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因為工藝需求，需要將晶圓開片解成條狀用于工藝驗證測試等，如下為百度類似的控制系統(tǒng)框圖，來自于百度搜索的圖片，原理為在wafer上快速劃線在背面施加壓力開裂wafer。
主要共分為六個裝置
1. 劃刀上下控制設備
2. 施力滾輪控制設備
3. 控制劃刀進行切割的控制設備
4. X軸電動平移臺
5. Y軸電動平移臺
6. Z軸旋轉平移臺
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