--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
激光干涉儀檢測常用于數(shù)控機(jī)床精度檢測和補(bǔ)償。中圖儀器SJ6000激光干涉儀件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表,該表涵蓋了各個測量點的補(bǔ)償值,運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補(bǔ)償值來消除該運動軸的位置誤差,精確的補(bǔ)償,可以有效地降低運動軸的位置誤差。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號:SJ6000
產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀
穩(wěn)頻方式:雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測量距離:(0-80)m(無需遠(yuǎn)距離線性附件)
角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m
測量分辨力:1nm
動態(tài)采集頻率:50KHz
預(yù)熱時間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
主要特點:應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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SJ6000激光干涉儀檢測集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償;采用高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/p>

SJ6000激光干涉儀檢測結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
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