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      微型激光干涉測振儀研究應(yīng)用

      2017-09-08 | rar | 0.14 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      　　激光干涉測振儀SP-S系列，是對物體位置或表面位置的瞬時變化進行精密、非接觸測量的理想儀器，允許測量機械振動的頻率范圍為0-500kHz。該儀器是在SP系列微型平面鏡干涉儀的成熟概念基礎(chǔ)上設(shè)計出來的。SP-S系列干涉儀的傳感測頭裝備有輔助光學(xué)元件，可以對任意粗糙度的表面進行測量。

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