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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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【干貨】北斗三號(hào)+ MEMS慣性傳感器:國產(chǎn)高精度導(dǎo)航的突圍路徑
GNSS/INS慣系統(tǒng)(GNSS/INS,GlobalNavigationSatelliteSystem/InertialNavigationSyste...
ADGM1304具有集成驅(qū)動(dòng)器的0 Hz/直流至14GHz單刀四擲MEMS交換芯片技術(shù)手冊(cè)
ADGM1304 是一款寬帶單刀四擲 (SP4T) 開關(guān),使用 ADI 公司的微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小尺寸、寬 RF 帶寬...
ADGM1121 0 Hz/DC 至 18 GHz,DPDT MEMS開關(guān)技術(shù)手冊(cè)
ADGM1121 是一款寬帶雙刀雙擲 (DPDT) 開關(guān),使用 ADI 公司的微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小尺寸、寬射頻帶寬、高...
臺(tái)階儀表征MEMS壓力傳感器硅槽刻蝕:TMAH80℃下薄膜良率達(dá)到92.67%
當(dāng)前MEMS壓力傳感器在汽車、醫(yī)療等領(lǐng)域的應(yīng)用廣泛,其中應(yīng)力敏感薄膜的厚度是影響傳感器性能的關(guān)鍵一,因此刻蝕深度合格且均勻性良好的薄膜至關(guān)重要。費(fèi)曼儀器...
傾角計(jì)是現(xiàn)代工業(yè)和科技中不可或缺的傳感元件。從高精尖的航空航天到日常使用的手機(jī),從保障安全的工程機(jī)械到預(yù)警地質(zhì)災(zāi)害的系統(tǒng),都能看到它的身影。MEMS傾角...
2025-06-20 標(biāo)簽:mems工業(yè)自動(dòng)化傾角計(jì) 387 0
當(dāng)今的科學(xué)技術(shù)如翩翩起舞的蝴蝶,追求著微型化、集成化及智能化的新境界。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystem,ME...
選擇加速度計(jì)時(shí),我們需要注意哪些規(guī)格?雖然目前沒有任何官方標(biāo)準(zhǔn)可用于振動(dòng)傳感器的分類,但可以通過這些傳感器的有效分辨率劃分其類別,如圖8所示。很明顯,M...
2025-09-16 標(biāo)簽:mems加速度計(jì)振動(dòng)傳感器 325 0
詳解意法半導(dǎo)體LSM6DSV320X傳感器開發(fā)平臺(tái)性能
ST又一新品力作,LSM6DSV320X傳感器,并且得到STEVAL-MKI109D主板的支持,使用配套的上位機(jī)可以實(shí)現(xiàn)豐富的產(chǎn)品體驗(yàn)和開發(fā)輔助。本文主...
2025-10-18 標(biāo)簽:傳感器mems意法半導(dǎo)體 297 0
德州儀器DLP651NE:賦能下一代高亮度1080p顯示系統(tǒng)的核心引擎
Texas Instruments DLP651NE DLP? 1080p HSSI數(shù)字微鏡器件 (DMD) 是一款數(shù)控微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 空間照...
2025-09-28 標(biāo)簽:memsDMD數(shù)字微鏡器件 281 0
MEMS加速度計(jì)如何讓無人機(jī)在狂風(fēng)中穩(wěn)如磐石?
當(dāng)無人機(jī)在強(qiáng)風(fēng)中保持懸停,其背后是加速度計(jì)在實(shí)時(shí)感知每一絲氣流擾動(dòng)。ER-MA-5 MEMS加速度計(jì)通過測(cè)量線性加速度,與陀螺儀、磁力計(jì)協(xié)同構(gòu)成無人機(jī)的...
基于Microchip DSA557系列PCIe時(shí)鐘發(fā)生器的技術(shù)解析與應(yīng)用
Microchip Technology DSA557 PCI Express時(shí)鐘發(fā)生器采用先進(jìn)的硅MEMS技術(shù),可在各種電壓和溫度下生成低抖動(dòng)的10...
2025-10-10 標(biāo)簽:mems時(shí)鐘發(fā)生器低抖動(dòng) 171 0
HV56266高電壓運(yùn)算放大器的技術(shù)解析與應(yīng)用指南
Microchip Technology HV56266運(yùn)算放大器是一款單通道MEMS放大器,帶外部增益設(shè)置電阻器。這款放大器設(shè)計(jì)能夠穩(wěn)定帶動(dòng)最大15p...
2025-10-11 標(biāo)簽:放大器mems運(yùn)算放大器 169 0
?Microchip DSA60XX MEMS振蕩器技術(shù)解析與應(yīng)用指南
Microchip Technology DSA60 MEMS振蕩器 具備業(yè)界領(lǐng)先的 低功率表現(xiàn),并在各種溫度范圍內(nèi)提供出色的頻率穩(wěn)定性和低抖動(dòng)性能。...
?Microchip DSA61xx MEMS振蕩器技術(shù)解析:汽車電子時(shí)鐘方案的革新選擇
Microchip Technology DSA61 MEMS振蕩器具備業(yè)界領(lǐng)先的低功率消耗,并在溫度變化下保持出色的頻率穩(wěn)定性和低抖動(dòng)性能。Micr...
Microchip DSC12X2/3/4高性能差分MEMS振蕩器技術(shù)解析
Microchip Technology DSC12X2/3/4標(biāo)準(zhǔn)時(shí)鐘振蕩器采用 硅MEMS技術(shù)來降低近端噪聲,并提供出色的抖動(dòng)性能。該振蕩器可在寬電...
2025-10-13 標(biāo)簽:mems時(shí)鐘振蕩器 125 0
加速度計(jì)傳感器能夠檢測(cè)多種機(jī)械運(yùn)動(dòng)形態(tài),包括慣性力、傾斜、振動(dòng)與沖擊等。目前市場上存在多種類型的加速度傳感器,分別采用壓電式、壓阻式及電容式等不同傳感原...
2025-10-17 標(biāo)簽:mems加速度計(jì)運(yùn)動(dòng)傳感器 34 0
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