雙頻干涉儀在單頻干涉儀基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀，克服了單頻激光干涉儀的弱點(diǎn)，即使是光強(qiáng)大幅度衰減的情況下，仍可得到合適的電信號(hào)。SJ6000雙頻激光干涉儀除了環(huán)境適應(yīng)能力好，還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測(cè)量振動(dòng)幅度、平面度、線速度、角速度等。
系統(tǒng)組件
1、激光主機(jī)
準(zhǔn)確——激光頻率穩(wěn)定度高，可溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。
SJ6800激光主機(jī)由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。
支持USB通信接口，可與計(jì)算機(jī)高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。
配備的SCSI接口，可提供外部觸發(fā)信號(hào)輸入和正交信號(hào)輸出，以及其它擴(kuò)展應(yīng)用。
2、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元
可靠——激光干涉儀能對(duì)空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進(jìn)行自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償。
激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為載體，測(cè)量過(guò)程中環(huán)境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會(huì)影響激光波長(zhǎng)。
EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可實(shí)時(shí)檢測(cè)環(huán)境條件的變化，同事進(jìn)行激光波長(zhǎng)補(bǔ)償。
EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可連接三個(gè)材料溫度探頭，監(jiān)測(cè)被測(cè)對(duì)象其材料的溫度變化，同事進(jìn)行材料的熱膨脹補(bǔ)償。
EC20環(huán)境補(bǔ)償單元采用低功耗設(shè)計(jì)，無(wú)需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。
為了方便現(xiàn)場(chǎng)使用，EC20環(huán)境補(bǔ)償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標(biāo)準(zhǔn)線長(zhǎng)5m，亦可定制線長(zhǎng)。
3、三腳架及便攜箱
其他組件
1、光學(xué)鏡組
（1）線性鏡組
應(yīng)用于機(jī)器軸的定位精度測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等；也可用于機(jī)器軸的動(dòng)態(tài)測(cè)量分析。
（2）角度鏡組
應(yīng)用于機(jī)器軸的角擺測(cè)量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量；亦可以用于轉(zhuǎn)軸的角速度和角加速度的動(dòng)態(tài)測(cè)量分析。
（3）直線度鏡組
應(yīng)用于導(dǎo)軌或機(jī)器軸的直線度測(cè)量，包含水平方向和垂直方向的直線度。
（4）平面度鏡組
按照國(guó)標(biāo)方式進(jìn)行平面度的測(cè)量和分析，其平面度羈絆長(zhǎng)度可調(diào)。
（5）線性附件-輕型線性鏡組
輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡重量?jī)H為8g，可以直接在被測(cè)物體上，有效降低線性反射鏡過(guò)重帶來(lái)的影響。主要應(yīng)用于先行反射鏡的重量可能影響到被測(cè)軸系的機(jī)械性能或精度；線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場(chǎng)合；負(fù)載敏感的動(dòng)態(tài)測(cè)量。
（6）大角錐反射鏡
應(yīng)用于機(jī)器Z軸方向的直線度測(cè)量或垂直度測(cè)量，起反射光束的作用。
（7）垂直度鏡組
應(yīng)用于兩條相互垂直的機(jī)器軸的垂直度測(cè)量場(chǎng)合。
2、其他附件
（1）線性附件-可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡
能把水平射出的激光俯仰偏轉(zhuǎn)25°以上，結(jié)合線性鏡組可用于傾斜機(jī)床、三坐標(biāo)對(duì)角線的測(cè)量。
（2）磁性表座
科隙蛛在鋼鐵表面，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)手柄，來(lái)轉(zhuǎn)動(dòng)里面的磁鐵，特別適用于機(jī)床和導(dǎo)軌上面的安裝。配合安裝柱使用，可將安裝柱鎖緊在磁性表座上。
（3）直線度基板
用于機(jī)器Z軸的垂直度測(cè)量，需配合磕掉轉(zhuǎn)向鏡和大角錐反射鏡使用。
（4）輔助安裝塊
用于鏡組不能直接安裝的場(chǎng)合。配合磁性表座使用；也可以直接結(jié)合安裝柱使用。
（5）垂直度安裝附件
在測(cè)量機(jī)器Z軸垂直度時(shí)，用于安裝90°轉(zhuǎn)向鏡。
（6）夾緊孔座
用于鏡組的安裝和夾持，可緊固各鏡組在安裝柱上。
（7）90°轉(zhuǎn)向鏡
應(yīng)用于機(jī)器Z軸方向的直線度測(cè)量或垂直度測(cè)量，起偏轉(zhuǎn)光束的作用。
（8）安裝柱
主要用于夾緊孔座的安裝定位，可鎖在磁性表座或輔助安裝塊上。安裝柱可以相互對(duì)接延長(zhǎng)，以便增加夾緊孔座的可調(diào)范圍。
激光干涉儀采用的光源是雙頻氦氖激光器。其精度高，抗干擾能力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此降低了對(duì)環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車(chē)間條件下測(cè)量大距離用。
