PW方塊電阻的測試條件

圖5-34所示為PW方塊電阻的版圖，圖5-35所示為它的剖面圖。PW方塊電阻是通過DNW 隔離襯底（P-sub），如果沒有DNW的隔離，這個PW 方塊電阻會與 P-sub短路。

圖5-36所示為PW方塊電阻的電路連接圖。PW方塊電阻是三端器件，它的三個端口分別是電阻的兩端和襯底（DNW），它們分別連到 PAD_P1、PAD_P2 和 PAD_B,WAT測試機器通過這三個端口把電壓激勵信號加載在電阻的兩端和襯底，從而測得所需的電性特性參數(shù)數(shù)據(jù)。

PW方塊電阻的 WAT參數(shù)是Rs_PW。

圖5-37所示為測量Rs_PW 的示意圖。測量PW 方塊電阻 Rs_PW 的基本原理是在電阻的一端和襯底加載電壓 DC電壓1V，另一端接地，從而測得電流Ip，Rs_PW =（1/Ip）/（L/W），W和L分別是PW 方塊電阻的寬度和長度。

影響方塊電阻 Rs_PW的因素包括以下兩方面：

1） PW 離子注入異常；

2）離子注入損傷在退火過程中沒有激活。

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