ASML將在2019年推出產(chǎn)能更高的新型號TwinscanNXE
2017年出貨11臺(tái)，2018年出貨18臺(tái)，ASML（阿斯麥）上周表示，計(jì)劃在2019年出貨30臺(tái)EUV***。
目前，ASML占有全球***市場70%的份額，遠(yuǎn)遠(yuǎn)領(lǐng)先尼康。更重要的是，僅荷蘭ASML有能力制造和出貨EUV***，尼康的最高技術(shù)水平還停留在ArF氟化氬沉浸式***。
與此同時(shí)，ASML將在2019年推出產(chǎn)能更高的新型號Twinscan NXE： 3400C，取代現(xiàn)款售價(jià)1.2億美元（約合8億）的Twinscan NXE： 3400B。3400C的每小時(shí)晶圓雕刻能力從155片提升至170片，換裝Cymer公司的340W光源。
資料顯示，截至去年7月，全球各公司、研究機(jī)構(gòu)等總共僅安裝了31臺(tái)EUV***。不過，遺憾的是，迄今，大規(guī)模使用EUV（極紫外光刻）技術(shù)的先進(jìn)工藝仍未量產(chǎn)，三星7nm LPP理論上進(jìn)度最快，但當(dāng)下僅限于在S3工廠小規(guī)模投產(chǎn)，年底位于韓國華城、投資6萬億韓元（約合362億元）的工廠竣工后，將是三星7nm EUV主力廠。
另外，臺(tái)積電的第二代7nm也將在非關(guān)鍵步驟上采用EUV技術(shù)，Intel、SK海力士也都對EUV***有強(qiáng)烈需求。
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