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標(biāo)簽 > 白光干涉儀

白光干涉儀

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干涉儀是一種對光在兩個(gè)不同表面反射后形成的干涉條紋進(jìn)行分析的儀器。其基本原理就是通過不同光學(xué)元件形成參考光路和檢測光路。

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白光干涉儀簡介

  干涉儀是一種對光在兩個(gè)不同表面反射后形成的干涉條紋進(jìn)行分析的儀器。其基本原理就是通過不同光學(xué)元件形成參考光路和檢測光路。

  光的干涉是指從目標(biāo)對象表面到某點(diǎn)的光距(光路)產(chǎn)生偏差時(shí),所發(fā)生的現(xiàn)象。利用這種現(xiàn)象測量目標(biāo)對象表面凹凸的就是光學(xué)干涉儀。右圖是干涉應(yīng)變計(jì)的結(jié)構(gòu)圖。從光源(半導(dǎo)體激光等)發(fā)出的光有一些透過分光鏡到達(dá)參考面上,其余被反射到樣本表面。透過的光經(jīng)參考面反射通過光接收元件即CCD元件成像。其余被反射的光經(jīng)目標(biāo)對象表面反射透過分光鏡,同樣通過光接收元件即CCD元件成像。

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白光干涉儀知識(shí)

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白光干涉儀資訊

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