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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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【干貨】北斗三號+ MEMS慣性傳感器:國產(chǎn)高精度導航的突圍路徑
GNSS/INS慣系統(tǒng)(GNSS/INS,GlobalNavigationSatelliteSystem/InertialNavigationSyste...
Analog Devices Inc. ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS開關(guān)IC是寬帶、雙刀雙擲 (DPDT) 開關(guān),采用An...
ADGM1304具有集成驅(qū)動器的0 Hz/直流至14GHz單刀四擲MEMS交換芯片技術(shù)手冊
ADGM1304 是一款寬帶單刀四擲 (SP4T) 開關(guān),使用 ADI 公司的微機電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實現(xiàn)小尺寸、寬 RF 帶寬...
ADGM1121 0 Hz/DC 至 18 GHz,DPDT MEMS開關(guān)技術(shù)手冊
ADGM1121 是一款寬帶雙刀雙擲 (DPDT) 開關(guān),使用 ADI 公司的微機電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實現(xiàn)小尺寸、寬射頻帶寬、高...
臺階儀表征MEMS壓力傳感器硅槽刻蝕:TMAH80℃下薄膜良率達到92.67%
當前MEMS壓力傳感器在汽車、醫(yī)療等領(lǐng)域的應用廣泛,其中應力敏感薄膜的厚度是影響傳感器性能的關(guān)鍵一,因此刻蝕深度合格且均勻性良好的薄膜至關(guān)重要。費曼儀器...
傾角計是現(xiàn)代工業(yè)和科技中不可或缺的傳感元件。從高精尖的航空航天到日常使用的手機,從保障安全的工程機械到預警地質(zhì)災害的系統(tǒng),都能看到它的身影。MEMS傾角...
德州儀器DLP651NE:賦能下一代高亮度1080p顯示系統(tǒng)的核心引擎
Texas Instruments DLP651NE DLP? 1080p HSSI數(shù)字微鏡器件 (DMD) 是一款數(shù)控微機電系統(tǒng) (MEMS) 空間照...
2025-09-28 標簽:memsDMD數(shù)字微鏡器件 283 0
基于Microchip DSA557系列PCIe時鐘發(fā)生器的技術(shù)解析與應用
Microchip Technology DSA557 PCI Express時鐘發(fā)生器采用先進的硅MEMS技術(shù),可在各種電壓和溫度下生成低抖動的10...
HV56266高電壓運算放大器的技術(shù)解析與應用指南
Microchip Technology HV56266運算放大器是一款單通道MEMS放大器,帶外部增益設置電阻器。這款放大器設計能夠穩(wěn)定帶動最大15p...
?Microchip DSA60XX MEMS振蕩器技術(shù)解析與應用指南
Microchip Technology DSA60 MEMS振蕩器 具備業(yè)界領(lǐng)先的 低功率表現(xiàn),并在各種溫度范圍內(nèi)提供出色的頻率穩(wěn)定性和低抖動性能。...
?Microchip DSA61xx MEMS振蕩器技術(shù)解析:汽車電子時鐘方案的革新選擇
Microchip Technology DSA61 MEMS振蕩器具備業(yè)界領(lǐng)先的低功率消耗,并在溫度變化下保持出色的頻率穩(wěn)定性和低抖動性能。Micr...
Microchip DSC12X2/3/4高性能差分MEMS振蕩器技術(shù)解析
Microchip Technology DSC12X2/3/4標準時鐘振蕩器采用 硅MEMS技術(shù)來降低近端噪聲,并提供出色的抖動性能。該振蕩器可在寬電...
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