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臺(tái)積電已經(jīng)向ASML下定了至少13臺(tái)EUV光刻機(jī)

旺材芯片 ? 來源:芯智訊 ? 作者:芯智訊 ? 2020-12-11 13:56 ? 次閱讀
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目前臺(tái)積電和三星的5nm工藝均已量產(chǎn),前者代工的產(chǎn)品包括蘋果A14、蘋果M1、華為麒麟9000等,后者代工的芯片則包括三星自己的Exynos 1080以及傳言中的高通驍龍875等。

其實(shí)從7nm開始,臺(tái)積電和三星就開始引入EUV光刻,但過程層數(shù)較少。按照ASML的說法,迭代到5nm后,EUV的層數(shù)達(dá)到了14層,包括但不限于觸點(diǎn)、過孔以及關(guān)鍵金屬層等過程。未來的3nm、2nm,對(duì)EUV的依賴將更甚。

作為目前唯一能生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的荷蘭ASML來說,自然成了臺(tái)積電和三星爭搶的香餑餑,即便單臺(tái)價(jià)格達(dá)到了1.2億歐元(約合9.4億元人民幣)。

來自Digitimes的最新報(bào)道稱,臺(tái)積電為明年生產(chǎn),已經(jīng)向ASML下定了至少13臺(tái)EUV光刻機(jī)。簡單估算的話,花費(fèi)的金額超120億元人民幣。

需要明白的是,EUV光刻機(jī)不是有錢就能買,因?yàn)锳SML每年的產(chǎn)能非常有限,2019年全年才出貨了26臺(tái),今年上半年出貨了13臺(tái),截至三季度結(jié)束累計(jì)才出貨23臺(tái)。

另外,ASML定于明年中旬交付最新一代EUV光刻機(jī)TWINSCAN NXE:3600D,生產(chǎn)效率提升18%、機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度改進(jìn)為1.1nm,不出意外的話,臺(tái)積電應(yīng)該是首批客戶。

責(zé)任編輯:lq

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原文標(biāo)題:資訊 | 耗資超120億元!傳臺(tái)積電已為明年生產(chǎn)訂購了13臺(tái)EUV光刻機(jī)

文章出處:【微信號(hào):wc_ysj,微信公眾號(hào):旺材芯片】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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