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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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在 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))制造領(lǐng)域,光刻工藝是決定版圖中的圖案能否精確 “印刷” 到硅片上的核心環(huán)節(jié)。光刻 Overlay(套刻精度),則是衡量光刻機(jī)將...
ADGM1144 0 Hz/DC至18 GHz、SP4T、MEMS開關(guān)技術(shù)手冊
ADGM1144 是一款寬帶單刀四擲 (SP4T) 開關(guān),使用 ADI 公司的微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小尺寸、寬射頻帶寬、高...
Analog Devices Inc. ADXL382 3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices ADXL382 3軸MEMS加速度計(jì)支持±15g、±30g和±60g的可選測量范圍。這款3軸加速度計(jì)具備低噪聲密度和低功耗...
ADXRS290用于穩(wěn)定應(yīng)用的超低噪聲、雙軸MEMS陀螺儀技術(shù)手冊
ADXRS290是一款高性能俯仰和滾動(層內(nèi)雙軸)角速率傳感器(陀螺儀),設(shè)計(jì)用于穩(wěn)定應(yīng)用。 ADXRS290提供±100°/s輸出滿量程性能,靈...
當(dāng)今的科學(xué)技術(shù)如翩翩起舞的蝴蝶,追求著微型化、集成化及智能化的新境界。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystem,ME...
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度計(jì)是一款超低功耗、3軸微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 加速度計(jì),在100Hz輸出數(shù)據(jù)速率...
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)是一款低噪聲密度、低0g失調(diào)漂移微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì),具有可選...
ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003 0 Hz/DC至34 GHz SPDT MEMS開關(guān)技術(shù)手冊
ADGM1001/[ADGM1002]/[ADGM1003]是一款寬帶、單刀雙擲(SP2T)開關(guān),采用ADI公司的微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)制造而...
ADGM1304具有集成驅(qū)動器的0 Hz/直流至14GHz單刀四擲MEMS交換芯片技術(shù)手冊
ADGM1304 是一款寬帶單刀四擲 (SP4T) 開關(guān),使用 ADI 公司的微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小尺寸、寬 RF 帶寬...
ADGM1004帶集成驅(qū)動器的0 Hz至13 GHz、2.5kV HBM ESD SP4T MEMS開關(guān)技術(shù)手冊
ADGM1004是一款寬帶、單刀四擲(SP4T)開關(guān),采用ADI公司的微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù)制造而成。利用該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小型、寬RF帶寬、高線性...
ADGM1121 0 Hz/DC 至 18 GHz,DPDT MEMS開關(guān)技術(shù)手冊
ADGM1121 是一款寬帶雙刀雙擲 (DPDT) 開關(guān),使用 ADI 公司的微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小尺寸、寬射頻帶寬、高...
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊
Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3軸MEMS加速度計(jì)是一款超低功耗、±400g微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì),以2560Hz...
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