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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>新型三軸電容式加速度計(jì)的設(shè)計(jì)分析

      新型三軸電容式加速度計(jì)的設(shè)計(jì)分析

      2012-02-29 | pdf | 628 KB | 次下載 | 1積分

      資料介紹

      設(shè)計(jì)了一種新型結(jié)構(gòu)的體硅工藝梳齒電容式加速度計(jì),該設(shè)計(jì)采用2個檢測質(zhì)量塊,分別檢測水平方向和垂直方向的加速度。x,y水平方向不對稱梳齒的設(shè)計(jì),消除了z軸對水平軸向加速度的干擾,同時z軸支撐梁的設(shè)計(jì),解決了水平軸向?qū)軸的干擾。
      加速度計(jì)
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