據(jù)麥姆斯咨詢報道，***垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）外延和芯片制造商HLJ Technology（華立捷科技股份有限公司，以下簡稱“華立捷”）已訂購多臺MOCVD設備AIX 2800G4-TM。

該訂單將用于擴大華立捷的晶圓產(chǎn)能，同時將VCSEL的晶圓尺寸從4英寸提高至6英寸。Aixtron表示，其全自動行星式反應器系統(tǒng)將于2018年第四季度以8 x 6英寸的配置供貨。據(jù)Aixtron稱，AIX 2800G4-TM被視為包括VCSEL在內(nèi)的高端激光應用的行業(yè)標準，特別是在3D傳感領域，這是因為行星式反應器提供的工藝性能卓越，可精確控制外延層厚度和均勻性。因此，使用該系統(tǒng)的工廠能在滿足高產(chǎn)量的同時提供高質(zhì)量的產(chǎn)品。

華立捷總經(jīng)理Larry Lai說道：“為了滿足市場對外延晶圓和芯片級VCSEL的快速增長需求，我們決定將晶圓尺寸提高到6英寸。從2018年第四季度開始，新訂購的兩套Aixtron MOCVD系統(tǒng)將抵達華立捷。2019年第二季度，第一條完整的VCSEL量產(chǎn)線將投入使用。”“很高興我們的新合作伙伴華立捷選擇了AIX 2800G4-TM系統(tǒng)，這套設備可實現(xiàn)一流的VCSEL外延和芯片制造量產(chǎn)工藝。

期待我們與華立捷的合作，我們將全力協(xié)助華立捷的生產(chǎn)工藝與我們的設備完美匹配。”Aixtron首席執(zhí)行官Bernd Schulte說。