--- 產品參數(shù) ---
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--- 產品詳情 ---
激光干涉儀系統(tǒng)具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量??勺鳛殚L度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數(shù)控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領域。
在SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)動態(tài)測量軟件配合下,還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

部分技術指標
主機
穩(wěn)頻精度:0.05ppm
動態(tài)采集頻率:50 kHz
預熱時間:≤ 6分鐘
工作溫度范圍:(0~40)℃
存儲溫度范圍:(-20~70)℃
環(huán)境濕度:(0~95)%RH
環(huán)境補償單元
空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量距離:(0~80)m (無需遠距離線性附件)
角度測量范圍:測量范圍:±10°
平面度測量范圍:±1.5mm

功能特點
精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
功能廣
(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準;
(4)可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據(jù);
(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等;
(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。
產品配置
SJ6000激光干涉儀具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成??蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)自動采集數(shù)據(jù),避免人為讀數(shù)誤差,精度高;使用高性能氦氖激光器,結合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。
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