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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是飛思卡爾應(yīng)用于加速度和壓力傳感器的技術(shù)?;贛EMS的傳感器產(chǎn)品有一個(gè)接口,通過(guò)該接口可以感應(yīng)、處理和/或控制周?chē)h(huán)境。
基于電容耦合式MEMS開(kāi)關(guān)的90°分布式MEMS移相器設(shè)計(jì)與優(yōu)化
近年來(lái)隨著射頻微機(jī)械技術(shù)的發(fā)展,MEMS移相器越來(lái)越受到人們廣泛關(guān)注,已經(jīng)成為人們主要研究的MEMS器件之一。與傳統(tǒng)的移相器相比,MEMS移相器多采用半...
MEMS的關(guān)鍵技術(shù)驅(qū)動(dòng)因素和技術(shù)障礙
工業(yè)自動(dòng)化是一個(gè)突出的業(yè)務(wù),它正朝著一個(gè)新的方向邁進(jìn)。對(duì)品種、定制產(chǎn)品和產(chǎn)品差異化的需求不斷增加,使得制造商很難批量生產(chǎn)零部件。
2020-10-27 標(biāo)簽:mems工業(yè)自動(dòng)化MEMS技術(shù) 2k 0
使用MEMS陀螺儀進(jìn)行低噪聲反饋控制設(shè)計(jì)
運(yùn)動(dòng)控制基礎(chǔ) 要建立MEMS陀螺儀中的噪聲行為與其如何影響關(guān)鍵系統(tǒng)行為之間的有用關(guān)系,通常首先要對(duì)系統(tǒng)的工作原理有基本的了解。圖1提供了一個(gè)運(yùn)動(dòng)控...
基于MEMS技術(shù)的芯片ADXL202 的應(yīng)用設(shè)計(jì)與集成
本文闡述了一種基于MEMS 技術(shù)的芯片ADXL202 的應(yīng)用設(shè)計(jì)與集成。介紹了ADXL202 的測(cè)試原理和主要參數(shù)設(shè)計(jì)原則,然后利用其集成了一種無(wú)線加速...
液位測(cè)量系統(tǒng)使用補(bǔ)償硅壓力傳感器和Δ-Σ ADC-第1部分
該參考設(shè)計(jì)是液位測(cè)量和控制系列中的首個(gè)。在第1部分中,描述了現(xiàn)代壓力傳感器之間的差異,并強(qiáng)調(diào)了微機(jī)電(MEMS)溫度補(bǔ)償硅壓力傳感器的最新進(jìn)展的好處。這...
使用MEMS加速度計(jì)和自適應(yīng)參考捕獲車(chē)載DVR系統(tǒng)中的真實(shí)加速度數(shù)據(jù)
現(xiàn)代車(chē)載數(shù)字視頻記錄系統(tǒng) (DVR) 或 OBD 正在使用加速度計(jì)(g 傳感器)來(lái)測(cè)量車(chē)載加速度。這允許DVR在發(fā)生預(yù)定義事件(例如急剎車(chē)或碰撞)時(shí),使...
陀螺儀LSM6DSV16X與AI集成(4)----Qvar觸摸電容配置
Qvar,全稱(chēng)為電荷變化檢測(cè)(Qvar stands for "Quasi-static VARiation"),是一種用于檢測(cè)電荷...
MEMS技術(shù)對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的影響
MEMS技術(shù)是隨著集成電路,尤其是超大規(guī)模集成電路發(fā)展起來(lái)的一門(mén)新技術(shù),經(jīng)過(guò)幾代科學(xué)家的努力,MEMS如今在不同的行業(yè)和不同的領(lǐng)域相繼規(guī)?;a(chǎn),展現(xiàn)了...
2020-07-21 標(biāo)簽:memsMEMS技術(shù) 2k 0
氣壓計(jì)LPS25HB開(kāi)發(fā)(1)----輪詢(xún)獲取氣壓計(jì)數(shù)據(jù)
本文將介紹如何使用 LPS25HB 傳感器來(lái)讀取數(shù)據(jù)。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗(yàn)證設(shè)備ID、配置傳感器的數(shù)據(jù)輸出率和濾波器,以及通過(guò)輪詢(xún)方式持續(xù)讀...
2024-05-17 標(biāo)簽:mems氣壓計(jì)stm32cubemx 2k 0
對(duì)MEMS工藝技術(shù)的投資,加上設(shè)計(jì)創(chuàng)新,極大地提高了MEMS性能,足以使MEMS成為更廣泛的狀態(tài)監(jiān)測(cè)應(yīng)用的可行選擇?,F(xiàn)在,通過(guò)專(zhuān)門(mén)的MEMS結(jié)構(gòu)和工藝技...
長(zhǎng)期以來(lái),鹿科動(dòng)物受到一種神經(jīng)系統(tǒng)疾病的侵襲,這種疾病對(duì)個(gè)體來(lái)說(shuō)致死率高達(dá)100%,并且具有群體效應(yīng)。這種疾病被稱(chēng)為慢性消耗性疾?。–WD),是由錯(cuò)誤折...
LSM6DS3TR-C是單芯片“3軸陀螺儀 + 3軸加速度計(jì)”的慣性 測(cè)量單元(IMU), 五種種可選滿(mǎn)量程的陀螺儀(125/250/500/1000/...
2023-11-14 標(biāo)簽:mems陀螺儀數(shù)據(jù)采集 2k 0
e2studio開(kāi)發(fā)三軸加速度計(jì)LIS2DW12(3)----檢測(cè)活動(dòng)和靜止?fàn)顟B(tài)
本文將介紹實(shí)時(shí)獲取和處理加速度數(shù)據(jù)。程序的核心流程包括初始化硬件接口、配置加速度計(jì)的參數(shù),以及通過(guò)輪詢(xún)檢查中斷信號(hào)來(lái)不斷讀取加速度數(shù)據(jù)。
常見(jiàn)的交流感應(yīng)電機(jī)故障及常見(jiàn)的交流感應(yīng)電機(jī)故障
為了最大限度地減少生產(chǎn)停機(jī)時(shí)間,必須了解電機(jī)內(nèi)的潛在故障,以便準(zhǔn)備好處理它們。雖然專(zhuān)為與壓電振動(dòng)傳感器相媲美而設(shè)計(jì)的單軸模擬輸出MEMS傳感器最近在診斷...
解析MEMS加速度傳感器在車(chē)身穩(wěn)定系統(tǒng)中的應(yīng)用
隨著移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,MEMS微機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)迎來(lái)了重大發(fā)展機(jī)遇。在致力于防患未然的汽車(chē)主動(dòng)安全領(lǐng)域,ESC(車(chē)身穩(wěn)定系統(tǒng))、 ABS(防抱死...
2016-11-18 標(biāo)簽:傳感器MEMS車(chē)身穩(wěn)定系統(tǒng) 2k 0
三軸加速度計(jì)LIS2DW12開(kāi)發(fā)(3)----檢測(cè)活動(dòng)和靜止?fàn)顟B(tài)
檢測(cè)活動(dòng)和靜止?fàn)顟B(tài)主要用途是在嵌入式應(yīng)用中實(shí)時(shí)監(jiān)控加速度計(jì)的活動(dòng)狀態(tài),例如在可穿戴設(shè)備、智能手機(jī)或安全系統(tǒng)中檢測(cè)用戶(hù)的動(dòng)作或設(shè)備的位置變化。通過(guò)設(shè)置不同...
2023-12-18 標(biāo)簽:mems加速度計(jì)三軸加速度計(jì) 2k 0
可用于高溫惡劣環(huán)境下的MEMS氣體檢測(cè)模塊介紹
通常情況,氣體檢測(cè)模塊工作在室溫(最大溫度為60℃)。而Micro-Hybrid氣體檢測(cè)模塊的最高工作溫度可達(dá)180℃,可以用于高溫、高濕環(huán)境下測(cè)量氣體...
2018-07-29 標(biāo)簽:mems氣體檢測(cè)模塊 2k 0
用于狀態(tài)監(jiān)測(cè)的高保真振動(dòng)采集平臺(tái)
希望專(zhuān)注于算法開(kāi)發(fā)的開(kāi)發(fā)人員需要 準(zhǔn)確預(yù)測(cè)資產(chǎn)故障和停機(jī)時(shí)間的信息。他們不想要 設(shè)計(jì)硬件或?qū)?shù)據(jù)的完整性進(jìn)行故障排除;他們只是想 使用已知為高保真度的數(shù)...
2022-12-15 標(biāo)簽:傳感器mems機(jī)器學(xué)習(xí) 2k 0
基于射頻開(kāi)關(guān)的MEMS/NEMS狀態(tài)
在開(kāi)關(guān)能力超過(guò)18 GHz的MEMS/NEMS RF開(kāi)關(guān)選擇方面取得了一些進(jìn)展。Menlo Microsystems(通用電氣MEMS研究的商業(yè)化分拆)...
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