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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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使用 MEMS 射頻開關(guān)解決高級無線應(yīng)用的設(shè)計和集成問題
在千兆赫以上頻段的射頻設(shè)計,以及建立模型和 S 參數(shù)用于仿真時,合適的評估板是必要的設(shè)計工具,因為不存在完美的模型,也不可能抓住實際設(shè)計中所有瑣碎細節(jié)
國際首臺機載激光三維強度關(guān)聯(lián)遙感試驗樣機研制成功
“十三五”期間,該技術(shù)有望在新體制車載激光三維成像雷達自動駕駛等相關(guān)領(lǐng)域進行成果轉(zhuǎn)化。
深入了解工業(yè)應(yīng)用的高性能RF MEMS開關(guān)
當柵極和源極之間的偏置電壓超過開關(guān)閾值電壓時,梁上的觸點便接觸漏極,源極和漏極之間的電路閉合,開關(guān)接通。移除偏置電壓后,即柵極上為0V時,懸臂梁像彈簧一...
反射式MEMS VOA在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用
可變光衰減器(VOA)是光纖通信中一種重要的光無源器件,本內(nèi)容詳細介紹了MEMS VOA在光通信系統(tǒng)中的應(yīng)用。
ADIS16355芯片MEMS陀螺儀數(shù)據(jù)采集硬件設(shè)計
DIS16355慣性測量裝置將三軸角速度感知與三軸加速度感知相結(jié)合,提供六自由度運動感知、嵌入式校準與傳感器處理以及傳感器-傳感器交叉補償,并大大提高信...
MEMS氣壓傳感器的工作原理及在物聯(lián)網(wǎng)中的應(yīng)用
壓力傳感器有多種不同的應(yīng)用,其中最常見的應(yīng)用是氣象監(jiān)測。壓力傳感器現(xiàn)在已非常普遍。它現(xiàn)在可能就存在你的口袋里!是的,在你的手機里就有一個。你的手機使用壓...
2018-11-28 標簽:mems物聯(lián)網(wǎng)氣壓傳感器 6.8k 0
SiTime推出新型振蕩器 進一步向無人駕駛汽車的領(lǐng)域進軍
MEMS振蕩器領(lǐng)域的行業(yè)龍頭企業(yè)SiTime Corporation宣布面向高級駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)中的汽車網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用方向推出新型振蕩器。這些解決方案...
不同類型時鐘產(chǎn)品的特性及選擇時應(yīng)該注意哪些
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/程文智)不論我們設(shè)計的電子產(chǎn)品是應(yīng)用在云計算、無線LTE、數(shù)據(jù)中心,還是物聯(lián)網(wǎng)、汽車、醫(yī)療保健,或者是航空航天等領(lǐng)域,系統(tǒng)內(nèi)必然需...
MEMS諧振器的發(fā)展史 Si50x CMEMS振蕩器概述
20世紀中期以來,頻率控制的市場就是由石英晶體諧振器和石英振蕩器所主導的。甚至到了今天,幾乎所有的電子設(shè)備在某方面仍是依賴機械石英晶體來產(chǎn)生多種可能運行...
日本開發(fā)一種監(jiān)測系統(tǒng) 通過MEMS傳感器和無線技術(shù)實現(xiàn)建筑物結(jié)構(gòu)監(jiān)測
該建筑物結(jié)構(gòu)監(jiān)測系統(tǒng)通過新開發(fā)的高精度MEMS傳感器,并結(jié)合920MHz頻段的無線技術(shù),可以實現(xiàn)長期的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性監(jiān)測。
根本問題是角速率反饋環(huán)路中的噪聲可能直接影響運動控制系統(tǒng)的關(guān)鍵性能標準,因此,在設(shè)計新系統(tǒng)的過程中,應(yīng)當盡早予以考慮。相比于僅知道需要低噪聲的人,能夠量...
2018-06-12 標簽:mems陀螺儀數(shù)字濾波器 6.7k 0
德州儀器TMP006:世界首款單片數(shù)字IR MEMS溫度傳感器
TMP006 根據(jù) TI 在 MEMS 技術(shù)方面的專業(yè)經(jīng)驗開發(fā)獲得,是首款新型超小尺寸、低功耗且低成本的被動紅外溫度傳感器 與現(xiàn)有解決方案相比,其功耗要...
基于MEMS技術(shù)的風速和風向測量傳感器設(shè)計
硅薄膜式測風傳感器的設(shè)計示意圖如圖1所示。薄膜式風速風向傳感器主要是利用風吹薄膜對薄膜產(chǎn)生風壓,風壓導致薄膜形變,薄膜上的應(yīng)變電阻就會感應(yīng)到薄膜的形變。...
基于MEMS技術(shù)的微型硅基聲吶器件提供了毫米級精度的距離傳感功能
超低功耗的片上系統(tǒng)(SoC)控制整個ToF處理過程:發(fā)送超聲波脈沖,將接收的超聲回波數(shù)字化,檢測ToF到最近目標并通過I2C返回16位ToF信號。SoC...
MEMS是一種全新的必須同時考慮多種物理場混合作用的研發(fā)領(lǐng)域,相對于傳統(tǒng)的機械,它們的尺寸更小,最大的不超過一個厘米,甚至僅僅為幾個微米,其厚度就更加微...
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