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化合物半導(dǎo)體+大直徑晶圓制造,Aeluma光電探測器開始送樣

MEMS ? 來源:麥姆斯咨詢 ? 2023-04-07 11:34 ? 次閱讀
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據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,Aeluma(美國中級場外交易市場OTCQB代碼:ALMU)是一家專注于為激光雷達(dá)(LiDAR)、通信和傳感提供可擴(kuò)展、經(jīng)濟(jì)、高效的光電探測器技術(shù)的半導(dǎo)體公司。該公司近日宣布,已開始送樣其大直徑晶圓兼容的化合物半導(dǎo)體光電探測器,首批包括某汽車Tier-1供應(yīng)商。

Aeluma工程樣品采用大直徑晶圓制造平臺生產(chǎn),該平臺與大規(guī)模CMOS代工制造工藝兼容。該Tier-1汽車供應(yīng)商預(yù)計(jì)將對樣品進(jìn)行性能驗(yàn)證評估。

Aeluma最近還宣布了一種新型光電探測器的性能突破。該探測器可實(shí)現(xiàn)小于100皮安(pA)的暗電流,以及高于90%的量子效率。并且,這一突破是在大直徑晶圓襯底平臺上實(shí)現(xiàn)的,從而使每片晶圓能夠生產(chǎn)更多的探測器芯片。更高的單片晶圓芯片數(shù)量,加上高度自動化的制造,直接帶來了更低的芯片成本,得以更經(jīng)濟(jì)地生產(chǎn)光電探測器陣列。

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不同的是,現(xiàn)有的高性能化合物半導(dǎo)體光電探測器是在小尺寸晶圓襯底上通過低產(chǎn)量、特定工藝制造的。這些光電探測器價(jià)格昂貴,并且無法擴(kuò)展到大眾市場應(yīng)用所需要的規(guī)模。Aeluma的平臺將大直徑晶圓制造與高性能化合物半導(dǎo)體相結(jié)合,為大規(guī)模市場應(yīng)用提供了可能,并且,在不犧牲器件性能的前提下大幅降低了成本。

兩全其美

激光雷達(dá)應(yīng)用通常采用硅單光子雪崩二極管(SPAD)和銦鎵砷(InGaAs)光電二極管。雖然SPAD可以在大尺寸晶圓上生產(chǎn),但它們的效率通常低于InGaAs光電二極管。此外,它們通常在905 nm至940 nm波長范圍內(nèi)工作,需要低激光功率以確保人眼安全。這反過來又限制了激光雷達(dá)的探測范圍。提高該波段光電探測器的效率,將提高激光雷達(dá)的性能。

InGaAs光電二極管可以在900 nm到1700 nm的范圍內(nèi)工作,包括用于遠(yuǎn)距離激光雷達(dá)的1550 nm區(qū)域。1550 nm激光功率明顯更高,并且可以保持人眼安全,從而能夠在更遠(yuǎn)的距離實(shí)現(xiàn)更高的分辨率。

因此,Aeluma的光電探測器技術(shù)跨越了900 nm至1700 nm的范圍,既可以提高1550 nm器件的成本效益,還能夠提高905 nm至940 nm器件的性能。

關(guān)于Aeluma

Aeluma專注于開發(fā)傳感和通信應(yīng)用的新型光電器件。Aeluma開創(chuàng)了一種在大直徑晶圓上利用高性能化合物半導(dǎo)體材料制造光電探測器的技術(shù)。該技術(shù)有望提高器件性能的同時,提供具有成本效益的大規(guī)模制造,性能和成本對未來的激光雷達(dá)及其他傳感器應(yīng)用都至關(guān)重要。Aeluma正在其位于美國加利福尼亞州戈萊塔的總部開發(fā)一種簡化的商業(yè)模式,其總部擁有最先進(jìn)的制造潔凈室(9000平方英尺)。

審核編輯 :李倩

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原文標(biāo)題:化合物半導(dǎo)體+大直徑晶圓制造,Aeluma光電探測器開始送樣

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