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中芯國(guó)際訂購(gòu)了首臺(tái)最先進(jìn)的EUV(極紫外線(xiàn))光刻機(jī)

電子工程師 ? 來(lái)源:網(wǎng)絡(luò)整理 ? 作者:工程師d ? 2018-05-26 01:54 ? 次閱讀
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據(jù)《日經(jīng)亞洲評(píng)論》(Nikkei Asian Review)15日援引消息人士的話(huà)稱(chēng),中國(guó)芯片加工企業(yè)中芯國(guó)際(SMIC)向全球最大的芯片設(shè)備制造商——荷蘭ASML訂購(gòu)了首臺(tái)最先進(jìn)的EUV(極紫外線(xiàn))光刻機(jī),價(jià)值1.2億美元。目前,業(yè)內(nèi)已達(dá)成共識(shí),必須使用EUV光刻機(jī)才能使半導(dǎo)體芯片進(jìn)入7nm,甚至5nm時(shí)代。今天,中芯國(guó)際方面對(duì)觀(guān)察者網(wǎng)表示,對(duì)此事不做評(píng)論。

消息稱(chēng),這臺(tái)幾乎相當(dāng)于中芯國(guó)際去年全部?jī)衾麧?rùn)的設(shè)備,將于2019年前交付。

ASML發(fā)言人對(duì)《日經(jīng)亞洲評(píng)論》表示,該企業(yè)對(duì)包括中國(guó)客戶(hù)在內(nèi)的全球客戶(hù)都一視同仁。而且,向中國(guó)出售EUV光刻機(jī)并沒(méi)有違反《瓦森納協(xié)定》(the Wassenaar Arrangement)(下稱(chēng):《協(xié)定》)。

半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)家莫大康對(duì)此分析稱(chēng),“1.2億美元加上配套是個(gè)大投資,是為研發(fā)作好準(zhǔn)備。在到貨之前,尚不能說(shuō)ok,因?yàn)樵O(shè)備出口許可證,ASML說(shuō)了不算,還要聽(tīng)美國(guó)的”。

中芯國(guó)際員工在上海晶圓廠(chǎng)

據(jù)消息人士透露,作為內(nèi)地規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的芯片制造企業(yè),中芯國(guó)際是在美國(guó)4月份對(duì)中興通訊制裁后下達(dá)的訂單。

他還表示,中芯國(guó)際在采購(gòu)此價(jià)格不菲的設(shè)備上,獲得了來(lái)自中國(guó)政府方面的資金支持。

觀(guān)察者網(wǎng)注意到,對(duì)比這臺(tái)EUV光刻機(jī)的價(jià)值,中芯國(guó)際去年凈利潤(rùn)僅為1.264億美元。

TWINSCAN NXE:3400B EUV光刻機(jī)。

ASML是世界上唯一一個(gè)能夠制造EUV光刻機(jī)的廠(chǎng)商,并且產(chǎn)量極低。其全部產(chǎn)能早在生產(chǎn)之前就被預(yù)訂一空。

在中美貿(mào)易爭(zhēng)端之際,中芯國(guó)際向ASML下訂單,將不僅使中國(guó)企業(yè)縮小與芯片市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)者的代差,同時(shí)也能保證對(duì)華關(guān)鍵設(shè)備的供應(yīng)。

值得注意的是,ASML在4月中旬舉行的財(cái)報(bào)會(huì)議上公開(kāi)稱(chēng),今年計(jì)劃有20臺(tái)EUV光刻機(jī)交付,但并沒(méi)有說(shuō)明訂單詳情。

不過(guò),ASML客戶(hù)包括英特爾、三星和臺(tái)積電等國(guó)際芯片巨頭,EUV光刻機(jī)也將確保上述企業(yè)保持在芯片領(lǐng)域的領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。

根據(jù)《日經(jīng)亞洲評(píng)論》提供的數(shù)據(jù),今年,臺(tái)積電已經(jīng)向ASML訂購(gòu)接近10臺(tái)EUV光刻機(jī),三星約為6臺(tái),英特爾為3臺(tái)。

另外,該報(bào)道作者還認(rèn)為,雖然中芯國(guó)際的技術(shù)落后三星、臺(tái)積電兩到三代,并且現(xiàn)在還在28nm和14nm制程上掙扎,但是中芯國(guó)際購(gòu)買(mǎi)其第一臺(tái)EUV光刻機(jī)的舉動(dòng),凸顯了其提升中國(guó)自主半導(dǎo)體制造的決心。

事實(shí)上,EUV光刻機(jī)作為現(xiàn)今最先進(jìn)的芯片制造設(shè)備,是唯一能夠生產(chǎn)7nm以下制程,因此,其也被稱(chēng)為“突破摩爾定律的救星”。

從2019年半導(dǎo)體芯片將進(jìn)入7nm時(shí)代開(kāi)始(現(xiàn)在處于10nm時(shí)代),EUV光刻機(jī)可以被稱(chēng)為戰(zhàn)略性設(shè)備,沒(méi)有就會(huì)使芯片制造寸步難行。

“中芯提前布局7nm是件好事”

《日經(jīng)亞洲評(píng)論》報(bào)道稱(chēng),目前,幾家領(lǐng)先的芯片制造商仍在努力安裝和測(cè)試EUV光刻機(jī)。但由于還沒(méi)有成功生產(chǎn)7nm以下制程芯片的經(jīng)驗(yàn),仍有很多挑戰(zhàn)需要克服。

工藝尺寸越小,開(kāi)發(fā)越昂貴且難度越大,當(dāng)然芯片性能也越強(qiáng)大。

報(bào)道提到,目前,蘋(píng)果iPhone X和iPhone 8系列的核心處理器采用了臺(tái)積電的10nm工藝,今年新款iPhone的處理器預(yù)計(jì)將采用7nm工藝。

如今,業(yè)內(nèi)已達(dá)成共識(shí),更尖端的芯片制造工藝將小于5nm,并且必須使用EUV光刻機(jī)才能實(shí)現(xiàn)。

有分析師稱(chēng),盡管代價(jià)高昂,并且需要很長(zhǎng)時(shí)間追趕對(duì)手,但是中芯國(guó)際不會(huì)放棄投資半導(dǎo)體技術(shù)。

中芯國(guó)際CEO趙海軍

據(jù)中芯國(guó)際CEO趙海軍透露,今年將全年資本支出從19億美元上調(diào)至23億美元,用于先進(jìn)制程的研發(fā)、設(shè)備開(kāi)支以及擴(kuò)充產(chǎn)能。

他預(yù)測(cè),未來(lái)幾年,中國(guó)芯片設(shè)計(jì)廠(chǎng)商數(shù)量每年將增長(zhǎng)20%。

“中芯國(guó)際已處于有利位置,將抓住有潛力的市場(chǎng),并通過(guò)加速發(fā)展制造工藝,擴(kuò)大可預(yù)期的市場(chǎng)空間”。

一位接近中芯的業(yè)內(nèi)人士坦言, 中芯國(guó)際對(duì)未來(lái)先進(jìn)工藝做儲(chǔ)備是意料之中的,也證明該公司對(duì)未來(lái)發(fā)展的路徑非常清晰。

另外,莫大康指出,中芯有錢(qián)提前布局7nm是件好事。目前該設(shè)備實(shí)用性方面還有一些問(wèn)題,所以需要做許多配套工作。

“對(duì)于中芯來(lái)說(shuō),要從人員培訓(xùn)開(kāi)始,正好是個(gè)學(xué)習(xí)機(jī)會(huì),等中芯能做7nm可能至少5年以上,還趕得上”。

《瓦森納協(xié)定》嚴(yán)重影響我國(guó)高科技國(guó)際合作

本文開(kāi)頭所提到的《協(xié)定》,全稱(chēng)為《關(guān)于常規(guī)武器和兩用物品及技術(shù)出口控制的瓦森納安排》,是世界主要的工業(yè)設(shè)備和武器制造國(guó)在巴黎統(tǒng)籌委員會(huì)解散后,于1996年成立的一個(gè)旨在控制常規(guī)武器和高新技術(shù)貿(mào)易的國(guó)際性組織。

《協(xié)定》擁有33個(gè)成員國(guó),中國(guó)不在其列,其主要目的是阻止關(guān)鍵技術(shù)和元器件流失到成員國(guó)之外。

值得注意的是,《協(xié)定》雖然允許成員國(guó)在自愿的基礎(chǔ)上對(duì)各自的技術(shù)出口實(shí)施控制,但實(shí)際上,成員國(guó)在重要的技術(shù)出口決策上受到美國(guó)的影響。

而中國(guó)、朝鮮、伊朗、利比亞等國(guó)均在被限制國(guó)家名單之中。

不難想象,這嚴(yán)重影響了我國(guó)與其成員國(guó)之間開(kāi)展的高技術(shù)國(guó)際合作。

譬如,作為《協(xié)定》成員國(guó)之一的日本,出于政治和經(jīng)濟(jì)的需要,也一直對(duì)中日兩國(guó)高技術(shù)合作與交流持消極、謹(jǐn)慎的態(tài)度。

而在半導(dǎo)體領(lǐng)域,受限于《協(xié)定》,從芯片設(shè)計(jì)、生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域,中國(guó)都不能獲取到國(guó)外的最新科技。

臺(tái)積電創(chuàng)始人張忠謀,有“芯片大王”、“***半導(dǎo)體教父”之稱(chēng)

騰訊財(cái)經(jīng)此前報(bào)道,臺(tái)積電2016年在南京獨(dú)資設(shè)立16nm制程12英寸晶圓廠(chǎng)前,受到了美國(guó)的百般阻撓。

但最終,國(guó)民黨借助當(dāng)時(shí)在臺(tái)“立法院”的優(yōu)勢(shì),艱難地通過(guò)了南京晶圓廠(chǎng)的投資審核。

不止臺(tái)積電,包括三星、英特爾在內(nèi)的半導(dǎo)體三巨頭均受到《協(xié)定》框架的約束,而“三巨頭”也壟斷了全球的高端芯片制造。

另外,值得一提的是,15日,路透社報(bào)道援引三星一名高管的話(huà)稱(chēng),他們正與包括中興在內(nèi)的數(shù)家智能手機(jī)制造商洽談移動(dòng)處理器芯片供應(yīng)業(yè)務(wù)。

三星電子隨后在一份聲明中對(duì)稱(chēng),尚不能確定能與中興達(dá)成協(xié)議,其政策是對(duì)待所有廠(chǎng)商或者所有客戶(hù)一視同仁。

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