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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>淺談GaN芯片的制備工藝(GaN HEMT工藝為例)

淺談GaN芯片的制備工藝(GaN HEMT工藝為例)

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2020-10-09 14:18:5011848

納微專家談:氮化鎵GaN HEMT有體二極管嗎?

工程師于是感到非常困惑,GaN HEMT可以反向?qū)?,那到底有還是沒有體二極管?
2021-03-15 09:41:0712065

探究Si襯底的功率型GaN基LED制造技術(shù)

介紹了Si襯底功率型GaN基LED芯片和封裝制造技術(shù),分析了Si襯底功率型GaN基LED芯片制造和封裝工藝及關(guān)鍵技術(shù),提供了
2021-04-21 09:55:205390

淺談GaN基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管(SBD)的設(shè)計(jì)與制備

依托先進(jìn)的半導(dǎo)體器件仿真設(shè)計(jì)平臺(tái),天津賽米卡爾科技有限公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)了擊穿電壓420 V的GaN基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管的設(shè)計(jì)方案(SFP-SBD:具有側(cè)壁場板的GaN基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管
2021-07-14 16:46:551772

光伏電池制備工藝-擴(kuò)散

光伏電池制備工藝-擴(kuò)散(開關(guān)電源技術(shù)的節(jié)能意義)-光伏電池制備工藝-擴(kuò)散? ? ? ? ? ? ? ? ??
2021-09-23 14:11:4919

GaN HEMT概述/分類/結(jié)構(gòu)/工作原理

氮化鎵高電子遷移率晶體管GaN HEMT(High Electron Mobility Transistors)作為寬禁帶(WBG)功率半導(dǎo)體器件的代表,器件在高頻功率應(yīng)用方面有巨大的潛力。GaN材料相比于 Si 和SiC 具有更高的電子遷移率、飽和電子速度和擊穿電場,如圖1所示。
2022-02-10 15:27:4330174

新開發(fā)了一種GaN襯底減薄技術(shù)——激光減薄技術(shù)

而此次他們通過實(shí)驗(yàn)證明,該技術(shù)同樣適用于GaN-on-GaN HEMT器件制造,即在器件制造之后采用激光工藝進(jìn)行減薄,該技術(shù)可顯著降低 GaN 襯底的消耗。
2022-05-12 10:45:555781

GaN組件的單片集成提升了功率集成電路?

本文分析了高性能肖特基勢壘二極管和 D 型 HEMT 在基于 p-GaN HEMT 的 200-V GaN-on-SOI 智能功率 IC 平臺(tái)上的成功協(xié)同集成。這些組件的添加使芯片設(shè)計(jì)具有擴(kuò)展的功能
2022-07-29 08:56:441561

肖特基二極管和耗盡型 HEMT 與200-V GaN IC的單片集成

Imec 展示了高性能肖特基勢壘二極管和耗盡型 (d-mode) 高電子遷移率晶體管 (HEMT) 在基于 p 型氮化鎵 (GaNHEMT 的 200-V GaN- 上的成功共集成。在 200 毫米基板上開發(fā)的 on-SOI 智能功率集成電路 (IC) 平臺(tái)。
2022-07-29 15:34:031812

新的GaN技術(shù)簡化了驅(qū)動(dòng)基于GaNHEMT

雖然乍一看似乎比較簡單,但這些器件的柵極驅(qū)動(dòng)器電路需要仔細(xì)設(shè)計(jì)。首先,通常關(guān)閉的基于 GaNHEMT 需要負(fù)電壓來將其關(guān)閉并將其保持在關(guān)閉狀態(tài),從而避免意外開啟。
2022-07-29 09:27:172427

GaN芯片制備工藝

GaN作為第三代半導(dǎo)體的典范正在被廣泛使用,就連電梯間也能看到快充品牌直接拿GaN做廣告語了。
2022-08-23 10:21:585995

高功率GaN HEMT的可靠性設(shè)計(jì)

2,000 cm2/V·s 的 1.3 倍電子遷移率,這意味著與 RDS(ON) 和擊穿電壓相同的硅基器件相比,GaN RF 高電子遷移率晶體管(HEMT)的尺寸要小得多。因此,GaN RF HEMT 的應(yīng)用超出了蜂窩基站和國防雷達(dá)范疇,在所有 RF 細(xì)分市場中獲得應(yīng)用。
2022-09-19 09:33:213472

GaN HEMT基本概述、分類及工作原理

氮化鎵高電子遷移率晶體管GaN HEMT(High Electron Mobility Transistors)作為寬禁帶(WBG)功率半導(dǎo)體器件的代表,器件在高頻功率應(yīng)用方面有巨大的潛力。GaN材料相比于 Si 和SiC 具有更高的電子遷移率、飽和電子速度和擊穿電場,如圖1所示。
2022-09-27 10:30:177365

GaN HEMT 模型初階入門:非線性模型如何幫助進(jìn)行 GaN PA 設(shè)計(jì)?(第一部分,共兩部分)

GaN HEMT 模型初階入門:非線性模型如何幫助進(jìn)行 GaN PA 設(shè)計(jì)?(第一部分,共兩部分)
2022-12-26 10:16:252036

GaN功率HEMT設(shè)計(jì)+GaN寬帶功率放大器設(shè)計(jì)

GaN功率HEMT設(shè)計(jì)+GaN寬帶功率放大器設(shè)計(jì)
2023-01-30 14:17:441434

用熱反射測溫技術(shù)測量GaN HEMT的瞬態(tài)溫度

第三代半導(dǎo)體器件CaN高電子遷移率晶體管(HEMT)具備較高的功率密度,同時(shí)具有較強(qiáng)的自熱效應(yīng),在大功率工作條件下會(huì)產(chǎn)生較高的結(jié)溫。根據(jù)半導(dǎo)體器件可靠性理論,器件的工作溫度、性能及可靠性有著極為密切的聯(lián)系,因此準(zhǔn)確檢測GaN HEMT的溫度就顯得極為重要。
2023-02-13 09:27:523312

AlN/AIGaN/GaN MIS-HEMT器件制作

絕緣柵和肖特基柵HEMT器件結(jié)構(gòu)如圖1所示, AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)采用MOCVD技術(shù)在2英寸c面藍(lán)寶石襯底上外延得到,由下往上依次180nm高溫AlN成核層、13μm非摻雜GaN緩沖層、1nm AlN界面插入層、22nm AlGaN勢壘層、及2nm GaN帽層,勢壘層鋁組分設(shè)定為30%。
2023-02-14 09:31:165006

GaN HEMT外延材料表征技術(shù)研究進(jìn)展

研究進(jìn)展,簡要總結(jié)了外延材料表征技術(shù)的發(fā)展趨勢, GaN HEMT 外延層的材料生長和性能優(yōu)化提供了反饋和指導(dǎo)。
2023-02-20 11:47:223015

GaN基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管(SBD)的設(shè)計(jì)與制備

依托先進(jìn)的半導(dǎo)體器件仿真設(shè)計(jì)平臺(tái),天津賽米卡爾科技有限公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)了擊穿電壓420 V的GaN基準(zhǔn)垂直肖特基功率二極管的設(shè)計(jì)方案(SFP-SBD:具有側(cè)壁場板的GaN 基準(zhǔn)垂直肖特基功率
2023-02-27 15:50:384

絕緣柵Si基GaN平面器件關(guān)鍵工藝

傳統(tǒng)GaN-on-Si功率器件歐姆接觸主要采用Ti/Al/X/Au多層金屬體系,其中X金屬可為Ni,Mo,PT,Ti等。這種傳統(tǒng)有Au歐姆接觸通常采用高溫退火工藝(>800℃),第1層Ti在常溫下
2023-04-29 16:46:002558

CHK8201-SYA?GAN HEMT微波晶體管UMS

致力于高至4GHz的普遍射頻功率應(yīng)用領(lǐng)域需求設(shè)計(jì)。CHK8201-SYA特別適合多功能應(yīng)用領(lǐng)域,例如空間和電信網(wǎng)絡(luò) CHK8101-SYC在SIC技術(shù)上使用的GAN是種表面評估的HEMT工藝技術(shù),根據(jù)
2023-05-09 11:32:02559

GaN HEMT大信號(hào)模型

GaN HEMT 功率放大器設(shè)計(jì)者提供了對 LDMOS、GaAs 和 SiC 技術(shù)的許多改進(jìn)。更有利的特性包括高電壓操作、高擊穿電壓、功率密度高達(dá) 8W/mm、fT 高達(dá) 25 GHz 和低靜態(tài)
2023-05-24 09:40:013467

GaN HEMT工藝全流程

GaN HEMT(高電子遷移率晶體管:High Electron Mobility Transistor)是新一代功率半導(dǎo)體,具有低工作電阻和高抗損性,有望應(yīng)用于大功率和高頻電子設(shè)備。
2023-05-25 15:14:065126

GaN單晶襯底顯著改善HEMT器件電流崩塌效應(yīng)

由于GaN和AlGaN材料中擁有較強(qiáng)的極化效應(yīng),AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)無需進(jìn)行調(diào)制摻雜就能在界面處形成高濃度的二維電子氣(2DEG),在此基礎(chǔ)上發(fā)展而來的高電子遷移率晶體管(HEMT)是GaN材料
2023-06-14 14:00:554118

量產(chǎn)GaN晶圓的KABRA工藝流程

半導(dǎo)體制造設(shè)備廠商DISCO Corporation(總部:東京都大田區(qū);總裁:Kazuma Sekiya)采用了KABRA(一種使用激光加工的晶錠切片方法),并開發(fā)了一種針對GaN(氮化鎵)晶圓生產(chǎn)而優(yōu)化的工藝。通過該工藝,可以同時(shí)提高GaN晶圓片產(chǎn)量,并縮短生產(chǎn)時(shí)間。
2023-08-25 09:43:521777

AlGaN/GaN結(jié)構(gòu)的氧基數(shù)字蝕刻

寬帶隙GaN基高電子遷移率晶體管(HEMTs)和場效應(yīng)晶體管(fet)能夠提供比傳統(tǒng)Si基高功率器件更高的擊穿電壓和電子遷移率。常關(guān)GaN非常需要HEMT來降低功率并簡化電路和系統(tǒng)架構(gòu),這是GaN HEMT技術(shù)的主要挑戰(zhàn)之一。凹進(jìn)的AlGaN/GaN結(jié)構(gòu)是實(shí)現(xiàn)常關(guān)操作的有用選擇之一。
2023-10-10 16:21:111555

淺談磷酸鐵鋰的制備工藝的一般步驟

 磷酸鐵鋰制備工藝多樣,主要分為固相法,液相法這兩大主流工藝。固相法是目前最成熟也是應(yīng)用最廣的磷酸鐵鋰合成方法,液相法工藝難度較大。今天小編給大家介紹幾種磷酸鐵鋰制備工藝方法:
2023-10-20 09:58:147505

GaN HEMT為什么不能做成低壓器件

GaN HEMT為什么不能做成低壓器件? GaN HEMT(氮化鎵高電子遷移率晶體管)是一種迅速嶄露頭角的高頻功率器件,具有很高的電子遷移率、大的電子飽和漂移速度、高的飽和電子流動(dòng)速度以及較低的電阻
2023-12-07 17:27:201905

微波GaN HEMT 技術(shù)面臨的挑戰(zhàn)

報(bào)告內(nèi)容包含: 微帶WBG MMIC工藝 GaN HEMT 結(jié)構(gòu)的生長 GaN HEMT 技術(shù)面臨的挑戰(zhàn)
2023-12-14 11:06:58897

改善GaN HEMT功率器件的短路耐受時(shí)間

在本文中,我們將討論氮化鎵 (GaN) HEMT 功率器件中的一個(gè)關(guān)鍵參數(shù),即短路耐受時(shí)間 (SCWT)。
2024-05-09 10:43:262002

GaN晶體管的基本結(jié)構(gòu)和性能優(yōu)勢

GaN(氮化鎵)晶體管,特別是GaN HEMT(高電子遷移率晶體管),是近年來在電力電子和高頻通信領(lǐng)域受到廣泛關(guān)注的一種新型功率器件。其結(jié)構(gòu)復(fù)雜而精細(xì),融合了多種材料和工藝,以實(shí)現(xiàn)高效、高頻率和高功率密度的性能。
2024-08-15 11:01:063440

GaN HEMT有哪些優(yōu)缺點(diǎn)

GaN HEMT(氮化鎵高電子遷移率晶體管)作為一種先進(jìn)的功率半導(dǎo)體器件,在電力電子、高頻通信、汽車電子等多個(gè)領(lǐng)域展現(xiàn)出了顯著的優(yōu)勢,但同時(shí)也存在一些缺點(diǎn)。以下是對GaN HEMT優(yōu)缺點(diǎn)的詳細(xì)分析:
2024-08-15 11:09:204131

基于石英玻璃外延GaN工藝改進(jìn)方法有哪些?

基于石英玻璃外延GaN工藝改進(jìn)方法主要包括以下幾個(gè)方面: 一、晶圓片制備優(yōu)化 多次減薄處理: 采用不同材料的漿液和磨盤對石英玻璃進(jìn)行多次減薄處理,可以制備出預(yù)設(shè)厚度小于70μm且厚度均勻性TTV
2024-12-06 14:11:58521

GaN HEMT憑什么贏得市場青睞

硅基半導(dǎo)體經(jīng)過多年發(fā)展,其性能逐漸接近極限,在進(jìn)一步降本增效的背景下,第三代寬禁帶半導(dǎo)體氮化鎵功率器件GaN HEMT被寄予厚望。
2025-02-27 09:38:48905

高速GaN E-HEMT的測量技巧方案免費(fèi)下載

高速GaN E-HEMT的測量技巧總結(jié) 一、概述 ? 重要性 ?:GaN E-HEMT(氮化鎵增強(qiáng)型高電子遷移率晶體管)具有極高的開關(guān)速度,因此準(zhǔn)確的測量技術(shù)對評估其性能至關(guān)重要。 ? 內(nèi)容概覽
2025-02-27 18:06:411061

GaN HEMT的SPICE模型使用指南及示例

GaN HEMT的SPICE模型使用指南及示例總結(jié) 本文檔基于GaN HEMT的實(shí)測特性描述了當(dāng)前版本的模型。該模型專為與PSpice和LTspice配合使用而開發(fā)。本文檔首先介紹該模型,然后提供將
2025-03-11 17:43:112142

增強(qiáng)AlN/GaN HEMT

一種用于重?fù)诫sn型接觸的選擇性刻蝕工藝實(shí)現(xiàn)了AlN/GaN HEMT的縮小 上圖:原位SiN/AlN/GaN HEMT外延堆疊示意圖 俄亥俄州立大學(xué)的工程師們宣稱,他們已經(jīng)打開了一扇大門,有望制備
2025-06-12 15:44:37800

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