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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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MEMS和傳感器設(shè)備推動了物聯(lián)網(wǎng)(IoT)在電子技術(shù)的眾多應用中部署數(shù)十億個傳感器,這將改善我們周圍的世界并改善人類狀況。
2021-04-29 標簽:傳感器mems傳感器系統(tǒng) 8.1k 0
犧牲層技術(shù)自20世紀80 年代美國加州大學伯克利分校開發(fā)至今,得到了快速發(fā)展。犧牲層技術(shù)是 MEMS 工藝設(shè)計中有別于傳統(tǒng)IC制造工藝技術(shù)之一
傲睿科技落戶于上海,公司依托上海微技術(shù)工研院8英寸MEMS工藝線及測試分析平臺,整合了國內(nèi)外相關(guān)產(chǎn)業(yè)資源,通過自主工藝生產(chǎn)制造和最終產(chǎn)品性能、質(zhì)量測試,...
X射線光刻(X-ray lithography)技術(shù)是什么意思
X射線光刻(X-ray lithography)技術(shù)是電子工業(yè)中用于選擇性去除一部分薄膜的工藝。使用X射線將幾何圖形轉(zhuǎn)移光敏光刻膠上。然后進行一系列化學...
流體類陀螺儀與傳統(tǒng)陀螺儀相比,由于沒有懸掛質(zhì)量塊,結(jié)構(gòu)大大簡化,制作難度降低,更重要的是,省去了復雜的活動部件,其抗沖擊、抗振動能力大大提高,特別適合在...
解決大問題需要開創(chuàng)性的技術(shù)。機電繼電器早在電報問世之初就已存在,但沒有其他替代的開關(guān)技術(shù)可滿足所有市場需求——特別是對于測試和測量、通信、防務、醫(yī)療保健...
德州儀器TMP006:世界首款單片數(shù)字IR MEMS溫度傳感器
TMP006 根據(jù) TI 在 MEMS 技術(shù)方面的專業(yè)經(jīng)驗開發(fā)獲得,是首款新型超小尺寸、低功耗且低成本的被動紅外溫度傳感器 與現(xiàn)有解決方案相比,其功耗要...
自從汽車制造商開始使用第一臺微機電傳感器(MEMS)加速計來測量加速的強勁力道以及啟動安全氣囊已經(jīng)二十多年了。第一臺慣性傳感器早已為今日的先進駕駛輔助系...
Blickfeld基于MEMS微鏡的固態(tài)LiDAR
據(jù)麥姆斯咨詢報道,位于德國慕尼黑的LiDAR(激光雷達)創(chuàng)業(yè)公司Blickfeld近日宣布將其種子輪融資提高到了1000萬美元,包括OSRAM(歐司朗)...
MEMS,微機電系統(tǒng),是1959年12月由理查德·費曼最早提出的概念,是將微觀模擬機械元件機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路。
2020-07-21 標簽:memsPCB設(shè)計壓力傳感器 7.7k 0
Micralyne即將推出下一代小型化低功耗氣體傳感器的MEMS技術(shù)平臺
據(jù)麥姆斯咨詢報道,MEMS代工廠Micralyne展示了用于開發(fā)下一代氣體傳感器的MEMS技術(shù)平臺——標準的硅工藝技術(shù)和工藝模塊。
深入了解工業(yè)應用的高性能RF MEMS開關(guān)
當柵極和源極之間的偏置電壓超過開關(guān)閾值電壓時,梁上的觸點便接觸漏極,源極和漏極之間的電路閉合,開關(guān)接通。移除偏置電壓后,即柵極上為0V時,懸臂梁像彈簧一...
基于MEMS工藝實現(xiàn)簡易快速地制備不同的微陣列結(jié)構(gòu)
當前以MEMS為基礎(chǔ)的細胞微陣列芯片受到科研人員廣泛重視。通過微加工技術(shù)在基底上構(gòu)建微尺度的圖形結(jié)構(gòu),并通過物理化學修飾對表面進行改性,使得細胞在特定區(qū)...
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