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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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慣性導(dǎo)航的制霸,捷聯(lián)式慣導(dǎo)系統(tǒng)的優(yōu)越性分析
捷聯(lián)式管道系統(tǒng)的最大特點是依靠短發(fā)建立起導(dǎo)航坐標系統(tǒng),即平臺坐標系以數(shù)學(xué)平臺形式存在,這樣省略了復(fù)雜的物理實體平臺,結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕、成本低、維...
2016-10-21 標簽:MEMS慣性導(dǎo)航捷聯(lián)式慣導(dǎo)系統(tǒng) 3.7k 0
為了獲得高分辨率數(shù)據(jù),可靠地識別小目標,激光必須準直地擊中目標,這是通過在激光器前面放置一個透鏡來實現(xiàn)的。
利用MEMS慣性傳感器實現(xiàn)頭部沖擊遙測系統(tǒng)
本演示視頻介紹Simbex Corporation的足球場沖撞分析系統(tǒng)。每個頭盔內(nèi)置6個高g值加速度計、一個DSP和發(fā)射機。系統(tǒng)通過一臺筆記本電腦以無線...
大多數(shù)MOEMS制作技術(shù)是直接由IC工業(yè)及其制造標準演化而來。因此,在MOEMS中采用體和表面微機械加工及高產(chǎn)量的微機械加工(HARM)技術(shù)。但有管芯尺...
基于LPC2138微處理器實現(xiàn)機器人手臂控制器的應(yīng)用方案
近年來,隨著MEMS及相關(guān)技術(shù)的發(fā)展,微機器人領(lǐng)域已越來越來受人關(guān)注。但由于零件的尺寸很小,微機器人組件的裝配需要很高的精確度,一般的裝配方法無法滿足要...
基于新型三明治結(jié)構(gòu)的MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計
本文提出了一種新型的三明治結(jié)構(gòu)MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu),與傳統(tǒng)傳感器相比,新結(jié)構(gòu)由于采用了垂直傳熱方式而具有較小的熱損耗。在輸入相同功率的情況下,模擬...
據(jù)中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院預(yù)測,未來五年國內(nèi)傳感器市場年復(fù)合增長31%。汽車、物流、礦業(yè)探勘、煤礦安監(jiān)、安防、RFID標簽卡領(lǐng)域的傳感器市場增長較快...
TDK推出的全球第一款MEMS超聲波飛行時間傳感器的詳細資料說明
基于 MEMS 的微型“硅芯片聲吶”裝置提供了毫米級精度的距離傳感功能,并具有業(yè)內(nèi)最低的功耗。這種 MEMS 超聲波傳感器可用于距離測量、位置追蹤、人員...
用靜電懸浮技術(shù)設(shè)計耐久的MEMS開關(guān)
據(jù)麥姆斯咨詢報道,研究人員開發(fā)了一款新型MEMS開關(guān),利用靜電懸浮技術(shù)提供了更耐久的系統(tǒng)。
基于MEMS技術(shù)的1×N端口光開關(guān)的原理結(jié)構(gòu)與用途分析
8×16端口MCS光開關(guān)的結(jié)構(gòu)如圖2所示,它包括8個1×16端口的PLC光分路器和16個8×1端口的光開關(guān),光分路器通常以PLC技術(shù)制備,而1×N端口光...
2020-01-27 標簽:開關(guān)mems互聯(lián)網(wǎng) 3.6k 0
MEMS技術(shù)是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的,它開辟了一個全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè),其目標是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集...
基于MEMS加速度計實現(xiàn)動態(tài)傾角測量系統(tǒng)的設(shè)計
基于MEMS加速度計的傾角測量模塊具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、抗沖擊、可靠性高等優(yōu)點。對有加速度干擾下的傾角測量存在較大誤差,本文圍繞這一誤差產(chǎn)生的來源...
2020-08-05 標簽:mems電機測量系統(tǒng) 3.5k 0
BMP280 氣壓傳感器是一種高精度的數(shù)字氣壓傳感器,可以用于測量大氣壓力、溫度和高度。它具有低功耗、高線性度和高分辨率的特點,適用于各種應(yīng)用場景,如天...
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(3)----FIFO數(shù)據(jù)讀取與配置
本文檔旨在詳細介紹如何配置和讀取LSM6DSOW傳感器的FIFO數(shù)據(jù)。LSM6DSOW是一款高性能的6軸IMU(慣性測量單元),集成了三軸加速度計和三軸...
什么是先進封裝?先進封裝技術(shù)包括哪些技術(shù)
半導(dǎo)體產(chǎn)品在由二維向三維發(fā)展,從技術(shù)發(fā)展方向半導(dǎo)體產(chǎn)品出現(xiàn)了系統(tǒng)級封裝(SiP)等新的封裝方式,從技術(shù)實現(xiàn)方法出現(xiàn)了倒裝(FlipChip),凸塊(Bu...
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