IGBT 作為功率半導(dǎo)體器件，其封裝結(jié)構(gòu)的機(jī)械可靠性對器件性能至關(guān)重要。IGBT 封裝底部與散熱器貼合面的平整度是影響封裝機(jī)械應(yīng)力分布的關(guān)鍵因素，當(dāng)貼合面存在平整度差時(shí)，會(huì)通過封裝結(jié)構(gòu)的力學(xué)傳遞使 IGBT 芯片承受不均勻的機(jī)械應(yīng)力，進(jìn)而對器件的電性能和可靠性產(chǎn)生潛在影響。

貼合面平整度差會(huì)導(dǎo)致封裝底部與散熱器之間形成非均勻的接觸界面。在螺栓緊固或壓板夾持等裝配過程中，平整度差的貼合面會(huì)使封裝底部受到非對稱的壓力分布。例如，貼合面局部凸起區(qū)域會(huì)承受更大的接觸壓力，而凹陷區(qū)域的壓力則相對較小，這種壓力差通過封裝基板（如 DBC 陶瓷基板）和焊料層傳遞至芯片，形成芯片表面的機(jī)械應(yīng)力梯度。由于芯片材料（硅）的脆性特征，這種非均勻應(yīng)力極易導(dǎo)致芯片內(nèi)部產(chǎn)生晶格畸變甚至微裂紋。

從力學(xué)傳遞路徑看，平整度差引發(fā)的機(jī)械應(yīng)力主要包括剪切應(yīng)力和彎曲應(yīng)力。當(dāng)貼合面存在局部高度差時(shí)，封裝底部在垂直壓力作用下會(huì)產(chǎn)生彎曲變形，使芯片表面承受彎曲應(yīng)力。以典型的 IGBT 模塊封裝為例，DBC 基板厚度通常在 0.3-0.6mm 之間，平整度差導(dǎo)致的基板彎曲會(huì)使芯片邊緣區(qū)域承受更大的拉應(yīng)力，而中心區(qū)域則可能出現(xiàn)壓應(yīng)力。同時(shí)，由于封裝材料熱膨脹系數(shù)的差異（如硅的熱膨脹系數(shù)為 2.6×10??/℃，銅基板為 17×10??/℃），在工作溫度波動(dòng)下，平整度差引發(fā)的應(yīng)力會(huì)與熱應(yīng)力疊加，形成更為復(fù)雜的應(yīng)力分布。

不均勻機(jī)械應(yīng)力對 IGBT 芯片的影響體現(xiàn)在多個(gè)層面。在材料微觀結(jié)構(gòu)上，應(yīng)力會(huì)導(dǎo)致硅晶體的晶格常數(shù)發(fā)生變化，進(jìn)而影響載流子的遷移率和壽命。研究表明，硅材料在壓應(yīng)力作用下載流子遷移率可提升 10%-15%，而拉應(yīng)力則可能導(dǎo)致載流子復(fù)合速率增加，這種變化會(huì)直接影響芯片的閾值電壓和導(dǎo)通電阻等電參數(shù)。在結(jié)構(gòu)層面，長期的非均勻應(yīng)力作用會(huì)使焊料層產(chǎn)生疲勞開裂，尤其是在芯片邊緣等高應(yīng)力區(qū)域，焊料層的開裂會(huì)進(jìn)一步加劇應(yīng)力集中，形成 “應(yīng)力 - 開裂 - 應(yīng)力加劇” 的惡性循環(huán)。

當(dāng)芯片承受不均勻機(jī)械應(yīng)力時(shí)，還可能引發(fā)封裝結(jié)構(gòu)的界面失效。例如，芯片與 DBC 基板之間的焊料層在應(yīng)力作用下會(huì)產(chǎn)生塑性變形，導(dǎo)致界面結(jié)合強(qiáng)度下降。在 IGBT 開關(guān)過程中，由于電流突變產(chǎn)生的電磁力會(huì)與機(jī)械應(yīng)力耦合，使芯片受到動(dòng)態(tài)載荷，加速界面失效進(jìn)程。更為嚴(yán)重的是，當(dāng)應(yīng)力超過硅材料的屈服強(qiáng)度（約 700MPa）時(shí)，芯片內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生微裂紋，這些微裂紋可能沿著晶界擴(kuò)展，直接破壞 pn 結(jié)結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致器件的擊穿電壓下降或出現(xiàn)漏電現(xiàn)象。

在 IGBT 模塊的實(shí)際應(yīng)用中，貼合面平整度差引發(fā)的不均勻機(jī)械應(yīng)力往往與熱應(yīng)力、電應(yīng)力相互作用。例如，在高功率密度工況下，芯片溫度升高會(huì)加劇材料熱膨脹差異，使機(jī)械應(yīng)力進(jìn)一步增大；而電應(yīng)力導(dǎo)致的芯片局部發(fā)熱又會(huì)與機(jī)械應(yīng)力耦合，形成熱 - 力耦合失效機(jī)制。這種多物理場的相互作用使得 IGBT 的失效模式更為復(fù)雜，增加了器件可靠性評(píng)估的難度。

激光頻率梳3D光學(xué)輪廓測量系統(tǒng)簡介：

20世紀(jì)80年代，飛秒鎖模激光器取得重要進(jìn)展。2000年左右，美國J.Hall教授團(tuán)隊(duì)?wèi){借自參考f-2f技術(shù)，成功實(shí)現(xiàn)載波包絡(luò)相位穩(wěn)定的鈦寶石鎖模激光器，標(biāo)志著飛秒光學(xué)頻率梳正式誕生。2005年，Theodor.W.H?nsch（德國馬克斯普朗克量子光學(xué)研究所）與John.L.Hall（美國國家標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)研究所）因在該領(lǐng)域的卓越貢獻(xiàn)，共同榮獲諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。?

系統(tǒng)基于激光頻率梳原理，采用500kHz高頻激光脈沖飛行測距技術(shù)，打破傳統(tǒng)光學(xué)遮擋限制，專為深孔、凹槽等復(fù)雜大型結(jié)構(gòu)件測量而生。在1m超長工作距離下，仍能保持微米級(jí)精度，革新自動(dòng)化檢測技術(shù)。?

核心技術(shù)優(yōu)勢?

①同軸落射測距：獨(dú)特掃描方式攻克光學(xué)“遮擋”難題，適用于縱橫溝壑的閥體油路板等復(fù)雜結(jié)構(gòu)；?

（以上為新啟航實(shí)測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

②高精度大縱深：以±2μm精度實(shí)現(xiàn)最大130mm高度/深度掃描成像；?

（以上為新啟航實(shí)測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

③多鏡頭大視野：支持組合配置，輕松覆蓋數(shù)十米范圍的檢測需求。

（以上為新啟航實(shí)測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

審核編輯 黃宇