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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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受益于LED技術(shù)的廣泛應(yīng)用,汽車照明市場將以超預(yù)期的增長速度在2022年增長至359億美元
LED技術(shù)過去僅在高端汽車使用,并且需要和鹵素?zé)?、氙氣燈等傳統(tǒng)光源競爭。LED改進(jìn)的性能、更低的功耗以及靈活的設(shè)計(jì),是其贏得競爭的主要優(yōu)勢(shì)。另外,降低的...
采用標(biāo)準(zhǔn)的CMOS工藝和掩膜技術(shù)制造而成的NEMS傳感器
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,NANUSENS的NEMS傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的CMOS工藝和掩膜技術(shù)制造而成。在NANUSENS的工藝中,使用HF蒸汽(vHF)通過鈍化層...
知微傳感獲得盈峰資本千萬級(jí)天使輪投資,用于設(shè)備投入、產(chǎn)品研發(fā)和市場投放
近日,獵云網(wǎng)獨(dú)家獲悉,以3D視覺硬件產(chǎn)品為核心的西安知微傳感技術(shù)有限公司完成千萬級(jí)天使輪融資,領(lǐng)投方為盈峰資本,此次融資主要用于設(shè)備投入、產(chǎn)品研發(fā)和市場...
基于MEMS加速度計(jì)的振動(dòng)監(jiān)控解決方案
MEMS加速度計(jì)終于達(dá)到了能夠測量廣泛機(jī)器平臺(tái)振動(dòng)的階段。其最近的能力進(jìn)步,加上MEMS加速度計(jì)已有的相對(duì)于傳統(tǒng)振動(dòng)傳感器的諸多優(yōu)勢(shì)(尺寸、重量、成本、...
基于MEMS技術(shù)的加速度傳感器分析與應(yīng)用
MEMS技術(shù)正在逐步走向民用和消費(fèi)類市場,我們正處于“MEMS狂潮”的開端,ST將以其完善的生產(chǎn)基礎(chǔ)、高效的執(zhí)行能力、對(duì)消費(fèi)電子市場的深入了解,以及先進(jìn)...
微全分析系統(tǒng)的概念是在1990年首欠由瑞士Ciba2Geigy公司的Manz與Widmer提出的,當(dāng)時(shí)主要強(qiáng)調(diào)了分析系統(tǒng)的微與全,及微管道網(wǎng)絡(luò)的MEMS...
線性度有時(shí)被視為靈敏度的子集。把它單獨(dú)提出是有原因的。如果舉一個(gè)機(jī)器人性能與靈敏度和線性度的關(guān)系的示例,可能更有說服力。這一點(diǎn)務(wù)必請(qǐng)注意,因?yàn)槿绻徺I線...
將陀螺儀繞X軸旋轉(zhuǎn)時(shí),只有wx有讀數(shù);將陀螺儀繞Y軸旋轉(zhuǎn)時(shí),只有wy有讀數(shù);將陀螺儀繞Z軸旋轉(zhuǎn)時(shí),只有wz有讀數(shù);
天津大學(xué)校友朱維麟1957年畢業(yè)于天津大學(xué)精密工程系,并留校任教多年,1991年獲得美國凱斯大學(xué)機(jī)電工程系碩士學(xué)位。在美國從事25年的電路設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn),在模...
因?yàn)镾T選用了音叉方法設(shè)計(jì)陀螺儀,其差分特性使系統(tǒng)本身對(duì)作用在傳感器上的無用線性加速度和雜亂振動(dòng)的敏感度低于市場上現(xiàn)有的其它類型陀螺儀。當(dāng)這些無用的信號(hào)...
論SMI SM95D/G在充油芯體領(lǐng)域應(yīng)用
SM95系列是一款硅型微壓電阻式壓力傳感芯片,其滿量程為0.15 到1.5PSI(1到 10 kPa),特別適用于OEM和高容量應(yīng)用,以DIE形式提供,...
MEMS的含義、構(gòu)成、優(yōu)勢(shì)、市場規(guī)模預(yù)測、產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)企業(yè)簡介
MEMS,(Micro-Electro Mechanical Systems),也稱為微電子機(jī)械系統(tǒng)、微電機(jī)系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技...
應(yīng)變式傳感器的相關(guān)特性和應(yīng)用說明
傳感器技術(shù)發(fā)展很快,生活各方面對(duì)傳感器技術(shù)均有所應(yīng)用。在往期文章中,小編對(duì)傳感器技術(shù)有所介紹,如視覺傳感器技術(shù)、圖像傳感器技術(shù)、多傳感器融合技術(shù)等。為進(jìn)...
淺析傳感器步進(jìn)響應(yīng)與帶寬之間關(guān)系
對(duì)于采用MEMS加速度計(jì)和陀螺儀的工業(yè)系統(tǒng)而言,優(yōu)化帶寬可能是關(guān)鍵考慮因素。
傲??萍悸鋺粲谏虾?,公司依托上海微技術(shù)工研院8英寸MEMS工藝線及測試分析平臺(tái),整合了國內(nèi)外相關(guān)產(chǎn)業(yè)資源,通過自主工藝生產(chǎn)制造和最終產(chǎn)品性能、質(zhì)量測試,...
MPU6050是6軸運(yùn)動(dòng)處理傳感器,它集成了3軸MEMS陀螺儀,3軸MEMS加速度計(jì),以及一個(gè)可擴(kuò)展的數(shù)字運(yùn)動(dòng)處理器DMP。使用它就是為了得到待測物體...
如何設(shè)計(jì)壓電MEMS超聲波換能器產(chǎn)品
本文介紹了壓電MEMS超聲波換能器產(chǎn)品的設(shè)計(jì)過程,包括傳感器的仿真、設(shè)計(jì)以及它與整個(gè)系統(tǒng)的集成。
選擇陀螺儀是基于最大誤差源最小化的有意義的——在大多數(shù)應(yīng)用中,這將是振動(dòng)靈敏度。其他參數(shù)可以通過校準(zhǔn)或平均多個(gè)傳感器輕松增強(qiáng)。偏置穩(wěn)定性是誤差預(yù)算中較小...
常見MEMS流體陀螺的原理、優(yōu)缺點(diǎn)和應(yīng)用前景
流體類陀螺儀與傳統(tǒng)陀螺儀相比,由于沒有懸掛質(zhì)量塊,結(jié)構(gòu)大大簡化,制作難度降低,更重要的是,省去了復(fù)雜的活動(dòng)部件,其抗沖擊、抗振動(dòng)能力大大提高,特別適合在...
2019-09-10 標(biāo)簽:溫度傳感器mems自動(dòng)駕駛 7.6k 0
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