(shù)就能夠支配新時代》。

當時已經(jīng)留校任教的蔣莊德，敏銳地意識到了這一發(fā)展趨勢和巨大潛力。1993年，他率先向?qū)W校提交了《關(guān)于立即開展納米技術(shù)和微型機械研究的報告》。

然而，作為機械、電子等學科的交叉領(lǐng)域，MEMS和納米技術(shù)研究當時在國內(nèi)屬于新興領(lǐng)域，西安交大并沒有任何基礎(chǔ)，基本處于無資金、無隊伍、無專業(yè)實驗室的“三無”狀態(tài)。最終，學校提供了兩萬塊錢作為啟動資金，支持蔣莊德開展全新的探索性研究。

蔣莊德從驪山微電子公司買了一批二手設(shè)備，自己動手在實驗室搭了一個簡易暗室，推板車、安設(shè)備，除了上課就泡在實驗室里；走流程、摸工藝，即使條件非常有限，他還是一次次重復，力求做到更好、做到極致。后來組織幾位研究生成立了首個科研小組，大家齊心協(xié)力，在一個完全陌生的領(lǐng)域中邊學邊做。在姚熹院士“贊助”的實驗室里奮戰(zhàn)了幾個月，最終成功研制了分度圓直徑為300微米的硅基漸開線齒輪和陣列式硅微傳感器。

隨著研究前景的日益明晰，蔣莊德獲得了越來越多的支持：國家自然科學基金、國防青年基金、教育部博士點基金、國家重點實驗室基金……特別是在學校的支持下，團隊終于結(jié)束了“借殼”生活，從中科院化學所購置了掃描隧道顯微鏡（STM）等儀器設(shè)備，擁有了一個50平方米左右的超凈實驗室。

最艱苦的時期在日后回憶起來往往是最珍貴的記憶，回想初創(chuàng)時期的種種艱辛，蔣莊德心生感慨：“盡管隨之而來的是在研發(fā)過程中遇到的各種技術(shù)難題與瓶頸，但咬牙挺過困難時期必定會出現(xiàn)曙光。這是自己的體會?！?/p>

十年基礎(chǔ)，十年應用

有了硬件設(shè)備的支持，蔣莊德在MEMS和納米技術(shù)領(lǐng)域的研究一路高歌猛進。2000年，國家“863”計劃先進制造技術(shù)領(lǐng)域預研項目001號“耐高溫壓力傳感器”進行招標，全國共有8家科研單位競標，幾乎全部是行業(yè)翹楚。蔣莊德所帶領(lǐng)的團隊一舉奪魁，并在一年的時間里順利結(jié)項，獲得了高度認可。后來科技部的相關(guān)重點項目也由蔣莊德帶領(lǐng)的團隊領(lǐng)銜。

在突破了一系列技術(shù)難題之后，蔣莊德團隊開發(fā)了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MEMS耐高溫、耐高壓、高過載、超高g值和集成傳感器等系列產(chǎn)品，不僅打破了國外的技術(shù)封鎖與壟斷，而且將很多項目成果實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，廣泛應用于航空航天、兵器、船總、石化等不同領(lǐng)域的數(shù)百家軍工和民用企業(yè)。

從“零的突破”到“高端領(lǐng)跑”，蔣莊德花了整整二十年?！笆昊A(chǔ)、十年應用”，盡管當中也是一波三折，卻也總算是守得云開見月明。說起這種堅持到底的態(tài)度和動力從何而來，他的答案是這是西安交大的老前輩們傳承給自己的“基因”——既要有“扎下去”的科學精神，也要有“走出去”的戰(zhàn)略眼光。

既是師長、也是“老搭檔”的盧秉恒院士是蔣莊德20多年科研路的見證者，他也感慨于“老搭檔”的這股子韌勁兒：“他20多年來的研究，突破了MEMS器件能看不能動、能動不能用的困局，終于在國內(nèi)率先將微機電系統(tǒng)傳感器技術(shù)推向工程應用。”

總結(jié)這20多年來的經(jīng)驗心得，蔣莊德的答案和他從前輩那兒學到的一脈相承：“做學問、做研究切忌跟風，要不受各種‘熱鬧’干擾方可。只有坐得住，才能立得穩(wěn)?！?/p>

承前啟后，砥礪品行

個人價值唯有在團隊支持下才能得以升華，這是蔣莊德一直以來堅持的觀點。他總是感恩于前輩和學校對起步階段的自己所給予的支持，而現(xiàn)在，他也像自己的前輩一樣支持自己的學生——“這是一種精神的傳承”。

周惠久、謝友柏、汪應洛、屈梁生、盧秉恒、蔣莊德——六人都是從西安交通大學機械學科教師中產(chǎn)生的院士?；貞浧鹋c老師交往的細節(jié)，蔣莊德至今歷歷在目，與屈梁生先生深夜討論、與盧秉恒院士在車間同甘共苦……其中讓蔣莊德印象特別深刻的是，當時站講臺可謂是“要求很高”：正式上課前必須試講，被老師們挑了一堆毛病后至少改個兩三遍。這些砥礪磨煉和耳濡目染，將求真求實、淡泊名利的傳統(tǒng)學者精神，徹徹底底地“種”到了蔣莊德身上。

蔣莊德格外重視對青年教師的培養(yǎng)。1999年師從蔣莊德的趙玉龍，如今已是國家杰出青年基金獲得者、教育部長江學者特聘教授。1992年至今，蔣莊德培養(yǎng)的研究生已超百名，其中很多如今都已經(jīng)成為領(lǐng)域內(nèi)的耀眼“明星”。

“畫好了道，你們只管往前跑，甩開膀子，別有壓力和顧慮。”這是現(xiàn)今身為長者的蔣莊德經(jīng)常對學生們說的話。

1999年師從蔣莊德的趙玉龍，如今已是國家杰出青年基金獲得者、教育部長江學者特聘教授。蔣莊德培養(yǎng)畢業(yè)的博士和碩士生已超過百人，包括國家杰出青年基金獲得者、教育部長江學者特聘教授、中組部“萬人計劃”科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才、中組部青年千人、全國百篇優(yōu)博獲得者、陜西省三秦學者和科技新星及教育部新世紀優(yōu)秀人才等。