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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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干法刻蝕解決RIE中無(wú)法得到高深寬比結(jié)構(gòu)或陡直壁問(wèn)題
在 MEMS 制造工藝中,常用的干法刻蝕包括反應(yīng)離子刻蝕 (Reactive lon Etching, RIE)、深反應(yīng)離子刻蝕(Deep Reacti...
MEMS技術(shù)淺談及應(yīng)用設(shè)計(jì)方案集錦
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術(shù),或在日本被稱為微機(jī)械,是一類器件,其特點(diǎn)是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征長(zhǎng)度從1毫米到1微...
MEMS傳感器在工業(yè)自動(dòng)化中的設(shè)計(jì)
工業(yè)4.0和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)(IIoT)等計(jì)劃正在幫助制造企業(yè)提高生產(chǎn)流程的效率?;谠频姆治鰬?yīng)用程序負(fù)責(zé)整理和提供運(yùn)行生產(chǎn)或制造操作的許多不同方面的上下文。...
通過(guò)物理氣相沉積法生長(zhǎng)出高質(zhì)量、大尺寸的SiC單晶材料
聽(tīng)多了虛擬貨幣、虛擬現(xiàn)實(shí)、虛擬主機(jī)……有沒(méi)有聽(tīng)過(guò)虛擬生長(zhǎng)?
靜電力是另一種可能引起粘附的作用力。在靜電驅(qū)動(dòng)或摩擦的作用下,殘余電荷會(huì)集聚在MEMS器件中的絕緣部件或絕緣層上,例如:氧化硅或氮化硅絕緣層和疏水涂層等...
2019-02-14 標(biāo)簽:傳感器驅(qū)動(dòng)器mems 6.5k 0
妙用MEMS加速度計(jì) + 高通濾波器組合“砍”系統(tǒng)功耗
MEMS加速度計(jì)已成為行動(dòng)裝置省電設(shè)計(jì)的重要元件。內(nèi)建高通濾波器并具備自由落體偵測(cè)功能的加速度計(jì),能藉由一支中斷接腳為處理器提供可靠的喚醒和無(wú)動(dòng)作偵測(cè)訊...
TowerJazz和Crocus合作量產(chǎn)TMR磁傳感器
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,TowerJazz和TMR磁傳感器技術(shù)及嵌入式MRAM(磁隨機(jī)存儲(chǔ)器)領(lǐng)先開(kāi)發(fā)商Crocus公司,近日共同宣布雙方將利用TowerJa...
SiTime推出MEMS參考時(shí)鐘支持新物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用所需的最佳尺寸、功耗和精度
SiTime市場(chǎng)部執(zhí)行副總裁Piyush Sevalia指出:“SiTime獨(dú)到的時(shí)序產(chǎn)品致力于為最嚴(yán)峻挑戰(zhàn)的設(shè)計(jì)提供解決方案。伴隨著物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,...
2018-02-02 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)sitime 6.4k 0
日立新型MEMS加速度計(jì)比商用MEMS加速度計(jì)靈敏度跟高,且功耗降低50%
日立通過(guò)在MEMS質(zhì)量塊上制作貫通孔來(lái)降低空氣阻力,并且貫通孔的直徑在上層和下層之間是變化的。上層為電極部分,下層為重量較大的運(yùn)動(dòng)層。上述方法可將空氣阻...
高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)、航空航天等領(lǐng)域,用來(lái)監(jiān)測(cè)航空發(fā)動(dòng)機(jī)、重型燃?xì)廨啓C(jī)、燃煤燃?xì)忮仩t等動(dòng)力設(shè)備燃燒室內(nèi)的壓力,耐高溫和高可靠性是對(duì)其最基本的要求。
Piezoelectricity這詞來(lái)源于希臘語(yǔ)piezein,表示施加壓力,1880年由兩位法國(guó)物理學(xué)家(Pierre,Paul-Jacques Cu...
醫(yī)學(xué)傳感器技術(shù)把握了現(xiàn)代健康設(shè)備的脈動(dòng)
在更接近患者的傳感器層面,MEMS、納米技術(shù)、超低功耗傳感器、無(wú)線充電和新通信協(xié)議的持續(xù)發(fā)展都會(huì)產(chǎn)生重大影響。此外,醫(yī)療設(shè)備設(shè)計(jì)人員正在關(guān)注傳感器融合和...
一文詳解導(dǎo)航系統(tǒng)的慣性技術(shù)原理
慣性導(dǎo)航技術(shù)是慣性技術(shù)的核心和發(fā)展標(biāo)志,慣性導(dǎo)航系統(tǒng) (Inertia navigation system,INS) 利用陀螺儀和加速度計(jì) (統(tǒng)稱為慣性...
2023-08-22 標(biāo)簽:mems陀螺儀導(dǎo)航系統(tǒng) 6.2k 0
應(yīng)用與音頻設(shè)計(jì)的MEMS麥克風(fēng)技術(shù)介紹
使用CMOS技術(shù)還可以在同一芯片上實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)接口,增加集成度并降低系統(tǒng)功耗,因?yàn)樾酒叫酒倪B接和整體材料清單都很少。隨著可靠性的提高,這些因素促使該技術(shù)...
中國(guó)是全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng),也是全球最大的電子信息產(chǎn)品制造基地。
“要保證動(dòng)車組高速平穩(wěn)行駛,首先要由加速度傳感器對(duì)來(lái)自X(軸)、Y(徑)和Z(垂)向的應(yīng)力進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),并將電信號(hào)傳輸給列車指揮系統(tǒng)?!北本┙煌ù髮W(xué)教授...
射頻MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)的最新進(jìn)展解析
由于MEMS開(kāi)關(guān)是采用半導(dǎo)體制造工藝制成的,因此它們采用表面安裝之類的封裝技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)極小的外形尺寸。采用已有的批量制造技術(shù),并且積極改進(jìn)工藝從而在產(chǎn)量...
如何利用Tanner MEMS參數(shù)化基本單元庫(kù),迅速創(chuàng)建復(fù)雜的表面微加工或流體MEMS器件
即便您要重新設(shè)計(jì)傳動(dòng)電機(jī)的MEMS傳感器,目標(biāo)也是讓工作盡可能輕松快捷地完成。利用Tanner L-Edit中的MEMS庫(kù),您可以從大量MEMS器件不同...
硅與MEMS振蕩器正在加入到高度分化的振蕩器市場(chǎng)中石英晶體與陶瓷諧振器的行列。選擇正確的應(yīng)用器件不需要水晶球,不過(guò)一些相關(guān)事實(shí)會(huì)有所幫助。
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