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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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加速傳感器的分類工作原理及在各領(lǐng)域中的應(yīng)用
加速傳感器顧名思義就是一種能夠測量出產(chǎn)品加速度的一種設(shè)備。生活中我們一般常用的主要是兩種加速度計,分別是角加速度計和線加速度計。生活中我們又將它分為四種...
2018-10-11 標(biāo)簽:mems可穿戴設(shè)備加速傳感器 2016 0
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(10)----陀螺儀校準(zhǔn)
在現(xiàn)代電子設(shè)備中,陀螺儀傳感器被廣泛用于測量設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運動。然而,由于各種環(huán)境因素和制造工藝的影響,陀螺儀通常會存在零速率偏移(Zero-rate Of...
MEMS振動監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計簡介
MEMS慣性傳感器在當(dāng)今的眾多個人電子設(shè)備中發(fā)揮著重要作用。 小尺寸、低功耗、易集成、強大功能性和卓越性能,這些因素促使著智能手機、游戲控制器、活動跟蹤...
2014-09-05 標(biāo)簽:MEMS振動監(jiān)控ADIS16229 2011 0
MEMS(Micro Electro Mechanical System,微機電系統(tǒng))技術(shù)被廣泛應(yīng)用于光纖通信系統(tǒng)中,MEMS技術(shù)與光學(xué)技術(shù)的結(jié)合,通常...
STHS34PF80高靈敏度紅外感應(yīng)器(2)----InfraredPD存在感應(yīng)檢測
InfraredPD 主要作用是通過與 STHS34PF80 紅外傳感器配合,提供對存在感應(yīng)和運動檢測的支持,同時對傳感器獲取的物體溫度數(shù)據(jù)進行環(huán)境溫度...
2024-10-14 標(biāo)簽:mems紅外感應(yīng)器 2000 0
肖特基的硅片上制作孔專利 此后, IBM開始在集成電路領(lǐng)域發(fā)力,并在垂直電互連方面取得了突破。
基于微納結(jié)構(gòu)的MEMS熱輻射紅外光源技術(shù)原理
一些光柵結(jié)構(gòu)也實現(xiàn)了向二維方向的拓展,使TE、TM兩個極化方向產(chǎn)生相干的熱發(fā)射成為可能。如圖8所示為SiC交叉狹縫光柵結(jié)構(gòu)示意圖及光譜發(fā)射圖。
摩托羅拉SPI(串行外設(shè)接口)及其變體因其低引腳數(shù)和緊湊的設(shè)計特性而成為系統(tǒng)設(shè)計人員的熱門選擇。隨著安全要求的不斷提高,現(xiàn)在比以往任何時候都更需要一個行...
MEMS陀螺儀可在惡劣的高溫環(huán)境中提供精密慣性檢測
越來越多的應(yīng)用需要從位于極高溫環(huán)境中的傳感器收集數(shù)據(jù)。近年來,半導(dǎo)體、無源器件和互連器件在實現(xiàn)高精度數(shù)據(jù)采集和處理方面取得了長足的進步。然而,對于可在高...
共聚焦激光內(nèi)窺鏡用于識別中空器官上皮細(xì)胞中的疾病
共聚焦激光內(nèi)窺鏡(Confocal laser endomicroscopy)是一種新興的成像技術(shù),作為一種常規(guī)醫(yī)學(xué)內(nèi)窺鏡附件正在開發(fā)臨床應(yīng)用。
MEMS(微機電系統(tǒng))壓力傳感器以其體積小、功耗低、集成度高、性能優(yōu)異等特點,在汽車、生物醫(yī)學(xué)、航空航天等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。然而,MEMS壓力傳感器的...
微型化、集成化及智能化是當(dāng)今科學(xué)技術(shù)的主要發(fā)展方向。隨著微機電系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystem,MEMS)和微加工技術(shù)的發(fā)...
基于節(jié)點存儲路由信息的無線傳感器網(wǎng)絡(luò)覆蓋連通性的判定算法與研究
集成傳感器技術(shù)、微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)、無線通信技術(shù)和分布式信息處理技術(shù)的無線傳感器網(wǎng)絡(luò)(WSN,wirelesssensornetworks)是當(dāng)...
微機電系統(tǒng)(MEMS)是飛思卡爾應(yīng)用于加速度和壓力傳感器的技術(shù)?;贛EMS的傳感器產(chǎn)品有一個接口,通過該接口可以感應(yīng)、處理和/或控制周圍環(huán)境。
控制權(quán)大作戰(zhàn):誰才是智能家居系統(tǒng)的控制中心
該智能家居生態(tài)系統(tǒng)的出現(xiàn)使得家中大量智能設(shè)備成為多余擺設(shè)。而顯示屏和家居自動控制等最近附加的功能導(dǎo)致智能設(shè)備外形也發(fā)生了改變,盡管尚未針對各個房間的需求...
振動監(jiān)測 (VM) 已經(jīng)問世很長一段時間,并且已被用于監(jiān)測機器、設(shè)備或結(jié)構(gòu)的健康狀況。在機器運行過程中,可以利用專用傳感器收集其振動數(shù)據(jù)以對其進行實時監(jiān)...
2022-09-29 標(biāo)簽:mems振動傳感器振動監(jiān)測系統(tǒng) 1938 0
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