MEMS加速度計的概念??

加速度計是一種慣性傳感器，能夠測量物體的加速力。加速力就是當(dāng)物體在加速過程受到的力，就比如地球引力。

加速力可以是個常量比如mg也可以是變量。由于采用了微機電系統(tǒng)技術(shù)，其尺寸大大的縮小了可以應(yīng)用在生活、工業(yè)、軍工、航天等各種領(lǐng)域，因為MEMS加速度計具有體積小、重量輕、能耗低等優(yōu)點所以越來越多的應(yīng)用在各行各業(yè)。

MEMS加速度計是如何工作的？?

技術(shù)成熟的MEMS加速度計分為三種：壓電式、容感式、熱感式。?壓電式MEMS加速度計運用的是壓電效應(yīng)，在其內(nèi)部有一個剛體支撐的質(zhì)量塊，有運動的情況下質(zhì)量塊會產(chǎn)生壓力，剛體產(chǎn)生應(yīng)變，把加速度轉(zhuǎn)變成電信號輸出。

容感式MEMS加速度計內(nèi)部也存在一個質(zhì)量塊，從單個單元來看，它是標(biāo)準(zhǔn)的平板電容器。加速度的變化帶動活動質(zhì)量塊的移動從而改變平板電容兩極的間距和正對面積，通過測量電容變化量來計算加速度。

熱感式MEMS加速度計內(nèi)部沒有任何質(zhì)量塊，它的中央有一個加熱體，周邊是溫度傳感器，里面是密閉的氣腔，工作時在加熱體的作用下，氣體在內(nèi)部形成一個熱氣團，熱氣團的比重和周圍的冷氣是有差異的，通過慣性熱氣團的移動形成的熱場變化讓感應(yīng)器感應(yīng)到加速度值。

由于壓電式MEMS加速度計內(nèi)部有剛體支撐的存在，通常情況下，壓電式MEMS加速度計只能感應(yīng)到“動態(tài)”加速度，而不能感應(yīng)到“靜態(tài)”加速度，也就是我們所說的重力加速度。而容感式和熱感式既能感應(yīng)“動態(tài)”加速度，又能感應(yīng)“靜態(tài)”加速度。

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