表面粗糙度跟形狀誤差、波紋度等參數(shù)一樣，是表面微觀幾何特征，它們共同構(gòu)成了物體的表面原始形貌特征。在納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中，可以說只有白光干涉儀才能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。
中圖儀器推出的SuperView W1白光干涉儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。
產(chǎn)品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導出功能。
目前，SuperView W1白光干涉儀主要用來測量3C玻璃、硅晶片、藍寶石襯底等表面粗糙度（微納米、納米級別）、MEMS微機電系統(tǒng)臺階高、金屬件表面磨損和摩擦情況以及超光滑加工表面粗糙度、平整度、劃痕等。
SuperView W1白光干涉儀不僅可用于硅晶片、光學透鏡、窗口片、藍寶石表鏡、手機屏等表面粗糙度檢測儀，還可對LED襯底、紅外觀察窗口、超精密工件、微機電系統(tǒng)等進行超精密檢測，在民用領(lǐng)域也有著廣泛應用。
未來，中圖儀器仍將繼續(xù)專注于精密計量儀器和精密檢測設(shè)備的技術(shù)發(fā)展，自強不息、知難而上，用現(xiàn)代化的技術(shù)手段大幅提高測量效率和精度，圖中國儀器技術(shù)之強大，鑄中國產(chǎn)業(yè)提升之利器！
