透射電鏡的樣品種類

透射電鏡（TEM）的樣品類型多樣，涵蓋了粉末試樣、薄膜試樣、表面復(fù)型和萃取復(fù)型等多種形式。

薄膜試樣則側(cè)重于研究樣品內(nèi)部的組織、結(jié)構(gòu)、成分、位錯(cuò)組態(tài)和密度、相取向關(guān)系等。表面復(fù)型和萃取復(fù)型主要用于金相組織觀察、斷口形貌、形變條紋、第二相形態(tài)、分布和結(jié)構(gòu)等方面的分析。

透射電鏡工作原理

透射電子顯微鏡（TEM）是一種高分辨率的顯微鏡技術(shù)，其工作原理是將經(jīng)過加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上。散射角的大小與樣品的密度、厚度密切相關(guān)，因此可以形成明暗不同的影像。TEM 的分辨率通常在 0.1～0.2nm 之間，放大倍數(shù)可達(dá)幾萬至百萬倍，能夠觀察到小于 0.2 微米的超微結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)在光學(xué)顯微鏡下是無法看清的，因此也被稱為“亞顯微結(jié)構(gòu)”。與光學(xué)顯微鏡相比，TEM 的成像原理雖然有相似之處，但也存在顯著的不同點(diǎn)。光學(xué)顯微鏡使用可見光作為照明束，而 TEM 則以電子作為照明束。在聚焦成像方面，光學(xué)顯微鏡采用玻璃透鏡，而 TEM 則使用磁透鏡。電子波長(zhǎng)極短，且與物質(zhì)的相互作用遵循布拉格方程（λ=2dsinθ），會(huì)產(chǎn)生衍射現(xiàn)象。正是由于這些特性，TEM 具備了高分辨率，并且具有結(jié)構(gòu)分析的功能，能夠?yàn)椴牧峡茖W(xué)、生物學(xué)、物理學(xué)等領(lǐng)域的研究提供強(qiáng)大的技術(shù)支持。

FIB 制樣原理及優(yōu)勢(shì)

聚焦離子束（FIB）制樣技術(shù)是一種先進(jìn)的樣品制備方法，其原理是利用電透鏡將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速后聚焦，作用于樣品表面，實(shí)現(xiàn)樣品材料的銑削、沉積、注入和成像等功能。大多數(shù) FIB 設(shè)備使用鎵（Ga）作為離子源，也有一些設(shè)備具備氦（He）和氖（Ne）離子源。將掃描電子顯微鏡（SEM）與 FIB 集成為一個(gè)系統(tǒng)，可以充分發(fā)揮兩者的優(yōu)點(diǎn)。在加工過程中，可以利用電子束實(shí)時(shí)監(jiān)控樣品的加工進(jìn)度，從而更好地控制加工精度，使其成為納米級(jí)分析和制造的主要方法之一。

FIB 制樣技術(shù)具有諸多優(yōu)勢(shì)。首先，它能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的樣品加工，加工精度可達(dá)納米級(jí)別，這對(duì)于制備高質(zhì)量的透射電鏡樣品至關(guān)重要。其次，F(xiàn)IB 制樣過程可以在同一設(shè)備中完成銑削、沉積等多種操作，大大提高了樣品制備的效率。此外，通過與 SEM 的結(jié)合，F(xiàn)IB 制樣技術(shù)可以在加工過程中實(shí)時(shí)觀察樣品的形貌和結(jié)構(gòu)變化，及時(shí)調(diào)整加工參數(shù)，確保樣品的質(zhì)量。這種實(shí)時(shí)監(jiān)控功能不僅提高了樣品制備的成功率，還減少了樣品制備過程中的誤差和浪費(fèi)。金鑒實(shí)驗(yàn)室致力于為客戶提供高質(zhì)量的測(cè)試和分析服務(wù)，幫助他們?cè)诓牧峡茖W(xué)、納米技術(shù)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域取得更大的進(jìn)展。