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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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Blast Motion的高精度運(yùn)動(dòng)傳感器產(chǎn)品Blast Baseball介紹
Blast Motion的高精度運(yùn)動(dòng)傳感器重量不足1盎司,且防塵、防震、防水,可貼在任何一種棒球桿的末端。在比賽過(guò)程中,Bluetooth? 智能無(wú)線通...
2019-09-11 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體運(yùn)動(dòng)傳感器 1785 0
膜厚測(cè)試在MEMS制造工藝中至關(guān)重要,它不僅關(guān)乎工藝質(zhì)量,更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質(zhì),精確測(cè)量薄膜厚度是不可或缺的一環(huán)。
2024-01-08 標(biāo)簽:mems制造工藝測(cè)量?jī)x器 1784 0
MEMS的相關(guān)術(shù)語(yǔ)及MEMS芯片制造過(guò)程
ALD是Atomic Layer Deposition(原子層沉積)的縮寫,是通過(guò)重復(fù)進(jìn)行材料供應(yīng)(前體)和排氣,利用與基板之間的表面反應(yīng),分步逐層沉積...
? 姿態(tài)估計(jì)的作用? 姿態(tài)估計(jì)是飛控算法的一個(gè)基礎(chǔ)部分,而且十分重要。為了完成飛行器平穩(wěn)的姿態(tài)控制,首先需要精準(zhǔn)的姿態(tài)數(shù)據(jù)作為 控制器的反饋 。 ? 飛...
驅(qū)動(dòng)LSM6DS3TR-C實(shí)現(xiàn)高效運(yùn)動(dòng)檢測(cè)與數(shù)據(jù)采集(2)----配置濾波器
在LSM6DS3TR-C中,加速度計(jì)和陀螺儀可以獨(dú)立地開啟/關(guān)閉,并且可以擁有不同的ODR和功耗模式。 LSM6DS3TR-C有三種可用的操作模式: ...
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(6)----獲取磁力計(jì)數(shù)據(jù)
本文將介紹如何使用 LIS2MDL 傳感器來(lái)讀取數(shù)據(jù)。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗(yàn)證設(shè)備ID、配置傳感器的數(shù)據(jù)輸出率和濾波器,以及通過(guò)輪詢方式持續(xù)讀...
三軸加速度計(jì)LIS2DW12開發(fā)(1)----輪詢獲取加速度數(shù)據(jù)
本文將介紹如何驅(qū)動(dòng)和利用LIS2DW12傳感器,實(shí)現(xiàn)精確的運(yùn)動(dòng)感應(yīng)功能。
2023-12-18 標(biāo)簽:傳感器mems三軸加速度計(jì) 1749 0
常見的交流感應(yīng)電機(jī)故障及常見的交流感應(yīng)電機(jī)故障
為了最大限度地減少生產(chǎn)停機(jī)時(shí)間,必須了解電機(jī)內(nèi)的潛在故障,以便準(zhǔn)備好處理它們。雖然專為與壓電振動(dòng)傳感器相媲美而設(shè)計(jì)的單軸模擬輸出MEMS傳感器最近在診斷...
MEMS麥克風(fēng)重塑音頻領(lǐng)域,人工智能(AI)將引領(lǐng)音頻市場(chǎng)的發(fā)展和轉(zhuǎn)型
多年前,MEMS麥克風(fēng)的興起重塑了音頻領(lǐng)域。法國(guó)著名市場(chǎng)研究公司Yole堅(jiān)信,未來(lái)幾年,人工智能(AI)將引領(lǐng)音頻市場(chǎng)的發(fā)展和轉(zhuǎn)型。
2020-03-15 標(biāo)簽:mems人工智能MEMS麥克風(fēng) 1735 0
液位測(cè)量系統(tǒng)使用補(bǔ)償硅壓力傳感器和Δ-Σ ADC-第1部分
該參考設(shè)計(jì)是液位測(cè)量和控制系列中的首個(gè)。在第1部分中,描述了現(xiàn)代壓力傳感器之間的差異,并強(qiáng)調(diào)了微機(jī)電(MEMS)溫度補(bǔ)償硅壓力傳感器的最新進(jìn)展的好處。這...
Evonetix提出的專有方法是開發(fā)一個(gè)將物理學(xué)和生物學(xué)相結(jié)合的平臺(tái),在芯片表面成千上萬(wàn)個(gè)獨(dú)立控制的微型反應(yīng)位點(diǎn)調(diào)節(jié)DNA的合成。
其中,m表示干涉級(jí)次,L2表示真空腔腔長(zhǎng),n2表示真空腔折射率,L1表示硅腔腔長(zhǎng),n2表示硅腔折射率。
如何使設(shè)計(jì)人員選擇最合適的加速度計(jì)
加速度計(jì)能夠測(cè)量加速度、傾斜度、振動(dòng)或沖擊,因此,可用于從可穿戴健身設(shè)備到工業(yè)平臺(tái)穩(wěn)定系統(tǒng)的各種應(yīng)用。有數(shù)百種零件可供選擇,成本和性能都有很大的跨度。本...
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近期,來(lái)自南京理工大學(xué)的研究人員于《新型工業(yè)化》期刊發(fā)表綜述文章,總結(jié)了體微加工技術(shù)和表面微加工常用的MEMS加工工藝的原理、加工方法...
面向人體運(yùn)動(dòng)感知的微應(yīng)變傳感-微電容集成MEMS
導(dǎo)電聚合物因其高離子電導(dǎo)率和優(yōu)異的機(jī)械柔性等獨(dú)特優(yōu)勢(shì),被認(rèn)為是一種極具潛力的智能材料。
陀螺儀LSM6DSV16X與AI集成(4)----Qvar觸摸電容配置
Qvar,全稱為電荷變化檢測(cè)(Qvar stands for "Quasi-static VARiation"),是一種用于檢測(cè)電荷...
我們?cè)谥鞍l(fā)布的文章《解讀MEMS麥克風(fēng)技術(shù)與設(shè)計(jì)》中指出, MEMS麥克風(fēng)的需求是由客戶所要求的音頻功能驅(qū)動(dòng)的,如立體聲、語(yǔ)音識(shí)別、聲音指向性、噪音...
北京大學(xué)在壓電MEMS領(lǐng)域取得重要進(jìn)展:讓一塊壓電陶瓷實(shí)現(xiàn)了兩個(gè)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)功能!
近日,北京大學(xué)董蜀湘教授課題組在壓電MEMS領(lǐng)域獨(dú)辟蹊徑:發(fā)明了一種壓電馬達(dá),只需一個(gè)壓電陶瓷,就可產(chǎn)生兩個(gè)對(duì)稱驅(qū)動(dòng)和實(shí)現(xiàn)兩個(gè)對(duì)稱運(yùn)動(dòng)輸出功能。而傳統(tǒng)上...
氣壓計(jì)LPS25HB開發(fā)(1)----輪詢獲取氣壓計(jì)數(shù)據(jù)
本文將介紹如何使用 LPS25HB 傳感器來(lái)讀取數(shù)據(jù)。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗(yàn)證設(shè)備ID、配置傳感器的數(shù)據(jù)輸出率和濾波器,以及通過(guò)輪詢方式持續(xù)讀...
2024-05-17 標(biāo)簽:mems氣壓計(jì)stm32cubemx 1689 0
如何為無(wú)線狀態(tài)監(jiān)控系統(tǒng)選擇最佳MEMS傳感器
有數(shù)以百萬(wàn)計(jì)的電動(dòng)機(jī)在連續(xù)運(yùn)行,消耗全球約45%的電力。1其中大多數(shù)關(guān)鍵電機(jī)可能由有線CbM系統(tǒng)監(jiān)控。根據(jù)一項(xiàng)研究,82% 的受訪公司經(jīng)歷過(guò)計(jì)劃外維護(hù),...
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