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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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在空間飛行器的慣性測(cè)量系統(tǒng),機(jī)器人的機(jī)械臂延展確定,車船體傾斜測(cè)量,巖體傾向判斷和工程鉆孔軌跡檢測(cè)等許多方面都需要測(cè)量物體的傾斜和方向等參數(shù)。
小白必看!MEMS時(shí)鐘振蕩器在射頻系統(tǒng)中的經(jīng)典應(yīng)用方案
結(jié)合了MEMS和高分辨率鎖相環(huán)電路的DCXO,能支持最小量化噪聲設(shè)計(jì)的高速數(shù)字鎖相環(huán)路和不受頻率牽引范圍影響的相位噪聲,適合于應(yīng)用到各種射頻和通信系統(tǒng)中。
采用MEMS傾角傳感器實(shí)現(xiàn)傾角測(cè)量系統(tǒng)的軟硬件設(shè)計(jì)
在地質(zhì)石油勘探、設(shè)備安裝、道路橋梁建設(shè)等工程應(yīng)用以及機(jī)器人控制、坦克和艦船火炮平臺(tái)控制、飛機(jī)姿態(tài)控制等系統(tǒng)的自動(dòng) 水平調(diào)節(jié)中,都需要高精度的傾角測(cè)量。但...
2020-08-22 標(biāo)簽:傳感器mems測(cè)量系統(tǒng) 3.4k 0
基于Zigbee的無(wú)線電子聽診器設(shè)計(jì)
心音聽診是進(jìn)行疾病診斷的一種重要手段,在這篇文章中我們討論了一種應(yīng)用無(wú)線傳輸技術(shù)設(shè)計(jì)的電子聽診 器,該電子聽診器是基于嵌入式處理器的。數(shù)據(jù)可以通過Zig...
2014-10-08 標(biāo)簽:MEMS運(yùn)算放大器LM386 3.4k 0
應(yīng)用于工業(yè)消費(fèi)市場(chǎng)的低功耗MEMS傳感器的介紹
MEMS傳感器徹底改變了我們與日常技術(shù)互動(dòng)的方式,使其更容易,更便于用戶使用。 MEMS傳感器提供諸如2軸和3軸線性加速度計(jì)以及單軸和多軸陀螺儀等功能S...
微/納機(jī)電系統(tǒng)發(fā)展特點(diǎn)及前景
本文分析了微/納機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展特點(diǎn),討論了MEMS和NEMS發(fā)展中的幾個(gè)問題和MEMS和NEMS的發(fā)展前景。
2012-03-08 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 3.4k 0
通過傳感器實(shí)現(xiàn)嵌入式自主檢測(cè)系統(tǒng)的振動(dòng)監(jiān)控
現(xiàn)在,傳感器和傳感器處理方面的技術(shù)發(fā)展可實(shí)現(xiàn)完全嵌入式自主檢測(cè)系統(tǒng)的部署,并且能夠可靠地對(duì)設(shè)備缺陷、不平衡、性能變化以及其他異常進(jìn)行檢測(cè)和分析,如圖1所示。
醫(yī)療可穿戴智能設(shè)備的主要器件:MEMS傳感器
隨著可穿戴智能設(shè)備的發(fā)展,特別是醫(yī)療可穿戴智能設(shè)備,主要依靠MEMS傳感器,從而檢測(cè)到穿戴者的身體各項(xiàng)信息。那么什么是MEMS傳感器呢?
2014-01-14 標(biāo)簽:傳感器MEMS可穿戴設(shè)備 3.4k 1
WSN(無(wú)線感測(cè)網(wǎng)路)近幾年來陸續(xù)應(yīng)用在各種領(lǐng)域,如軍事國(guó)防、科學(xué)領(lǐng)域、環(huán)境監(jiān)測(cè)、交通運(yùn)輸、航太飛行等等。透過布建多個(gè)感測(cè)節(jié)點(diǎn),將感測(cè)與搜集到資料,透過...
目前MEMS傳感器在消費(fèi)類電子產(chǎn)品中得到廣泛應(yīng)用,但是MEMS角速率陀螺儀存在嚴(yán)重的零點(diǎn)漂移和隨機(jī)誤差,在捷聯(lián)慣性導(dǎo)航解算中會(huì)產(chǎn)生積分誤差,難以達(dá)到應(yīng)用的精度。
基于Mems的應(yīng)用不斷擴(kuò)大,主要原因是Mems傳感器的成本下降,這也得益于8英寸硅片生產(chǎn)的轉(zhuǎn)變。
MEMS全稱MicroElectroMechanicalSystems,即微電子機(jī)械系統(tǒng),其組成包括微型傳感器、微型執(zhí)行器、微型架構(gòu)及相應(yīng)的微型處理電路...
預(yù)測(cè)和管理MEMS陀螺儀中的關(guān)鍵噪聲源
當(dāng)MEMS慣性測(cè)量單元(IMU)在運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中作為反饋傳感器運(yùn)行時(shí),陀螺儀噪聲是一種需要了解的重要行為,因?yàn)樗赡軐?dǎo)致其所監(jiān)控的平臺(tái)上出現(xiàn)不良的物理運(yùn)...
ST推出STA321MP系列音頻IC產(chǎn)品,可直接連接最新的微型麥克風(fēng)
STA321MP是意法半導(dǎo)體SoundTerminal系列音頻IC的最新產(chǎn)品,內(nèi)置MEMS數(shù)字麥克風(fēng)和標(biāo)準(zhǔn)麥克風(fēng)輸入接口。微型尺寸與抗液晶顯示器和功率器...
提升用戶體驗(yàn)的關(guān)鍵——穿戴傳感器【技術(shù)周刊】
以Apple Watch和Fitbit代表的智能可穿戴市場(chǎng)在2016年繼續(xù)保持增長(zhǎng),不過續(xù)航時(shí)間短、檢測(cè)數(shù)據(jù)不夠準(zhǔn)確、與智能手機(jī)功能重疊等因素都導(dǎo)致了可...
2017-01-13 標(biāo)簽:mems心率監(jiān)測(cè)六軸傳感器 3.3k 0
對(duì)MEMS振蕩器的已超過四十個(gè)年頭,然而最近才走向商用化,其中最大的一個(gè)障礙是開發(fā)一種經(jīng)濟(jì)并足夠純凈的密閉封裝系統(tǒng)。MEMS振蕩器必須密封于非常潔凈的環(huán)...
MEMS慣性測(cè)量單元SCHA634產(chǎn)品概述
根據(jù)上述4顆MEMS芯片(3種類型:X/Y軸陀螺儀、Z軸陀螺儀和三軸加速度計(jì))的結(jié)構(gòu)剖析及材料分析,繪制出MEMS芯片結(jié)構(gòu)示意圖,并以X/Y軸陀螺儀為例...
MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的,目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域,從而進(jìn)行...
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