中圖儀器國內自研高分辨率掃描電子顯微鏡采用的鎢燈絲電子槍，發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。
此外，中圖儀器臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術，展現出色的性能。
產品功能
1.高分辨率，滿足用戶觀測需求；
2.快速抽放氣，縮短等待時間；
3.高易用性
可快速成像，一鍵成片；
4.多種成像參數
滿足專業(yè)用戶的調節(jié)需求；
5.高抗振防磁性能
強抗干擾能力；
6.可選配低真空模式，保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度，進而對不同類型的樣品進行觀測。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
8.多探測器
中圖儀器國內自研高分辨率掃描電子顯微鏡可實現四分窗同時掃描成像。
機型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專為振動環(huán)境設計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩(wěn)定。
應用場景
材料科學：納米材料（如60nm銀線）、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結構分析。
新能源：太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫(yī)療：微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。
工業(yè)質檢：錫球顆粒焊接質量、精密器件表面粗糙度檢測。
應用案例
中圖儀器國內自研高分辨率掃描電子顯微鏡樣品一鍵裝入，自動導航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。
金屬材料分析
花粉微觀形態(tài)
部分技術指標
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數 | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配：顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X，Y，T |
手動軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動旋轉、電子束旋轉） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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