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針對硅梁論述了微機(jī)械電容式加速度傳感器的工作原理，應(yīng)用有限元分析方法對三種不
同的硅梁結(jié)構(gòu)對加速度計(jì)進(jìn)行結(jié)構(gòu)建模，并模擬分析了三種不同的梁的加速度計(jì)結(jié)構(gòu)的第一和第二模態(tài)，$% 加速度下的撓度，以及存在預(yù)應(yīng)力情況下結(jié)構(gòu)的第一、第二模態(tài)響應(yīng)頻率，得到了最優(yōu)的雙梁結(jié)構(gòu)，并在試驗(yàn)中得到驗(yàn)證，最終研制出了高水平的電容式加速度傳感器。
關(guān)鍵詞：加速度傳感器；有限元；計(jì)算機(jī)仿真；微機(jī)械
同的硅梁結(jié)構(gòu)對加速度計(jì)進(jìn)行結(jié)構(gòu)建模，并模擬分析了三種不同的梁的加速度計(jì)結(jié)構(gòu)的第一和第二模態(tài)，$% 加速度下的撓度，以及存在預(yù)應(yīng)力情況下結(jié)構(gòu)的第一、第二模態(tài)響應(yīng)頻率，得到了最優(yōu)的雙梁結(jié)構(gòu)，并在試驗(yàn)中得到驗(yàn)證，最終研制出了高水平的電容式加速度傳感器。
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