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季豐2DX-ray分析能力可實現(xiàn)細微缺陷清晰展現(xiàn)

上海季豐電子 ? 來源:上海季豐電子 ? 2023-06-26 11:14 ? 次閱讀
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Dage Quadra7介紹

作為Dage Quadra 系列中前沿的產(chǎn)品,Dage Quadra7擁有出色的亞微米級高分辨率和襯度,可實現(xiàn)細微缺陷清晰展現(xiàn)。

采用高功率(160kV 20W)X射線源技術(shù),相較同類產(chǎn)品(15W)大大提升了X射線通量,在維持小焦點尺寸的同時提高了成像效率、襯度和信噪比。

在10W以內(nèi)可實現(xiàn)0.1um的分辨率。

配有670萬像素的C-MOS平板探測器,幾何放大倍數(shù)可達2500倍。

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JIMA卡專用于測量X射線系統(tǒng)的分辨率,以保證X射線系統(tǒng)在微米和納米焦點的圖像質(zhì)量。

DageQuadra7 JIMA卡實測可達到最高的分辨0.4um。

失效分析:細微缺陷及T角度觀察Via

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失效分析:自動測量孔洞率與球徑及數(shù)據(jù)導(dǎo)出

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特殊能力:輻射累積測試

Dage Quadra7可通過曝光距離、管電壓、管功率、暴露時間等參數(shù)計算得到樣品所受輻射劑量。方便進行輻射累積實驗及芯片軟失效分析。

劑量單位為拉德(rad),1rad=0.01Gy

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原文標(biāo)題:季豐先進2DX-ray分析能力介紹

文章出處:【微信號:zzz9970814,微信公眾號:上海季豐電子】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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