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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>利用異丙醇和氮載氣開發(fā)的晶片干燥系統(tǒng)

利用異丙醇和氮載氣開發(fā)的晶片干燥系統(tǒng)

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2021-09-16 16:29:52520

異丙醇(IPA)的解吸特性和 IPA 蒸汽干燥晶片中的水分

引言 我們?nèi)A林科納研究了電化學沉積的銅薄膜在含高頻的脫氧和非脫氧商業(yè)清洗溶液中的腐蝕行為,進行了電位動力學極化實驗,以確定主動、主動-被動、被動和跨被動區(qū)域。腐蝕率是由塔菲爾斜坡計算出來的。利用
2021-12-31 09:02:587018

控制堿性蝕刻液的表面張力

引言 氫氧化鉀(KOH)和添加劑2-丙醇(異丙醇,IPA)通常用于單晶硅片的堿性織構(gòu)化,以減少其反射。氫氧化鉀和異丙醇在水中的蝕刻混合物需要明確定義氫氧化鉀和異丙醇的水平,以消除鋸損傷,并獲得完全
2022-01-04 17:13:201502

對于不同KOH和異丙醇濃度溶液中Si面蝕刻各向的研究

引言 氫氧化鉀溶液通常用于改善硅(100)表面光滑度和減少三維硅結(jié)構(gòu)的凸角底切。異丙醇降低了氫氧化鉀溶液的表面張力,改變了硅的蝕刻各向異性,顯著降低了(110)和(hh1)面的蝕刻速率,并在較小程度
2022-01-13 13:47:262752

無顆粒晶圓清洗干燥技術報告

的比率可以減少到標準比率的1/10,同時保持高的去除效率。通過降低NH,OH含量,將減少在NH < OH-H T3處理期間出現(xiàn)所謂霧度的晶片損傷。為了建立一個無顆粒的干燥系統(tǒng),開發(fā)了顆粒生成異丙醇蒸汽干燥系統(tǒng)。通過從干燥系統(tǒng)中消除所有可能的顆粒產(chǎn)生源,ultrsclesn晶圓干燥設備得以實現(xiàn)。
2022-02-11 14:51:13859

單片晶圓清洗干燥性能評估的結(jié)果與討論

競賽尚未完成關鍵干燥。在單晶片工具上進行更好的清潔,但是面對傳統(tǒng)的完善的 Marangoni 干燥干燥呢? 本文討論了干燥缺陷,以及HF最后一次清潔后的表面狀態(tài)穩(wěn)定性。最后,描述了單晶片干燥的預期好處。 結(jié)果與討論 縮小技術和增加縱
2022-02-28 14:58:45720

半導體工藝—晶片清洗工藝評估

摘要 本文介紹了半導體晶片加工中為顆粒去除(清洗)工藝評估而制備的受污染測試晶片老化的實驗研究。比較了兩種晶片制備技術:一種是傳統(tǒng)的濕法技術,其中裸露的硅晶片浸泡在充滿顆粒的溶液中,然后干燥;另一種
2022-03-04 15:03:503354

IPA蒸汽干燥晶片中的水分實驗研究

異丙醇(IPA)的解吸和晶片中的水分。結(jié)果表明,在這些實驗條件下,定性和定量的微量雜質(zhì)小至單分子吸附層的1/10。結(jié)果證實,濕化學過程和干燥方法對晶片表面條件的影響。
2022-03-10 16:17:531451

HCL/異丙醇濕法處理制備潔凈的InAs表面

對于基礎研究和技術應用,至關重要的是,開發(fā)有效的程序來準備清潔的半導體表面,顯示各種可能的重建,并了解這些程序的化學性質(zhì)。對于砷化鎵001使用砷脫殼或HCl/異丙醇(HCl-iPA)處理,有令人滿意
2022-03-14 10:52:05904

半導體制造行業(yè)晶圓干燥工藝的應用研究

利用異丙醇(IPA)和開發(fā)了一種創(chuàng)新的晶片干燥系統(tǒng),取代了傳統(tǒng)的非環(huán)保晶片干燥系統(tǒng)。研究了IPA濃度是運行該系統(tǒng)的最重要因素,為了防止IPA和熱量蒸發(fā)造成的經(jīng)濟損失,將干燥器上部封閉,以期開發(fā)出IPA和熱能不流失的干燥工藝。
2022-03-23 15:14:46921

硅片氫氟酸處理后的漂洗干燥方法

本文對晶片采用HF溶液洗凈的晶片氫氟酸處理后的護發(fā)素及干燥方法,使用異丙基去除上述晶片表面殘存的HF的步驟,關于晶片氫氟酸處理后的護發(fā)素和干燥方法,其特點是在對上述晶片施加82-84℃溫度的同時通過
2022-03-23 17:06:052304

一種提高晶片干燥效率的馬蘭戈尼型干燥系統(tǒng)

晶片干洗系統(tǒng),更詳細地說,是一種能夠提高對晶片干燥效率的馬蘭戈尼型(MARANGONI)TYPE)干洗系統(tǒng)。
2022-04-08 14:51:041388

利用馬蘭戈尼效應的晶片干洗系統(tǒng)

本發(fā)明涉及一種晶片干洗系統(tǒng),更詳細地說,涉及一種能夠提高對晶片干燥效率的馬蘭戈尼型(MARANGONI)TYPE)干洗系統(tǒng)。馬蘭戈尼型干燥系統(tǒng),可以提高晶片干燥效率。
2022-04-11 15:13:361345

利用蝕刻法消除硅晶片表面金屬雜質(zhì)?

為了將硅晶片中設備激活區(qū)的金屬雜質(zhì)分析為ICP-MS或GE\AS,利用HF和HNQ混酸對硅晶片進行不同厚度的重復蝕刻,在晶片內(nèi)表面附近,研究了定量分析特定區(qū)域中消除金屬雜質(zhì)的方法。
2022-04-24 14:59:231124

利用超臨界二氧化碳對MEMS進行刻蝕、沖洗和干燥研究

引言 利用現(xiàn)有的超臨界二氧化碳進行蝕刻和干燥的工藝由兩階段工藝組成:在高壓干燥器外部利用溶劑對晶片進行蝕刻,然后移動到高壓干燥器,利用超臨界二氧化碳進行清洗和干燥利用該工藝在本研究中進行了試驗
2022-06-02 16:55:492596

干燥機軸磨損的修復方法

干燥機是指一種利用熱能降低物料水分的機械設備,用于對物體進行干燥操作。干燥機通過加熱使物料中的濕分汽化逸出,以獲得規(guī)定濕含量的固體物料。干燥的目的是為了物料使用或進一步加工的需要。
2022-07-01 10:45:501

變頻器在煤泥干燥系統(tǒng)的應用

利用,需要進行脫水干燥。干燥系統(tǒng)的主要設備包括干燥機、燃煤爐、鼓風機、引風機、除塵器、刮板機、給料輸送皮帶、產(chǎn)品輸送皮帶、帶式出料機、卸料器等。這些設備中干燥機、引風機、鼓風機、刮板機采用變頻器驅(qū)動方式
2022-11-04 10:22:14688

干燥機軸頭磨損的修復

干燥機是指一種利用熱能降低物料水分的機械設備,用于對物體進行干燥操作。干燥機通過加熱使物料中的濕分汽化逸出,以獲得規(guī)定濕含量的固體物料。干燥的目的是為了物料使用或進一步加工的需要。
2023-05-16 17:27:280

華林科納的半導體晶圓干燥的研究

通過測量晶片上的殘留物得知,晶片上已經(jīng)分配并干燥了含有金屬鹽作為示蹤元素的溶液。假設有兩種不同的沉積機制:吸附和蒸發(fā)沉積。
2023-06-08 10:57:43750

電子干燥柜的工作原理和種類

的使用步驟,同時要定期維護保養(yǎng),為物品的存儲提供安全可靠穩(wěn)定的環(huán)境,達到最好的使用效果。電子干燥柜的工作原理:1、干燥干燥柜:利用干燥劑作為除濕劑,適合存儲集成電路、
2023-07-04 13:49:512512

溫度傳感器—SD封裝安裝方法

安裝區(qū)域應準備好并用丙酮等溶劑清潔,然后用異丙醇沖洗。 在安裝傳感器之前留出時間讓溶劑蒸發(fā)。
2023-07-10 15:31:031427

摻雜石墨烯復合凝膠,用于靈敏的壓力傳感器

傳感新品 【重慶交大:摻雜石墨烯復合凝膠,用于靈敏的壓力傳感器】 在競爭激烈的智能電子時代,對具有可靠機械性能和高響應靈敏度的可壓縮多功能碳凝膠的需求日益增長。本文,研究提出了一種新型摻雜
2023-08-10 13:19:211515

變頻器在煤泥干燥系統(tǒng)的應用

利用,需要進行脫水干燥。干燥系統(tǒng)的主要設備包括干燥機、燃煤爐、鼓風機、引風機、除塵器、刮板機、給料輸送皮帶、產(chǎn)品輸送皮帶、帶式出料機、卸料器等。這些設備中干燥機、引風機、鼓風機、刮板機采用變頻器驅(qū)動方式
2023-08-25 10:41:54921

干燥干燥效果不佳的解決方法

干燥氣流中,從而導致干燥劑過早吸濕和露點過高。絕緣損壞的軟管和干燥筒倉也會影響干燥溫度。2、干燥路在干燥空氣通道中,應在筒倉進口處測量干燥溫度,以補償軟管中干燥器的熱損失。料倉入口的低溫可能是由于
2024-11-01 11:16:05951

中國石化與晶瑞電材合作推動集成電路用異丙醇國產(chǎn)化

異丙醇作為濕電子化學品的主要有機溶劑,被廣泛用于集成電路制程中的清洗和干燥步驟,是高端芯片制造的關鍵原料。值得注意的是,由于我國超凈高純異丙醇仍需大量進口,這成為產(chǎn)業(yè)鏈中的一環(huán)短板。
2023-12-28 14:07:082217

一文帶你了解紅墨水實驗!

面積與界面來判斷裂紋的大小與深淺、 以及裂紋的界面,從而獲得焊點質(zhì)量信息。 二、紅墨水實驗流程 01樣品切割 利用線切割機將樣品裁成合適的試樣。 02清洗 樣品浸入裝有異丙醇或甲苯的容器中,放在超聲清洗機中清洗5min,取出后利用
2024-02-26 11:24:213895

利用高光譜技術估測小麥葉片量和土壤供水平

高光譜遙感技術以實時、快速和非破壞性等優(yōu)勢成為當前精準農(nóng)業(yè)技術之一,在作物葉片含量和土壤供水平的監(jiān)測方面表現(xiàn)出良好的應用前景。
2024-05-24 11:54:03975

變送器有哪些功能

在當今環(huán)境保護和水資源管理的嚴峻形勢下,對水體中氨含量的準確監(jiān)測顯得尤為重要。氨作為水體污染的主要指標之一,不僅影響水質(zhì)安全,還關系到水生生態(tài)系統(tǒng)的健康狀況。為此,一款高效、準確且環(huán)保的氨測量設備——氨變送器應運而生,以其獨特的技術優(yōu)勢成為了水質(zhì)監(jiān)測領域的重要工具。
2024-10-26 13:48:31939

氧氣傳感器在干燥設備中的氧氣調(diào)控應用

如何利用氧氣傳感器實現(xiàn)干燥設備中氧氣濃度的有效控制,并推薦幾款高性能的氧氣傳感器。 干燥設備中的氧氣調(diào)控需求 干燥設備通常配備有火源(如燃燒器和熱源)和燃料(如產(chǎn)品、天然、丙烷等),這使得氧氣濃度的控制顯得
2025-02-11 09:12:30728

十四五”非常規(guī)開發(fā)提速!煤層企業(yè)為何必須上馬能耗監(jiān)測系統(tǒng)?

設計、網(wǎng)絡架構(gòu)設計到功能設計與應用、應用效果等方面介紹了某煤層企業(yè)建設能耗在線監(jiān)測系統(tǒng)全過程,對其他能源公司建設能耗在線監(jiān)測系統(tǒng)有重要借鑒意義。 關鍵詞:節(jié)能減排;煤層企業(yè);能耗在線監(jiān)測系統(tǒng);能源管理 隨著節(jié)能工作向系統(tǒng)化、精細
2025-04-09 15:39:35641

ipa干燥wafer原理

IPA干燥晶圓(Wafer)的原理主要基于異丙醇(IPA)的物理化學特性,通過蒸汽冷凝、混合置換和表面張力作用實現(xiàn)晶圓表面的高效脫水。以下是其核心原理和過程的分步解釋: 1. IPA蒸汽與水分的混合
2025-06-11 10:38:401820

清洗芯片用什么溶液

清洗芯片時使用的溶液種類繁多,具體選擇取決于污染物類型、基材特性和工藝要求。以下是常用的幾類清洗液及其應用場景:有機溶劑類典型代表:醇類(如異丙醇)、酮類(丙酮)、醚類等揮發(fā)性液體。作用機制:利用
2025-09-01 11:21:591000

馬蘭戈尼干燥原理如何影響晶圓制造

馬蘭戈尼干燥原理通過獨特的流體力學機制顯著提升了晶圓制造過程中的干燥效率與質(zhì)量,但其應用也需精準調(diào)控以避免潛在缺陷。以下是該技術對晶圓制造的具體影響分析:正面影響減少水漬污染與殘留定向回流機制:利用
2025-10-15 14:11:06423

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