隨著5G通信技術(shù)的快速發(fā)展，高阻絕緣體上硅在微波與毫米波器件、探測器等領(lǐng)域的應(yīng)用需求激增。然而，高阻硅片電阻率的快速準(zhǔn)確測量仍面臨技術(shù)挑戰(zhàn)。四點(diǎn)探針法（4PP）因其高精度、寬量程等特點(diǎn)被視為優(yōu)選方法，但其測量結(jié)果易受時(shí)間因素影響，導(dǎo)致數(shù)據(jù)不穩(wěn)定。本研究基于Xfilm埃利四探針方阻儀的系統(tǒng)性測量，首次觀察到高阻硅片電阻率的時(shí)間依賴性行為，揭示表面氧化引起的界面態(tài)變化是核心機(jī)制，并提出低溫?zé)崽幚矸€(wěn)定電阻率的新策略。

現(xiàn)象觀察與實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)

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P型（a）和N型（c）硅晶圓電阻率隨時(shí)間變化；XPS（b）和C 1s譜（d）顯示表面碳含量增加，氧化態(tài)演變

材料與方法：采用300mm CZ法生長的P型和N型高阻硅片（電阻率>2000Ω·cm），通過四點(diǎn)探針法（4PP）連續(xù)監(jiān)測電阻率變化，結(jié)合X射線光電子能譜（XPS）分析表面元素演化。關(guān)鍵發(fā)現(xiàn)：P型硅片電阻率隨存儲(chǔ)時(shí)間下降，N型則上升，兩者均在數(shù)天后趨于穩(wěn)定。XPS顯示表面碳含量增加（C 1s峰增強(qiáng)），硅氧化態(tài)向高價(jià)態(tài)遷移，表明自然氧化是主導(dǎo)因素。

表面氧化與能帶彎曲機(jī)制

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氧化層厚度對(duì)電阻率的影響（a），HF去除氧化層后XPS（b）、Si 2p（c）和C 1s譜（d）變化

氧化層厚度實(shí)驗(yàn)：通過熱氧化生長128?氧化層后逐層HF腐蝕，發(fā)現(xiàn)P型電阻率隨氧化層減薄而升高，N型則降低，與時(shí)間依賴性趨勢一致。

表面能帶彎曲模型（a）及HF處理后電阻率恢復(fù)趨勢（b）

能帶模型解釋：自然氧化導(dǎo)致表面能帶彎曲，N型表面形成耗盡層（載流子減少，電阻率↑），P型形成積累層（載流子增加，電阻率↓）。

界面缺陷對(duì)電性能的影響（a-d），顯示缺陷導(dǎo)致能帶向下彎曲第一性原理計(jì)算：基于CASTEP模擬Si/SiO?界面缺陷態(tài)，發(fā)現(xiàn)氧空位缺陷導(dǎo)致界面態(tài)密度增加，靜電勢升高，能帶向下彎曲，與實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象吻合。

熱處理的穩(wěn)定化作用

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熱處理（溫度與時(shí)間）對(duì)電阻率穩(wěn)定性的優(yōu)化效果

熱處理優(yōu)化：150°C低溫退火30分鐘可加速表面氧化，形成穩(wěn)定界面態(tài)，使電阻率快速穩(wěn)定。溫度越高（50-210°C），穩(wěn)定性越好，但需避免熱施主生成。機(jī)理驗(yàn)證：退火促進(jìn)原生氧化層致密化，減少界面態(tài)動(dòng)態(tài)變化，從而抑制電阻率漂移。本研究揭示了高阻硅片電阻率時(shí)間依賴性行為的本質(zhì)——表面自然氧化引發(fā)的界面態(tài)變化導(dǎo)致能帶彎曲。通過低溫?zé)崽幚砜煽焖俜€(wěn)定電阻率，為高阻硅片的工業(yè)化檢測提供了高效解決方案。研究成果不僅深化了對(duì)半導(dǎo)體表面物理的理解，還為5G高頻器件用高阻硅襯底的質(zhì)量控制提供了關(guān)鍵技術(shù)支持，具有重要的工程應(yīng)用價(jià)值。

Xfilm埃利四探針方阻儀

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Xfilm埃利四探針方阻儀用于測量薄層電阻（方阻）或電阻率，可以對(duì)最大230mm 樣品進(jìn)行快速、自動(dòng)的掃描， 獲得樣品不同位置的方阻/電阻率分布信息。

• 超高測量范圍，測量1mΩ~100MΩ
• 高精密測量，動(dòng)態(tài)重復(fù)性可達(dá)0.2%
• 全自動(dòng)多點(diǎn)掃描，多種預(yù)設(shè)方案亦可自定義調(diào)節(jié)
  
• 快速材料表征，可自動(dòng)執(zhí)行校正因子計(jì)算

本文通過實(shí)驗(yàn)觀測、理論計(jì)算與工藝優(yōu)化相結(jié)合，系統(tǒng)解決了高阻硅片電阻率測量中的時(shí)間依賴性問題。Xfilm埃利四探針方阻儀在此研究中發(fā)揮了關(guān)鍵作用，為快速驗(yàn)證熱處理效果及電阻率分布分析提供了可靠技術(shù)保障。