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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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微小的可變形微加工芯片邊緣微懸臂梁對于各種表面探測技術(shù)都非常有用。例如,它們是近場顯微術(shù)的關(guān)鍵元素,在近場顯微術(shù)中,它們在小撓度狀態(tài)下的力學(xué)行為被很好的...
2022-11-21 標(biāo)簽:mems 1k 0
完美逆轉(zhuǎn)——由汽車安全引領(lǐng)的MEMS傳感器復(fù)蘇之路
數(shù)據(jù)顯示,2014年MEMS組件市場規(guī)模將達(dá)到80億美元,增長率約14%,而其中一項(xiàng)重要的增長動力來源就是汽車電子領(lǐng)域,具體主要應(yīng)用在汽車安全性方面。
2014-08-26 標(biāo)簽:傳感器技術(shù)MEMS汽車安全 1k 0
MEMS麥克風(fēng)為中國精密制造產(chǎn)業(yè)帶來發(fā)展機(jī)遇
MEMS產(chǎn)品是指尺寸在毫米級甚至微米級的微型機(jī)電裝置,主要分為微型傳感器(如MEMS麥克風(fēng)和壓力傳感器)和微型執(zhí)行器(如MEMS揚(yáng)聲器)兩大類。
2020-07-21 標(biāo)簽:memsMEMS麥克風(fēng) 997 0
MEMS技術(shù)可以被結(jié)合到各種各樣的電子部件中。生產(chǎn)這些組件的公司大概會認(rèn)為MEMS實(shí)施優(yōu)于MEMS版本問世之前所使用的實(shí)施方式。
京瓷雙軸位移壓電元件的特征優(yōu)勢和應(yīng)用案例
京瓷小課堂又開課啦!本期將為大家介紹KCIP創(chuàng)新廣場十大核心產(chǎn)品&技術(shù)之一的“雙軸位移壓電元件”。小體積大能耐的“雙軸位移壓電元件”都有哪些特征...
高壓功率放大器在MEMS微結(jié)構(gòu)模態(tài)測試靜電激勵技術(shù)中的應(yīng)用
MEMS測試技術(shù)是微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的重要組成部分之一,微結(jié)構(gòu)動態(tài)特性的測試對MEMS器件的性能及其設(shè)計、仿真、制造、以及質(zhì)量控制和評價等方面均具有重要的意...
量子傳感器具有許多經(jīng)典傳感器所不具有的性質(zhì) ,設(shè)計量子傳感器時 ,在重點(diǎn)考慮將量子領(lǐng)域不可直接測量量變換成可測量量外 ,還應(yīng)從非破壞性 、實(shí)時性 、靈敏...
探索 32KHz MEMS 振蕩器的卓越性能:μPower MO1532、MO1552、MO1630、MO1566 和 MO1568
探索 32KHz MEMS 振蕩器的卓越性能:μPower MO1532、MO1552、MO1630、MO1566 和 MO1568
MEMS傳感器技術(shù)使制造業(yè)能夠改善預(yù)測性維護(hù)
一種新的工業(yè)傳感技術(shù)通過使用一種預(yù)測零件故障的預(yù)測性維護(hù)形式來幫助制造商優(yōu)化其設(shè)備。雖然存在許多形式的工業(yè)傳感,但振動傳感可能是最有效和最有效的。根據(jù)位...
微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。
2023-11-09 標(biāo)簽:傳感器mems微機(jī)電系統(tǒng) 947 0
微機(jī)械結(jié)構(gòu)硅片的機(jī)械減薄研究
本文提出了一種用于實(shí)現(xiàn)貫穿芯片互連的包含溝槽和空腔的微機(jī)械晶片的減薄方法。通過研磨和拋光成功地使晶圓變薄,直至達(dá)到之前通過深度反應(yīng)離子蝕刻蝕刻的空腔。研...
1 簡介 半導(dǎo)體組件有望在產(chǎn)品的整個生命周期內(nèi)可靠地運(yùn)行。 選擇具有最高可靠性等級的設(shè)備可以限制故障組件導(dǎo)致現(xiàn)場產(chǎn)品出現(xiàn)故障的可能性。 SiTime 提...
在 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))制造領(lǐng)域,光刻工藝是決定版圖中的圖案能否精確 “印刷” 到硅片上的核心環(huán)節(jié)。光刻 Overlay(套刻精度),則是衡量光刻機(jī)將...
市場容量持續(xù)擴(kuò)張 從加速度傳感器實(shí)現(xiàn)的功能來看,無論是國際知名品牌的手機(jī),還是普通的手機(jī),其主要功能是通過傾斜、晃動等動作來實(shí)現(xiàn)用戶界面控制、游戲控制...
MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)平視顯示更亮更高清
基于MEMS的DMD領(lǐng)域內(nèi)的不斷創(chuàng)新正在為開發(fā)人員提供更多的機(jī)會,將基于投影的顯示技術(shù)融入到多種針對工業(yè)、個人電子器件、可穿戴、數(shù)字標(biāo)牌和企業(yè)市場等應(yīng)用中。
低壓驅(qū)動RF MEMS開關(guān)設(shè)計與改進(jìn)
近年來射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注,特別是MEMS開關(guān)構(gòu)建的移相器與天線,是實(shí)現(xiàn)上萬單元相控陣?yán)走_(dá)的關(guān)鍵技術(shù),在...
怎樣使用虹科DLO-M1液體密度傳感器進(jìn)行密度測量呢
亞毫米級的測量系統(tǒng)使傳感器的結(jié)構(gòu)更加緊湊。它的尺寸只有80×30×15mm,可以放入非常狹小的空間。測量值通過RS232接口和虹科TrueDyne傳感器...
封裝是MEMS制造過程的重要環(huán)節(jié),決定了MEMS器件的可靠性和成本。開口封封裝技術(shù)是智芯傳感在封裝工藝上的一次創(chuàng)新突破。這一創(chuàng)新技術(shù)不僅攻克了MEMS壓...
淺談MEMS在狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的優(yōu)勢
作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù),MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優(yōu)勢。撇開性能因素,我們就來說說狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域...
2018-07-07 標(biāo)簽:傳感器mems狀態(tài)監(jiān)控 898 0
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