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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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小型化MEMS I/O供電連接器技術為醫(yī)療保健設備提供全新優(yōu)勢
隨著醫(yī)療保健供應商和病患推動著這些轉變,領先的電子產品創(chuàng)新廠商正在應對技術挑戰(zhàn),將傳統(tǒng)上用于醫(yī)生辦公室、診所和醫(yī)院設置的設備和儀器轉變進入病患家庭。在這...
中山大學電子與信息技術學院林佑昇副教授團隊近日在Electronics期刊上發(fā)表了一篇綜述文章,研究并評估了利用靜電驅動(ESA)、電熱驅動(ETA)、...
基于數(shù)字式MEMS加速度傳感器ADXL213的傾角測量應用
本文提出一種基于數(shù)字式MEMS(微電子機械系統(tǒng))加速度傳感器ADXL213的傾角測量裝置,該裝置采用占空比調制電路獲得相應的數(shù)字信號。根據(jù)對實際運動模型...
具有代表性的基于金屬氧化物半導體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應用于安全、環(huán)境、樓宇控制等領域的氣體檢測,該類傳感器的能耗是制約其大規(guī)模布設的核心節(jié)...
在現(xiàn)代狀態(tài)監(jiān)控(CM)系統(tǒng)中,MEMS加速度計用作振動傳感器正在日趨成熟。測量范圍、帶寬和分辨率(噪聲)等性能在近期獲得的擴展,使得新概念和系統(tǒng)架構成為...
2018-06-12 標簽:mems監(jiān)控系統(tǒng)振動傳感器 2550 0
紐迪瑞發(fā)布MEMS數(shù)字氣壓傳感器,解決高精度壓力測量難題
具體而言,傳感器通過檢測手機當前位置的大氣壓力,利用大氣壓與海拔高度的換算關系,將壓力轉化為海拔高度,即可實現(xiàn)GPS輔助定位,為用戶提供精準的海拔信息。...
在工業(yè)制造運營中,被動的設備維修是造成生產能力喪失的一個主要因素,這種維修本來是可以避免的。
如何將二氧化碳傳感器設計到用于物聯(lián)網(IoT)的智能設備
要確保室內空氣質量高,首先要了解空氣中的物質,以便您可以識別污染源,然后對付這些污染源或相應地消除它們。智能建筑的空氣質量傳感器系統(tǒng)利用了人工智能(AI...
MEMS陀螺儀信號的處理平臺的硬件系統(tǒng)應該包括以下幾個部分:DSP模塊,數(shù)據(jù)采集模塊,上位機通信模塊和JTAG調試接口模塊。數(shù)據(jù)采集模塊由兩部分組成:6...
2.5D硅中介層(Interposer)晶圓制造成本有望降低。半導體業(yè)界已研發(fā)出標準化的制程、設備及新型黏著劑,可確保硅中介層晶圓在薄化過程中不會發(fā)生厚...
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