薄膜測(cè)厚儀系統(tǒng)框圖

系統(tǒng)組成：儀器集成電源、CPU、顯示器、A/D轉(zhuǎn)換器和增益放大器，支持單/雙配置模式切換，具備自動(dòng)/手動(dòng)測(cè)量、校準(zhǔn)、金屬電阻率輸入等功能。探針臺(tái)與四點(diǎn)探針：為最小化測(cè)量薄膜厚度時(shí)探針抖動(dòng)引起的接觸電阻影響，本研究設(shè)計(jì)并制造了專(zhuān)用探針臺(tái)。該裝置通過(guò)上下控制旋鈕固定探針，使其垂直接觸樣品表面以測(cè)量薄膜厚度。傳統(tǒng)四探針?lè)ǎ‵PP）因使用四探針接觸被視為破壞性方法，但通過(guò)優(yōu)化探針形狀與半徑可實(shí)現(xiàn)非破壞測(cè)量。

薄膜測(cè)厚儀的電阻與方阻特性

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本研究通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)電阻溯源法嚴(yán)格驗(yàn)證薄膜測(cè)厚儀的電學(xué)性能：電阻測(cè)量

電阻測(cè)量線性度

• 量程：1 mΩ–10 Ω
• 線性誤差＜0.1%，階躍響應(yīng)誤差≤0.001 Ω
• 不確定度：0.1–0.2%（k=2），穩(wěn)定性達(dá)±1 digit（3?位顯示）

方阻測(cè)量單配置：
理論值 Rss=4.532?Ω/□（基于四修正因子），全量程擴(kuò)展為4.532 mΩ/□ – 45.32 Ω/□雙配置：
理論值 RSd=2.605?Ω/□（比例常數(shù)法），全量程為2.605 mΩ/□–26.05 Ω/□實(shí)測(cè)偏差：單/雙配置均＜0.1%測(cè)厚儀的電阻與方阻測(cè)量功能在寬量程（1 mΩ–10 Ω）內(nèi)均實(shí)現(xiàn)≤0.1%的高精度，且重復(fù)性、穩(wěn)定性優(yōu)異。這一性能為厚度換算公式t=ρ/RSS提供了可靠基礎(chǔ)，確保薄膜厚度測(cè)量的準(zhǔn)確性。尤其通過(guò)雙配置設(shè)計(jì)有效抑制邊緣效應(yīng)，解決了小尺寸樣品測(cè)量難題，凸顯其在微納薄膜表征中的實(shí)用價(jià)值。

厚度測(cè)量準(zhǔn)確性驗(yàn)證

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測(cè)量原理：存儲(chǔ)多種材料電阻率（如Al、Cu等），用戶選擇材料后，探針接觸樣品表面，儀器通過(guò)t=ρ/RSS計(jì)算厚度并實(shí)時(shí)顯示。

五種樣品厚度對(duì)比

實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證：制備Pd、Al、Au、Nb、Cu薄膜樣品（沉積于75 mm硅片），測(cè)量中心10 mm范圍內(nèi)厚度，并與SEM/TEM觀測(cè)截面厚度對(duì)比。結(jié)果顯示，測(cè)量值與顯微觀測(cè)值在14 nm–1.6 μm范圍內(nèi)誤差小于0.1%，差異源于SEM/TEM的觀測(cè)誤差。本研究開(kāi)發(fā)了一種用于平板顯示（如觸摸屏和觸控面板）制造過(guò)程中薄膜厚度管理的薄膜厚度測(cè)量?jī)x。該儀器基于四探針?lè)?/strong>，通過(guò)已知薄膜材料的電阻率與測(cè)得的方阻值計(jì)算厚度，理論量程為1 nm–1 mm，使用Pd、Al、Au、Nb、Cu五種薄膜樣品（沉積于75 mm硅片）驗(yàn)證性能，實(shí)現(xiàn)薄膜樣品任意位置的快速精準(zhǔn)測(cè)量。

xfilm平板顯示在線方阻測(cè)試

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平板顯示在線方阻測(cè)試儀專(zhuān)為高精度智能制造設(shè)計(jì)，全面支持金屬薄膜（ITO）、硅基材料（LTPS）與氧化物半導(dǎo)體（IGZO）的在線檢測(cè)。

• 測(cè)試儀自檢功能
• 最小0.1mm測(cè)量分辨率
• 測(cè)試范圍：1m~10M Ω/sq
• 玻璃基板定位（搜索）功能

XFilm 平板顯示在線方阻測(cè)試儀與本研究開(kāi)發(fā)的四探針薄膜測(cè)厚儀形成完整的薄膜表征解決方案：前者通過(guò)在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)方阻數(shù)據(jù)，為產(chǎn)線提供動(dòng)態(tài)電阻分布反饋；后者則基于方阻與厚度的換算關(guān)系，實(shí)現(xiàn)薄膜厚度的精準(zhǔn)溯源。

原文參考：《DevelopmentofaThicknessMeterforConductiveThinFilmsUsingFour?PointProbeMethod》

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